সিলিকন কার্বাইড আবরণ

VeTek সেমিকন্ডাক্টর অতি বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড লেপ পণ্য উৎপাদনে বিশেষজ্ঞ, এই আবরণগুলি বিশুদ্ধ গ্রাফাইট, সিরামিক এবং অবাধ্য ধাতব উপাদানগুলিতে প্রয়োগ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।

আমাদের উচ্চ বিশুদ্ধতার আবরণগুলি প্রাথমিকভাবে সেমিকন্ডাক্টর এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পে ব্যবহারের জন্য লক্ষ্য করা হয়েছে৷ তারা ওয়েফার ক্যারিয়ার, সাসেপ্টর এবং গরম করার উপাদানগুলির জন্য একটি প্রতিরক্ষামূলক স্তর হিসাবে কাজ করে, এমওসিভিডি এবং ইপিআই-এর মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ক্ষয়কারী এবং প্রতিক্রিয়াশীল পরিবেশ থেকে তাদের রক্ষা করে। এই প্রক্রিয়াগুলি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ এবং ডিভাইস উত্পাদন অবিচ্ছেদ্য। উপরন্তু, আমাদের আবরণগুলি ভ্যাকুয়াম ফার্নেস এবং নমুনা গরম করার জন্য উপযুক্ত, যেখানে উচ্চ ভ্যাকুয়াম, প্রতিক্রিয়াশীল এবং অক্সিজেন পরিবেশের সম্মুখীন হয়।

VeTek সেমিকন্ডাক্টরে, আমরা আমাদের উন্নত মেশিন শপের ক্ষমতা সহ একটি ব্যাপক সমাধান অফার করি। এটি আমাদের গ্রাফাইট, সিরামিক বা অবাধ্য ধাতু ব্যবহার করে বেস উপাদান তৈরি করতে এবং ঘরে ঘরে SiC বা TaC সিরামিক আবরণ প্রয়োগ করতে সক্ষম করে। আমরা গ্রাহকের সরবরাহকৃত অংশগুলির জন্য আবরণ পরিষেবাও প্রদান করি, বিভিন্ন চাহিদা পূরণের নমনীয়তা নিশ্চিত করে।

আমাদের সিলিকন কার্বাইড লেপ পণ্যগুলি ব্যাপকভাবে Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD সিস্টেম, RTP/RTA প্রক্রিয়া, এচিং প্রক্রিয়া, ICP/PSS এচিং প্রক্রিয়া, নীল এবং সবুজ LED, UV LED এবং গভীর-UV সহ বিভিন্ন LED ধরনের প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত হয়। LED ইত্যাদি, যা LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, এর সরঞ্জামগুলিতে অভিযোজিত হয় ASM, Annealsys, TSI এবং তাই।

চুল্লি অংশ আমরা করতে পারি:

সিলিকন কার্বাইড আবরণ বিভিন্ন অনন্য সুবিধা:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন কার্বাইড আবরণ পরামিতি

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সম্পত্তি	সাধারণ মান
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার	FCC β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, প্রধানত (111) ভিত্তিক
SiC আবরণ ঘনত্ব	3.21 গ্রাম/সেমি³
SiC আবরণ কঠোরতা	2500 ভিকার কঠোরতা (500 গ্রাম লোড)
শস্যের আকার	2~10μm
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা	99.99995%
তাপ ক্ষমতা	640 J·kg^-1· কে^-1
পরমানন্দ তাপমাত্রা	2700℃
নমনীয় শক্তি	415 MPa RT 4-পয়েন্ট
ইয়ং এর মডুলাস	430 Gpa 4pt বাঁক, 1300℃
তাপ পরিবাহিতা	300W·m^-1· কে^-1
তাপীয় সম্প্রসারণ (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC ফিল্ম ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত Epi সাসেপ্টর SiC আবরণ ওয়েফার ক্যারিয়ার MOCVD এর জন্য SiC প্রলিপ্ত স্যাটেলাইট কভার CVD SiC আবরণ ওয়েফার Epi সাসেপ্টর CVD SiC আবরণ গরম করার উপাদান অ্যাক্সট্রন স্যাটেলাইট ওয়েফার ক্যারিয়ার SiC আবরণ Epi রিসিভার SiC আবরণ অর্ধচন্দ্র গ্রাফাইট অংশ

