CVD সিলিকন কার্বাইড(SiC) প্রলিপ্ত গ্রাফাইট শাওয়ার হেড

মূল বৈশিষ্ট্য

• অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা - SiC আবরণ গ্রাফাইটকে সম্পূর্ণরূপে সিল করে, তাই কোন আউটগ্যাসিং বা ধাতব দূষণ হয় না।

• চমৎকার গ্যাস বিতরণ - প্রতিটি ঝরনা মাথা পুরো ওয়েফার জুড়ে একটি সামঞ্জস্যপূর্ণ গ্যাস বেগ প্রদান করার জন্য মেশিন করা হয়।

• উচ্চতর জারা প্রতিরোধ - CVD SiC হ্যালোজেন বা প্রক্রিয়া অবশিষ্টাংশের সাথে প্রতিক্রিয়া করে না। এটি খালি গ্রাফাইট বা কোয়ার্টজের চেয়ে অনেক বেশি সময় ধরে থাকে।

• অসামান্য তাপীয় কার্যকারিতা - আবরণটি গ্রাফাইটের তাপীয় প্রসারণের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে মেলে, তাই দ্রুত তাপমাত্রার র‌্যাম্পের সময় কোনও ক্র্যাকিং হয় না।

• নির্ভুল উত্পাদন - আমরা CNC মেশিনিং এবং ইন-হাউস CVD আবরণ ব্যবহার করি। গর্ত ব্যাস এবং নিদর্শন টাইট tolerances রাখা হয়.

প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ

অ্যাপ্লিকেশন

এই ঝরনা মাথা ব্যবহার করা হয়:

• সেমিকন্ডাক্টর সিভিডি সিস্টেম (উৎপাদন এবং গবেষণা ও উন্নয়ন উভয়ই)

• PECVD সরঞ্জাম - নিম্ন-তাপমাত্রার অস্তরক

• MOCVD চুল্লি – III‑V যৌগ যেমন GaN, InP

• সিলিকন এপিটাক্সি (Si Epi) – পাওয়ার ডিভাইস এবং CMOS এর জন্য

• SiC এপিটাক্সি – উচ্চ-ভোল্টেজ পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স

• যৌগিক সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবস

• উন্নত প্যাকেজিং (যেমন, TSV লাইনার জমা)

• যে কোনো পাতলা ফিল্ম টুল যার জন্য একটি জারা-প্রুফ, উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস ডিস্ট্রিবিউটর প্রয়োজন

কেন VETEK বেছে নিন?

• আমরা কোনো ট্রেডিং কোম্পানি নই। সবকিছু - গ্রাফাইট মেশিনিং থেকে চূড়ান্ত CVD SiC আবরণ পর্যন্ত - ঘরে বসে করা হয়৷ এর মানে আমরা গুণমান, লিড টাইম এবং খরচ নিয়ন্ত্রণ করি।

• সম্পূর্ণ ইন-হাউস ম্যানুফ্যাকচারিং - কোনও আউটসোর্সিং চমক নেই৷

• উন্নত আবরণ প্রযুক্তি – ঘন, পিন-হোল-মুক্ত CVD SiC

• কাস্টম ইঞ্জিনিয়ারিং সমর্থন - আমাদের আপনার ঝরনা মাথা অঙ্কন বা শুধুমাত্র চুল্লি মডেল পাঠান

• নির্ভরযোগ্য সেমিকন্ডাক্টর সাপ্লাই চেইন – আমরা বছরের পর বছর ধরে ফ্যাব এবং OEM সরবরাহ করে আসছি

• আপনাকে প্রতিবার একটি নতুন ডিজাইনের জন্য পুনরায় যোগ্যতা অর্জন করতে হবে না। আমরা ইতিমধ্যে অনেক সাধারণ প্ল্যাটফর্মের (AMAT, TEL, LAM, ASM, ইত্যাদি) জন্য ঝরনার মাথার প্রলেপ দিয়েছি।