সিলিকন নাইট্রাইড

1। দুর্দান্ত রাসায়নিক স্থিতিশীলতা

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলিতে দুর্দান্ত রাসায়নিক স্থিতিশীলতা রয়েছে এবং বিভিন্ন ধরণের শক্তিশালী অ্যাসিড, ক্ষারীয় এবং ক্ষয়কারী গ্যাসগুলি সহ্য করতে পারে। অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে প্রায়শই ক্ষয়কারী রাসায়নিকগুলি মোকাবেলা করা প্রয়োজন, সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলি দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীল পারফরম্যান্সের গ্যারান্টি সরবরাহ করতে পারে।

2। দুর্দান্ত যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলিতে উচ্চ কঠোরতা, দুর্দান্ত সংবেদনশীল শক্তি এবং পরিধানের প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে, যান্ত্রিক চাপ এবং পৃষ্ঠের পরিধানকে প্রতিরোধ করতে সক্ষম, বিকৃতকরণ বা ফাটল সহজ নয়। এই যান্ত্রিক সম্পত্তিটি অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে কাঠামোগত এবং প্রক্রিয়া অংশগুলির জন্য উপাদান হিসাবে এটি খুব উপযুক্ত করে তোলে।

3। উচ্চ-তাপমাত্রার স্থায়িত্ব

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলি উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশে স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে, নরম বা গলে যাওয়া সহজ নয় এবং অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াজাতকরণ এবং পরিচালনা সহ্য করতে পারে। এটি এটিকে উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া সরঞ্জাম কী উপাদানগুলি যেমন গ্রিপারস, প্রতিক্রিয়া চেম্বারের উপাদানগুলি এবং আরও অনেক কিছু তৈরিতে ব্যবহার করতে দেয়।

4 .. চমৎকার অন্তরক বৈশিষ্ট্য

সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস উত্পাদন ক্ষেত্রে অন্তরক বৈশিষ্ট্যগুলি গুরুত্বপূর্ণ। সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলিতে ভাল অন্তরক বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যা বর্তমান ফুটো বা বৈদ্যুতিন চৌম্বকীয় হস্তক্ষেপ থেকে সার্কিট উপাদানগুলি কার্যকরভাবে বিচ্ছিন্ন করতে এবং সুরক্ষা দিতে পারে, ডিভাইসের স্থায়িত্ব এবং নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করতে সহায়তা করে।

5। তাপ পরিবাহিতা এবং তাপ পরিবাহিতা

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলির একটি উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা রয়েছে, ডিভাইস দ্বারা উত্পাদিত তাপ কার্যকরভাবে পরিচালনা ও বিলুপ্ত করতে পারে, অপারেটিং প্রক্রিয়াতে ডিভাইসের তাপমাত্রা স্থায়িত্ব বজায় রাখতে সহায়তা করে। এটি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের উচ্চ-পারফরম্যান্স অপারেশনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

1। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকস এবং এচিং চেম্বারের উপাদানগুলি

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলি প্রায়শই তাদের দুর্দান্ত রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ তাপমাত্রার প্রতিরোধের কারণে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনতে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ছক এবং এচিং চেম্বারের উপাদানগুলির জন্য উপকরণ হিসাবে ব্যবহৃত হয়। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি ওয়েফার বা সাবস্ট্রেটগুলি ঠিক এবং স্থিতিশীল করতে ব্যবহৃত হয়, যখন এচিং চেম্বারের উপাদানগুলি ক্ষয়কারী গ্যাস এবং উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশ সহ্য করতে ব্যবহৃত হয়।

2। গ্যাস বিতরণ প্লেট এবং প্রতিচ্ছবি

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলি গ্যাস বিতরণ প্লেট এবং প্রতিচ্ছবিগুলিতে অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম তৈরিতেও ব্যবহৃত হয়। গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি প্রতিক্রিয়াশীল বা প্রতিরক্ষামূলক গ্যাসগুলিকে বিক্রিয়া চেম্বারে সমানভাবে বিতরণ করতে ব্যবহৃত হয়, যখন প্রতিবিম্বকারীদের প্রতিক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে আলোর বিতরণ এবং প্রতিবিম্বকে প্রতিক্রিয়া দক্ষতা এবং অভিন্নতা উন্নত করতে অনুকূল করতে ব্যবহৃত হয়।

3। ধারক এবং তাপীয় উপাদান

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকগুলি প্রায়শই সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সরঞ্জামগুলিতে ধারক এবং তাপ পরিচালনার উপাদান হিসাবে ব্যবহৃত হয়। স্থিতিশীল সরঞ্জাম অপারেশন এবং ডিভাইস প্রসেসিংয়ের নির্ভুলতা নিশ্চিত করতে এই উপাদানগুলির ভাল যান্ত্রিক শক্তি, প্রতিরোধের এবং তাপ পরিবাহিতা পরিধান করা দরকার।

4। রাসায়নিক মেকানিকাল পলিশিং (সিএমপি) প্যাড

সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিক কেমিক্যাল মেকানিকাল পলিশিং (সিএমপি) প্রক্রিয়াতে প্যাড উপাদান হিসাবে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এটিতে দুর্দান্ত ফ্ল্যাটনেস এবং পরিধানের প্রতিরোধের রয়েছে এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পৃষ্ঠের সমতলতা এবং নির্ভুলতা নিশ্চিত করতে পলিশিং প্রক্রিয়া চলাকালীন স্থিতিশীল সমর্থন সরবরাহ করতে পারে।