VeTek সেমিকন্ডাক্টর সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের ক্ষেত্রে আপনার উদ্ভাবনী অংশীদার। সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেডের সিলিকন কার্বাইড সিরামিক উপাদানের সমন্বয়, উপাদান উত্পাদন ক্ষমতা এবং অ্যাপ্লিকেশন ইঞ্জিনিয়ারিং পরিষেবাগুলির আমাদের বিস্তৃত পোর্টফোলিওর সাথে, আমরা আপনাকে গুরুত্বপূর্ণ চ্যালেঞ্জগুলি অতিক্রম করতে সহায়তা করতে পারি। ইঞ্জিনিয়ারিং প্রযুক্তিগত সিলিকন কার্বাইড সিরামিকগুলি তাদের ব্যতিক্রমী উপাদান কর্মক্ষমতার কারণে সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যাপকভাবে প্রয়োগ করা হয়। VeTek সেমিকন্ডাক্টরের অতি-বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড সিরামিকগুলি প্রায়শই সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন এবং প্রক্রিয়াকরণের পুরো চক্র জুড়ে ব্যবহৃত হয়।
ডিফিউশন এবং এলপিসিভিডি প্রসেসিং
VeTek সেমিকন্ডাক্টর বিশেষভাবে ব্যাচ ডিফিউশন এবং LPCVD প্রয়োজনীয়তার জন্য ডিজাইন করা ইঞ্জিনিয়ারড সিরামিক উপাদান সরবরাহ করে যার মধ্যে রয়েছে:
● বিভ্রান্ত এবং হোল্ডার
● ইনজেক্টর
● লাইনার এবং প্রক্রিয়া টিউব
● সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেলস
● ওয়েফার বোট এবং পেডেস্টাল
ETCH প্রক্রিয়া উপাদান
প্লাজমা এচ প্রক্রিয়াকরণের কঠোরতার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা উচ্চ-বিশুদ্ধতা উপাদানগুলির সাথে দূষণ এবং অনির্ধারিত রক্ষণাবেক্ষণ কম করুন, যার মধ্যে রয়েছে:
● ফোকাস রিং
● অগ্রভাগ
● ঢাল
● শাওয়ারহেডস
● উইন্ডোজ / ঢাকনা
● অন্যান্য কাস্টম উপাদান
দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ এবং এপিট্যাক্সিয়াল প্রসেস উপাদান
VeTek সেমিকন্ডাক্টর সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে উচ্চ-তাপমাত্রার তাপ প্রক্রিয়াকরণ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য তৈরি উন্নত উপাদান উপাদান সরবরাহ করে। এই অ্যাপ্লিকেশনগুলি RTP, Epi প্রক্রিয়া, প্রসারণ, অক্সিডেশন এবং অ্যানিলিংকে অন্তর্ভুক্ত করে। আমাদের প্রযুক্তিগত সিরামিকগুলি তাপীয় শক সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, নির্ভরযোগ্য এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ কর্মক্ষমতা প্রদান করে। VeTek সেমিকন্ডাক্টরের উপাদানগুলির সাথে, সেমিকন্ডাক্টর নির্মাতারা দক্ষ এবং উচ্চ-মানের তাপ প্রক্রিয়াকরণ অর্জন করতে পারে, অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের সামগ্রিক সাফল্যে অবদান রাখে।
● ডিফিউজার
● অন্তরক
● সাসেপ্টর
● অন্যান্য কাস্টম তাপ উপাদান
মূল বৈশিষ্ট্য
● অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা: SiC বিষয়বস্তু >99.96%, বিনামূল্যে সিলিকন <0.1%, ধাতব দূষণ কমিয়ে দেয়।
● চমত্কার উচ্চ-তাপমাত্রার কর্মক্ষমতা: 1600°C (অক্সিডাইজিং) / 1700°C (হ্রাস) পর্যন্ত কাজের তাপমাত্রা।
● দ্রুত তাপ চক্রের অধীনে নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতার জন্য উচ্চতর তাপীয় শক প্রতিরোধের এবং নিম্ন তাপীয় সম্প্রসারণ।
● উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি (কম্প্রেশন >600 MPa) এবং প্রক্রিয়া গ্যাস এবং প্লাজমাগুলির বিরুদ্ধে রাসায়নিক জড়তা।
● ডিফিউশন/এলপিসিভিডি, ইচ, আরটিপি এবং এপিআই প্রসেসের জন্য ব্যাপক পণ্য পরিসর — ওয়েফার বোট থেকে ফোকাস রিং এবং কাস্টম অংশ।