CVD সিলিকন কার্বাইড(SiC) প্রলিপ্ত RTP সাসেপ্টর

VeTek সেমিকন্ডাক্টর থেকে CVD SiC প্রলিপ্ত RTP সাসেপ্টর সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন জুড়ে ব্যবহৃত দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ (RTP) এবং দ্রুত থার্মাল অ্যানিলিং (RTA) সরঞ্জাম পরিবেশন করে। সাবস্ট্রেটটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা আইসোস্ট্যাটিক গ্রাফাইট থেকে তৈরি করা হয়, যার উপরে একটি ঘন CVD সিলিকন কার্বাইড (SiC) স্তর জমা হয়। এই নির্মাণ উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, শক্তিশালী রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা, এবং বারবার উচ্চ-তাপমাত্রা সাইক্লিংয়ের অধীনে টেকসই মাত্রিক স্থিতিশীলতা প্রদান করে।

CVD সিলিকন কার্বাইড(SiC) প্রলিপ্ত গ্রাফাইট শাওয়ার হেড

আপনি যদি কখনও একটি ডিপোজিশন চেম্বারে অসম গ্যাস প্রবাহ বা কণা দূষণের সাথে মোকাবিলা করে থাকেন, VETEK CVD SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট শাওয়ার হেড এটি সমাধান করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এটি তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং সহজ যন্ত্রের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা আইসোস্ট্যাটিক গ্রাফাইট দিয়ে শুরু হয়, তারপরে একটি ঘন CVD সিলিকন কার্বাইড (SiC) আবরণ পায় যা পৃষ্ঠকে সিল করে, ক্ষয়কারী গ্যাসগুলিকে প্রতিরোধ করে (যেমন HCl বা NF₃), এবং গ্যাসের বাইরে যাওয়া রোধ করে৷ ফলাফল হল একটি গ্যাস ডিস্ট্রিবিউশন প্লেট যা ওয়েফার জুড়ে অভিন্ন প্রবাহ সরবরাহ করে, উচ্চ-তাপমাত্রার এপিটাক্সি পরিচালনা করে এবং বেয়ার গ্রাফাইট বা কোয়ার্টজের চেয়ে অনেক বেশি সময় স্থায়ী হয় – এটিকে CVD, PECVD, MOCVD, সিলিকন এপিটাক্সি এবং SiC এপিটাক্সি প্রক্রিয়ার জন্য একটি বিশ্বস্ত উপাদান করে তোলে। আমরা কাস্টম হোল প্যাটার্ন এবং মাপও অফার করি, কারণ কোন দুটি চুল্লি ঠিক একই নয়।

সলিড SiC ফোকাস রিং

ওয়েফার ট্র্যাকিং জোনকে ঘিরে ডিজাইন করা, সলিড SiC ফোকাস রিং রৈখিক প্লাজমা বিতরণ এবং সঠিক প্রান্ত থেকে কেন্দ্রে এচ প্রোফাইল নিশ্চিত করে৷ এই প্রিমিয়াম β-SiC উপাদানগুলি ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর (উই তিয়ানইয়াও নিউ মেটেরিয়াল টেকনোলজি কোং, লিমিটেড) ডিপোজিটিক্যাল প্রযুক্তি ব্যবহার করে তৈরি করেছে। একটি ঘন, বাইন্ডারহীন ম্যাট্রিক্সে কাঁচামালকে বাষ্পীভূত করার মাধ্যমে, ভেটেক পুরানো উপকরণগুলিতে সাধারণ ছিদ্রযুক্ত মাইক্রো-গ্যাপগুলি দূর করে। স্ট্যান্ডার্ড কোয়ার্টজ বা সিলিকন শিল্ডিং-এর তুলনায়, আমাদের CVD SiC উপাদানগুলি ক্ষয়কারী হ্যালোজেন গ্যাসের তুলনায় অনেক ভালোভাবে দাঁড়ায়, গভীর সাব-7nm লজিক এবং ঘন মেমরি চিপ তৈরিতে ওয়েফারকে রক্ষা করে। আপনার আরও অনুসন্ধানের অপেক্ষায়।

