সিলিকন এপিটাক্সি

সিলিকন Epitaxy, EPI,Epitaxy, Epitaxial একটি একক স্ফটিক সিলিকন সাবস্ট্রেটে একই স্ফটিক দিক এবং বিভিন্ন স্ফটিক বেধ সহ স্ফটিকের একটি স্তরের বৃদ্ধি বোঝায়। সেমিকন্ডাক্টর বিচ্ছিন্ন উপাদান এবং ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট তৈরির জন্য এপিটাক্সিয়াল গ্রোথ টেকনোলজির প্রয়োজন, কারণ সেমিকন্ডাক্টরগুলিতে থাকা অমেধ্যগুলির মধ্যে রয়েছে এন-টাইপ এবং পি-টাইপ। বিভিন্ন ধরনের সংমিশ্রণের মাধ্যমে, সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলি বিভিন্ন ধরনের ফাংশন প্রদর্শন করে।

সিলিকন এপিটাক্সি বৃদ্ধির পদ্ধতিকে গ্যাস ফেজ এপিটাক্সি, তরল ফেজ এপিটাক্সি (এলপিই), সলিড ফেজ এপিটাক্সি, রাসায়নিক বাষ্প জমা বৃদ্ধির পদ্ধতিতে বিভক্ত করা যেতে পারে যা জালির অখণ্ডতা পূরণের জন্য বিশ্বে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

সাধারণ সিলিকন এপিটাক্সিয়াল সরঞ্জামগুলি ইতালীয় কোম্পানি এলপিই দ্বারা প্রতিনিধিত্ব করে, যার প্যানকেক এপিটাক্সিয়াল হাই পনোটিক টর, ব্যারেল টাইপ হাই পনোটিক টর, সেমিকন্ডাক্টর হাই পনোটিক, ওয়েফার ক্যারিয়ার এবং আরও অনেক কিছু রয়েছে। ব্যারেল-আকৃতির এপিটাক্সিয়াল হাই পেলেক্টর প্রতিক্রিয়া চেম্বারের পরিকল্পিত চিত্রটি নিম্নরূপ। VeTek সেমিকন্ডাক্টর ব্যারেল আকৃতির ওয়েফার এপিটাক্সিয়াল হাই পেলেক্টর প্রদান করতে পারে। SiC প্রলিপ্ত HY pelector এর গুণমান খুবই পরিপক্ক। SGL এর সমতুল্য গুণমান; একই সময়ে, VeTek সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন এপিটাক্সিয়াল প্রতিক্রিয়া গহ্বর কোয়ার্টজ অগ্রভাগ, কোয়ার্টজ ব্যাফেল, বেল জার এবং অন্যান্য সম্পূর্ণ পণ্য সরবরাহ করতে পারে।

সিলিকন এপিটাক্সির জন্য উল্লম্ব এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টর:

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের প্রধান উল্লম্ব এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টর পণ্য

EPI এর জন্য SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ব্যারেল সাসেপ্টর SiC প্রলিপ্ত ব্যারেল সাসেপ্টর CVD SiC প্রলিপ্ত ব্যারেল সাসেপ্টর এলপিই এসআই ইপিআই রিসেপ্টর সেট

সিলিকন এপিটাক্সির জন্য অনুভূমিক এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টর:

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের প্রধান অনুভূমিক এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টর পণ্য

SiC আবরণ মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন এপিটাক্সিয়াল ট্রে LPE PE2061S এর জন্য SiC প্রলিপ্ত সমর্থন গ্রাফাইট রোটেটিং রিসিভার