ছিদ্রযুক্ত সিলিকন কার্বাইড (এসআইসি) সিরামিক প্লেট: সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে উচ্চ-পারফরম্যান্স উপকরণ

Ⅰ। ছিদ্রযুক্ত সিক সিরামিক প্লেট কী?

পোরস সিলিকন কার্বাইড সিরামিক প্লেট হ'ল বিশেষ প্রক্রিয়া দ্বারা সিলিকন কার্বাইড (এসআইসি) দিয়ে তৈরি একটি ছিদ্রযুক্ত কাঠামো সিরামিক উপাদান (যেমন ফোমিং, 3 ডি প্রিন্টিং বা ছিদ্র-গঠনের এজেন্ট যুক্ত করা)। এর মূল বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে রয়েছে:

● নিয়ন্ত্রণযোগ্য পোরোসিটি: 30% -70% বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশন দৃশ্যের প্রয়োজন মেটাতে সামঞ্জস্যযোগ্য।

● অভিন্ন ছিদ্র আকার বিতরণ: গ্যাস/তরল সংক্রমণ স্থায়িত্ব নিশ্চিত করুন।

● লাইটওয়েট ডিজাইন: সরঞ্জাম শক্তি খরচ হ্রাস করুন এবং অপারেটিং দক্ষতা উন্নত করুন।

। ফাইভ কোর শারীরিক বৈশিষ্ট্য এবং ছিদ্রযুক্ত সিক সিরামিক প্লেটের ব্যবহারকারীর মান

1। উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের এবং তাপ ব্যবস্থাপনা (প্রধানত সরঞ্জাম তাপীয় ব্যর্থতার সমস্যা সমাধানের জন্য)

● চরম তাপমাত্রা প্রতিরোধের: অবিচ্ছিন্ন কাজের তাপমাত্রা 1600 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডে পৌঁছায় (অ্যালুমিনা সিরামিকের চেয়ে 30% বেশি)।

● উচ্চ দক্ষতা তাপ পরিবাহিতা: তাপীয় পরিবাহিতা সহগ 120 ডাব্লু/(এম · কে), দ্রুত তাপের অপচয় হ্রাস সংবেদনশীল উপাদানগুলিকে সুরক্ষা দেয়।

● অতি-নিম্ন তাপীয় প্রসারণ: তাপীয় প্রসারণ সহগ কেবলমাত্র 4.0 × 10⁻⁶/° C, চরম উচ্চ তাপমাত্রার অধীনে অপারেশনের জন্য উপযুক্ত, কার্যকরভাবে উচ্চ তাপমাত্রার বিকৃতি এড়ানো।

2। রাসায়নিক স্থিতিশীলতা (ক্ষয়কারী পরিবেশে রক্ষণাবেক্ষণ ব্যয় হ্রাস)

● শক্তিশালী অ্যাসিড এবং ক্ষার প্রতিরোধী: এইচএফ এবং হেসো এর মতো ক্ষয়কারী মিডিয়া প্রতিরোধ করতে পারেন

● প্লাজমা ক্ষয়ের প্রতিরোধী: শুকনো এচিং সরঞ্জামগুলিতে জীবন 3 বারেরও বেশি বৃদ্ধি পেয়েছে

3। যান্ত্রিক শক্তি (সরঞ্জামের জীবন বাড়ানো)

● উচ্চ কঠোরতা: মোহস কঠোরতা 9.2 এর চেয়ে বেশি, এবং স্টেইনলেস স্টিলের চেয়ে প্রতিরোধের পরিধান ভাল

● বাঁকানো শক্তি: 300-400 এমপিএ, ওয়ারপিং ছাড়াই ওয়েফারগুলিকে সমর্থন করে

4 .. ছিদ্রযুক্ত কাঠামোর কার্যকারিতা (প্রক্রিয়া ফলন উন্নত করা)

● অভিন্ন গ্যাস বিতরণ: সিভিডি প্রক্রিয়া ফিল্মের অভিন্নতা 98%এ উন্নীত হয়েছে।

● সুনির্দিষ্ট শোষণ নিয়ন্ত্রণ: ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ইএসসি) এর অবস্থানের নির্ভুলতা ± 0.01 মিমি।

5 ... পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতার গ্যারান্টি (অর্ধপরিবাহী-গ্রেডের মানগুলির সাথে সম্মতিতে)