AMAT 0200-03201 CVD SiC ওয়েফার লিফট পিন

VeTek থেকে এই AMAT 0200-03201 ওয়েফার লিফ্ট পিন উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট দিয়ে শুরু হয়, তারপরে আমরা উপরে একটি ঘন CVD SiC আবরণ যোগ করি। এটি 300 মিমি এপিটাক্সি সিস্টেম এবং ফলিত উপকরণ ইপিআই রিঅ্যাক্টরের জন্য তৈরি করা হয়েছে। গ্রাফাইট এবং SiC কেন? গ্রাফাইট সত্যিই ভাল তাপ পরিচালনা করে। SiC স্তর ক্ষয়কারী গ্যাস গ্রহণ করে এবং দ্রুত ফুরিয়ে যায় না। পাতলা দেয়ালের নকশা? এটি ক্লিনার ওয়েফার উত্তোলন এবং অবস্থানের জন্য, কম কণা এবং উচ্চ তাপমাত্রায় দীর্ঘ অংশ জীবন। আমরা ASM, Aixtron, এবং LPE সিস্টেমের জন্য অনুরূপ SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট অংশ তৈরি করি। আপনার তদন্তের জন্য উন্মুখ.

VEECO MOCVD (LED Epitaxy) এর জন্য ওয়েফার ক্যারিয়ার

Vetek সেমিকন্ডাক্টর VEECO MOCVD সিস্টেমের জন্য ওয়েফার ক্যারিয়ার তৈরি করে, বিশেষ করে LED এপিটাক্সি কাজের জন্য যেমন GaN LEDs, নীল-সবুজ LEDs, এবং গভীর UV LED বৃদ্ধির জন্য তৈরি। এই ক্যারিয়ারগুলি উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট দিয়ে শুরু করে এবং একটি ঘন CVD সিলিকন কার্বাইড (SiC) আবরণ পায়। এই সংমিশ্রণটি আপনি MOCVD-তে যে উচ্চ তাপমাত্রা দেখেন তার মধ্যে ভালভাবে ধরে রাখে - ভাল তাপীয় স্থিতিশীলতা, ক্ষয় প্রতিরোধের, এবং আবরণ স্থায়ী হয়।

LPE প্রতিক্রিয়া চেম্বারের জন্য হাফমুন

হাফমুন হল একটি গ্রাফাইট উপাদান যা LPE SiC চুল্লির ভিতরে ব্যবহৃত হয়, যা মূলত চেম্বারের গরম অঞ্চলের চারপাশে ইনস্টল করা হয়। যদিও এটি সরাসরি ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে না, তবুও এটি এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির সময় গ্যাস প্রবাহের স্থিতিশীলতা এবং চুল্লী অপারেশনে ভূমিকা পালন করে। উচ্চ তাপমাত্রা এবং প্রতিক্রিয়াশীল প্রক্রিয়া পরিস্থিতি পরিচালনা করার জন্য, উপাদানটি সাধারণত CVD SiC আবরণ দ্বারা সুরক্ষিত থাকে, যখন TaC আবরণ কিছু অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপলব্ধ। VETEK SiC এপিটাক্সি সিস্টেমের জন্য গ্রাফাইট অনুভূত নিরোধক এবং অন্যান্য প্রলিপ্ত গ্রাফাইট অংশ সরবরাহ করে।

QR কোড

আমাদের সম্পর্কে

পণ্য

যোগাযোগ করুন

ফোন
+86-18069220752
+86-15988690905
ফ্যাক্স
+86-579-87223657
ই-মেইল
anny@veteksemi.com
ঠিকানা
ওয়াংদা রোড, জিয়াং স্ট্রিট, উয়ি কাউন্টি, জিনহুয়া সিটি, ঝেজিয়াং প্রদেশ, চীন

ওয়েব মেনু

পণ্য অনুসন্ধান

ভাষা

প্রস্থান মেনু