VeTek থেকে এই AMAT 0200-03201 ওয়েফার লিফ্ট পিন উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট দিয়ে শুরু হয়, তারপরে আমরা উপরে একটি ঘন CVD SiC আবরণ যোগ করি। এটি 300 মিমি এপিটাক্সি সিস্টেম এবং ফলিত উপকরণ ইপিআই রিঅ্যাক্টরের জন্য তৈরি করা হয়েছে। গ্রাফাইট এবং SiC কেন? গ্রাফাইট সত্যিই ভাল তাপ পরিচালনা করে। SiC স্তর ক্ষয়কারী গ্যাস গ্রহণ করে এবং দ্রুত ফুরিয়ে যায় না। পাতলা দেয়ালের নকশা? এটি ক্লিনার ওয়েফার উত্তোলন এবং অবস্থানের জন্য, কম কণা এবং উচ্চ তাপমাত্রায় দীর্ঘ অংশ জীবন। আমরা ASM, Aixtron, এবং LPE সিস্টেমের জন্য অনুরূপ SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট অংশ তৈরি করি। আপনার তদন্তের জন্য উন্মুখ.
● উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট কোর + CVD SiC আবরণ – প্রকৃত অর্ধপরিবাহী উৎপাদনের জন্য নির্মিত।
● চক্রের পর যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা চক্র হারানো ছাড়া উচ্চ-তাপমাত্রার এপিটাক্সি রান পরিচালনা করে।
● পাতলা প্রাচীর আকৃতি তাপ ভর কমিয়ে দেয় এবং ওয়েফার হ্যান্ডলিং নির্ভুলতা উন্নত করে।
● SiC স্তর আক্রমনাত্মক প্রক্রিয়া গ্যাস এবং রাসায়নিক পরিষ্কারের জন্য দাঁড়ায়।
● মসৃণ, অভিন্ন আবরণ মানে কম কণা ঝরানো এবং আরও স্থিতিশীল প্রক্রিয়াকরণ। আমরা সমালোচনামূলক সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রাংশের জন্য CNC মেশিনের সাথে শক্ত সহনশীলতা রাখি।
CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
CVD SiC আবরণের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সম্পত্তি
সাধারণ মান
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার
FCC β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, প্রধানত (111) ভিত্তিক
CVD SiC আবরণ ঘনত্ব
3.21 গ্রাম/সেমি³
SiC আবরণ কঠোরতা
2500 ভিকার কঠোরতা (500 গ্রাম লোড)
শস্যের আকার
2~10μm
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা
99.99995%
তাপ ক্ষমতা
640 J·kg-1·K-1
পরমানন্দ তাপমাত্রা
2700℃
নমনীয় শক্তি
415 MPa RT 4-পয়েন্ট
ইয়ং এর মডুলাস
430 Gpa 4pt বাঁক, 1300℃
তাপ পরিবাহিতা
300W·m-1·K-1
তাপীয় সম্প্রসারণ (CTE)
4.5×10-6K-1
অ্যাপ্লিকেশন
● সিলিকন এপিটাক্সি (Si EPI) – 300 মিমি চুল্লির ভিতরে ওয়েফার উত্তোলন, অবস্থান এবং চলমান।
● সাধারণ সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ যেখানে আপনার প্রয়োজন তাপ স্থিতিশীলতা, জারা প্রতিরোধের, কম কণা এবং দীর্ঘ অংশ জীবন।
● AMAT এপিটাক্সি চেম্বার এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেম।
কেন VeTek সেমিকন্ডাক্টর চয়ন করুন
● উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট যা সেমিকন্ডাক্টর ব্যবহারের জন্য।
● তাপ স্থিতিশীলতা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধ উভয়ই কঠিন।
● সহনশীলতা শক্ত রাখুন — নির্ভুল যন্ত্র আমাদের জিনিস।
● AMAT, ASM, Aixtron, এবং LPE এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
হট ট্যাগ: AMAT 0200-03201 CVD SiC ওয়েফার লিফট পিন
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
আমরা আপনাকে একটি ভাল ব্রাউজিং অভিজ্ঞতা দিতে, সাইটের ট্র্যাফিক বিশ্লেষণ করতে এবং সামগ্রী ব্যক্তিগতকৃত করতে কুকিজ ব্যবহার করি। এই সাইটটি ব্যবহার করে, আপনি আমাদের কুকিজ ব্যবহারে সম্মত হন। গোপনীয়তা নীতি