● শূন্য ধাতু দূষণ: বিশুদ্ধতা> 99.99%, ওয়েফার দূষণ এড়ানো

● স্ব-পরিচ্ছন্নতার বৈশিষ্ট্য: মাইক্রোপারাস কাঠামো কণা জমা দেওয়ার হ্রাস করে

Iii। সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে ছিদ্রযুক্ত এসআইসি প্লেটের চারটি মূল অ্যাপ্লিকেশন

পরিস্থিতি 1: উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া সরঞ্জাম (প্রসারণ চুল্লি/অ্যানিলিং ফার্নেস)

● ব্যবহারকারীর ব্যথা পয়েন্ট: Traditional তিহ্যবাহী উপকরণগুলি সহজেই বিকৃত হয়, যার ফলে ওয়েফার স্ক্র্যাপিং হয়

● সমাধান: ক্যারিয়ার প্লেট হিসাবে এটি 1200 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড পরিবেশের অধীনে স্থিরভাবে কাজ করে

● ডেটা তুলনা: তাপীয় বিকৃতি অ্যালুমিনার তুলনায় 80% কম

পরিস্থিতি 2: রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি)

● ব্যবহারকারীর ব্যথা পয়েন্ট: অসম গ্যাস বিতরণ ফিল্মের মানকে প্রভাবিত করে

● সমাধান: ছিদ্রযুক্ত কাঠামো প্রতিক্রিয়া গ্যাসের প্রসারণ ইউনিফর্মটি 95% এ পৌঁছায়

● শিল্প কেস: 3 ডি নান্দ ফ্ল্যাশ মেমরি পাতলা ফিল্ম ডিপোজিটিতে প্রয়োগ

পরিস্থিতি 3: শুকনো এচিং সরঞ্জাম

● ব্যবহারকারীর ব্যথা পয়েন্ট: প্লাজমা ক্ষয়rtens উপাদান জীবন

● সমাধান: অ্যান্টি-প্লাজমা পারফরম্যান্স রক্ষণাবেক্ষণ চক্রটি 12 মাস পর্যন্ত প্রসারিত করে

● ব্যয়-কার্যকারিতা: সরঞ্জাম ডাউনটাইম 40% হ্রাস পেয়েছে

পরিস্থিতি 4: ওয়েফার ক্লিনিং সিস্টেম

● ব্যবহারকারীর ব্যথা পয়েন্ট: অ্যাসিড এবং ক্ষার জারা কারণে ঘন ঘন অংশগুলির প্রতিস্থাপন

● সমাধান: এইচএফ অ্যাসিড প্রতিরোধের পরিষেবা জীবনকে 5 বছরেরও বেশি সময় ধরে পৌঁছে দেয়

● যাচাইকরণ ডেটা: শক্তি ধরে রাখার হার> 1000 পরিষ্কারের চক্রের পরে 90%

Iv। Traditional তিহ্যবাহী উপকরণগুলির সাথে তুলনা করে 3 প্রধান নির্বাচনের সুবিধা

শিল্প ব্যবহারকারীদের জন্য ভি। এফএকিউ

প্রশ্ন 1: ছিদ্রযুক্ত সিক সিরামিক প্লেট গ্যালিয়াম নাইট্রাইড (জিএএন) ডিভাইস উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত?

উত্তর: হ্যাঁ, এর উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের এবং উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা বিশেষত গাএন এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়াটির জন্য উপযুক্ত এবং 5 জি বেস স্টেশন চিপ উত্পাদনতে প্রয়োগ করা হয়েছে।

প্রশ্ন 2: পোরোসিটি প্যারামিটারটি কীভাবে চয়ন করবেন?

উত্তর: অ্যাপ্লিকেশন দৃশ্য অনুযায়ী চয়ন করুন:

● বিতরণ গ্যাসটিওন: 40% -50% খোলা পোরোসিটি সুপারিশ করা হয়

● ভ্যাকুয়াম শোষণ: 60% -70% উচ্চ পোরোসিটি সুপারিশ করা হয়

প্রশ্ন 3: অন্যান্য সিলিকন কার্বাইড সিরামিকগুলির সাথে পার্থক্য কী?

উত্তর: ঘন সাথে তুলনাসিক সিরামিকস, ছিদ্রযুক্ত কাঠামোর নিম্নলিখিত সুবিধাগুলি রয়েছে:

● 50% ওজন হ্রাস

Pership নির্দিষ্ট পৃষ্ঠের অঞ্চলে 20 গুণ বৃদ্ধি পায়

● 30% তাপ চাপ হ্রাস