সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত এপিআই সংবেদনশীল

সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সি বলতে গ্যাস ফেজ, তরল পর্যায় বা আণবিক মরীচি জমার মতো পদ্ধতির মাধ্যমে একটি সাবস্ট্রেট উপাদানের পৃষ্ঠে একটি নির্দিষ্ট জালির কাঠামো সহ একটি পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি বোঝায়, যাতে সদ্য গজানো পাতলা ফিল্ম স্তর (এপিটাক্সিয়াল স্তর) থাকে। সাবস্ট্রেট হিসাবে একই বা অনুরূপ জালির গঠন এবং অভিযোজন। 

এপিটাক্সি প্রযুক্তি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, বিশেষ করে উচ্চ-মানের পাতলা ফিল্ম তৈরিতে, যেমন একক স্ফটিক স্তর, হেটেরোস্ট্রাকচার এবং কোয়ান্টাম স্ট্রাকচার উচ্চ-ক্ষমতাসম্পন্ন ডিভাইস তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়।

সিলিকন কার্বাইড লেপা Epi সাসেপ্টর হল একটি মূল উপাদান যা এপিটাক্সিয়াল গ্রোথ ইকুইপমেন্টে সাবস্ট্রেটকে সমর্থন করতে ব্যবহৃত হয় এবং সিলিকন এপিটাক্সিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এপিটাক্সিয়াল পেডেস্টালের গুণমান এবং কর্মক্ষমতা সরাসরি এপিটাক্সিয়াল স্তরের বৃদ্ধির গুণমানকে প্রভাবিত করে এবং সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির চূড়ান্ত কার্যকারিতায় একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর CVD পদ্ধতিতে SGL গ্রাফাইটের পৃষ্ঠে SIC আবরণের একটি স্তর প্রলিপ্ত করেছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, অক্সিডেশন প্রতিরোধ, জারা প্রতিরোধ এবং তাপীয় অভিন্নতার মতো বৈশিষ্ট্য সহ SiC প্রলিপ্ত এপি সাসেপ্টর পেয়েছে।

একটি সাধারণ ব্যারেল চুল্লিতে, সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত Epi সাসেপ্টরের একটি ব্যারেল কাঠামো থাকে। SiC প্রলিপ্ত Epi সাসেপ্টরের নীচের অংশটি ঘূর্ণায়মান শ্যাফটের সাথে সংযুক্ত। এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়া চলাকালীন, এটি ঘড়ির কাঁটার দিকে এবং ঘড়ির কাঁটার বিপরীতে ঘূর্ণন বজায় রাখে। প্রতিক্রিয়া গ্যাস অগ্রভাগের মাধ্যমে প্রতিক্রিয়া চেম্বারে প্রবেশ করে, যাতে গ্যাস প্রবাহ প্রতিক্রিয়া চেম্বারে একটি মোটামুটি অভিন্ন বন্টন গঠন করে এবং অবশেষে একটি অভিন্ন এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধি গঠন করে।

SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইটের ভর পরিবর্তন এবং জারণ সময়ের মধ্যে সম্পর্ক

প্রকাশিত গবেষণার ফলাফলগুলি দেখায় যে 1400 ℃ এবং 1600 ℃ এ, এসআইসি লেপা গ্রাফাইটের ভর খুব কম বৃদ্ধি পায়। অর্থাৎ, এসআইসি লেপা গ্রাফাইটের একটি শক্তিশালী অ্যান্টিঅক্সিডেন্ট ক্ষমতা রয়েছে। অতএব, এসআইসি লেপযুক্ত ইপিআই সংজ্ঞাবহ বেশিরভাগ এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লিগুলিতে দীর্ঘ সময়ের জন্য কাজ করতে পারে। আপনার আরো প্রয়োজনীয়তা বা কাস্টমাইজড প্রয়োজন আছে, আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন. আমরা সেরা মানের SiC প্রলিপ্ত Epi সাসেপ্টর সমাধান প্রদান করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।

CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য

VeTek সেমিকন্ডাক্টরসিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত এপিআই সংবেদনশীল দোকানগুলি