● দীর্ঘ সেবা জীবন এবং কণা উৎপাদন হ্রাস, কম রক্ষণাবেক্ষণ ফ্রিকোয়েন্সি এবং ফলন উন্নত করতে সাহায্য করে।
পণ্য বিশেষ উল্লেখ
রিক্রিস্টালাইজড সিলিকন কার্বাইডের ভৌত বৈশিষ্ট্য
| সম্পত্তি |
সাধারণ মান |
| কাজের তাপমাত্রা (°C) |
1600°C (অক্সিজেন সহ), 1700°C (পরিবেশ হ্রাসকারী) |
| SiC / SiC বিষয়বস্তু |
> 99.96% |
| Si / বিনামূল্যে Si কন্টেন্ট |
< 0.1% |
| বাল্ক ঘনত্ব |
2.60-2.70 গ্রাম/সেমি³ |
| আপাত porosity |
<16% |
| কম্প্রেশন শক্তি |
> 600 MPa |
| ঠান্ডা নমন শক্তি |
80-90 MPa (20°C) |
| গরম নমন শক্তি |
90-100 MPa (1400°C) |
| তাপ সম্প্রসারণ @1500°C |
4.70 × 10⁻⁶/°C |
| তাপ পরিবাহিতা @1200°C |
23 W/m·K |
| ইলাস্টিক মডুলাস |
240 জিপিএ |
| তাপীয় শক প্রতিরোধের |
অত্যন্ত ভাল |
অ্যাপ্লিকেশন
সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসের বিভিন্ন চাহিদা মেটাতে, VeTek সিলিকন কার্বাইড সিরামিকস পণ্যের টার্গেট অফার করে। নিম্নলিখিত সারণী তাদের প্রধান অ্যাপ্লিকেশন ক্ষেত্র দ্বারা শ্রেণীবদ্ধ করে:
| আবেদন ক্ষেত্র |
সাধারণ পণ্য |
আবেদন বিবরণ |
| ডিফিউশন এবং এলপিসিভিডি |
SiC ওয়েফার নৌকা, ক্যান্টিলিভার প্যাডেল, প্রক্রিয়া টিউব, লাইনার, ইনজেক্টর,বিভ্রান্ত এবং হোল্ডার
|
ব্যাচ ডিফিউশন এবং এলপিসিভিডি ফার্নেসের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC উপাদান; 1600-1700°C পর্যন্ত চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধ ক্ষমতা, কম দূষণ। |
| প্লাজমা ইচ প্রক্রিয়া |
ফোকাস রিং, অগ্রভাগ, ঢাল, ঝরনা, জানালা/ঢাকনা, কাস্টম এচ উপাদান |
উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC অংশগুলি প্লাজমা এচ পরিবেশের জন্য প্রকৌশলী; কণা জেনারেশন এবং অনির্ধারিত রক্ষণাবেক্ষণ, উচ্চতর প্লাজমা প্রতিরোধের হ্রাস করুন। |
| আরটিপি / এপিটাক্সিয়াল / থার্মাল প্রসেসিং |
susceptors, ডিফিউজার, অন্তরক, কাস্টম তাপ উপাদান |
RTP, epi, diffusion, oxidation এবং annealing এর উপাদান; তাপীয় শক সহ্য করার জন্য এবং ধারাবাহিক উচ্চ-তাপমাত্রা কার্যক্ষমতা প্রদানের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। |
| SiC ক্রিস্টাল গ্রোথ (PVT) |
উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC পাউডার,7N CVD SiC কাঁচামাল, বীজ বন্ধন সম্পর্কিত অংশ |
আল্ট্রা-বিশুদ্ধ SiC উৎস উপকরণ এবং PVT SiC একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধির জন্য সহায়ক উপাদান, ফলন এবং স্ফটিক গুণমান উন্নত করে। |
| ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং ক্যারিয়ার |
উল্লম্ব/অনুভূমিক SiC ওয়েফার বোট, সিলিকন ক্যাসেট নৌকা, পাদদেশ, সীল রিং
|
নির্ভুল বাহক এবং সিলিং উপাদান যা উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণের সময় তাপীয় অভিন্নতা, যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা এবং ন্যূনতম দূষণ প্রদান করে। |
আরো বিস্তারিত প্রক্রিয়া মিল সমাধানের জন্য, অনুগ্রহ করে পড়ুনঅক্সিডেশন এবং ডিফিউশন ফার্নেসসম্পর্কিত পৃষ্ঠাগুলি।
চীনে পেশাদার সিলিকন কার্বাইড সিরামিক প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে, আমাদের নিজস্ব কারখানা রয়েছে। আপনার অঞ্চলের নির্দিষ্ট চাহিদা মেটাতে আপনার কাস্টমাইজড পরিষেবার প্রয়োজন হোক বা চীনে তৈরি উন্নত এবং টেকসই সিলিকন কার্বাইড সিরামিক কিনতে চান, আপনি করতে পারেনআমাদের একটি বার্তা ছেড়ে দিন.
