VeTek সেমিকন্ডাক্টর অতি বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড লেপ পণ্য উৎপাদনে বিশেষজ্ঞ, এই আবরণগুলি বিশুদ্ধ গ্রাফাইট, সিরামিক এবং অবাধ্য ধাতব উপাদানগুলিতে প্রয়োগ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
আমাদের উচ্চ বিশুদ্ধতার আবরণগুলি প্রাথমিকভাবে সেমিকন্ডাক্টর এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পে ব্যবহারের জন্য লক্ষ্য করা হয়েছে৷ তারা ওয়েফার ক্যারিয়ার, সাসেপ্টর এবং গরম করার উপাদানগুলির জন্য একটি প্রতিরক্ষামূলক স্তর হিসাবে কাজ করে, এমওসিভিডি এবং ইপিআই-এর মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ক্ষয়কারী এবং প্রতিক্রিয়াশীল পরিবেশ থেকে তাদের রক্ষা করে। এই প্রক্রিয়াগুলি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ এবং ডিভাইস উত্পাদন অবিচ্ছেদ্য। উপরন্তু, আমাদের আবরণগুলি ভ্যাকুয়াম ফার্নেস এবং নমুনা গরম করার জন্য উপযুক্ত, যেখানে উচ্চ ভ্যাকুয়াম, প্রতিক্রিয়াশীল এবং অক্সিজেন পরিবেশের সম্মুখীন হয়।
VeTek সেমিকন্ডাক্টরে, আমরা আমাদের উন্নত মেশিন শপের ক্ষমতা সহ একটি ব্যাপক সমাধান অফার করি। এটি আমাদের গ্রাফাইট, সিরামিক বা অবাধ্য ধাতু ব্যবহার করে বেস উপাদান তৈরি করতে এবং ঘরে ঘরে SiC বা TaC সিরামিক আবরণ প্রয়োগ করতে সক্ষম করে। আমরা গ্রাহকের সরবরাহকৃত অংশগুলির জন্য আবরণ পরিষেবাও প্রদান করি, বিভিন্ন চাহিদা পূরণের নমনীয়তা নিশ্চিত করে।
আমাদের সিলিকন কার্বাইড লেপ পণ্যগুলি ব্যাপকভাবে Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD সিস্টেম, RTP/RTA প্রক্রিয়া, এচিং প্রক্রিয়া, ICP/PSS এচিং প্রক্রিয়া, নীল এবং সবুজ LED, UV LED এবং গভীর-UV সহ বিভিন্ন LED ধরনের প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত হয়। LED ইত্যাদি, যা LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, এর সরঞ্জামগুলিতে অভিযোজিত হয় ASM, Annealsys, TSI এবং তাই।
চুল্লি অংশ আমরা করতে পারি:
সিলিকন কার্বাইড আবরণ বিভিন্ন অনন্য সুবিধা:
VeTek সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন কার্বাইড আবরণ পরামিতি
|
CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
|
|
সম্পত্তি
|
সাধারণ মান
|
|
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার
|
FCC β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, প্রধানত (111) ভিত্তিক
|
|
SiC আবরণ ঘনত্ব
|
3.21 গ্রাম/সেমি³
|
|
SiC আবরণ কঠোরতা
|
2500 ভিকার কঠোরতা (500 গ্রাম লোড)
|
|
শস্যের আকার
|
2~10μm
|
|
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা
|
99.99995%
|
|
তাপ ক্ষমতা
|
640 J·kg-1· কে-1
|
|
পরমানন্দ তাপমাত্রা
|
2700℃
|
|
নমনীয় শক্তি
|
415 MPa RT 4-পয়েন্ট
|
|
ইয়ং এর মডুলাস
|
430 Gpa 4pt বাঁক, 1300℃
|
|
তাপ পরিবাহিতা
|
300W·m-1· কে-1
|
|
তাপীয় সম্প্রসারণ (CTE)
|
4.5×10-6K-1
|
CVD SIC ফিল্ম ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার
