কোয়ার্টজ নৌকা কী?

কোয়ার্টজ বোট একটি মূল ভারবহন উপাদান যা অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত হয়, মূলত ওয়েফারগুলির উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণের জন্য যেমন প্রসারণ, জারণ এবং অ্যানিলিংয়ের জন্য ব্যবহৃত হয়। এর দুর্দান্ত তাপীয় স্থায়িত্ব, কম দূষণের বৈশিষ্ট্য এবং জারা প্রতিরোধের এটিকে অর্ধপরিবাহী শিল্পে একটি অপরিহার্য উপাদান তৈরি করে। এই নিবন্ধটি কোয়ার্টজ নৌকা এবং পিইসিভিডি গ্রাফাইট বোটের মধ্যে উপাদান, শারীরিক বৈশিষ্ট্য, শ্রেণিবিন্যাস, প্রয়োগের পরিস্থিতি এবং পার্থক্য সম্পর্কে বিস্তারিত জানাবে।

Ⅰ। কোয়ার্টজ বোটের উপাদান

কোয়ার্টজ ক্যারিয়ারের মূল উপাদানটি হ'ল উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন ডাই অক্সাইড (এসআইও) এবং বিশুদ্ধতা সাধারণত 99.99% (অর্ধপরিবাহী গ্রেড) এর বেশি পৌঁছাতে হয়। এই উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ উপাদানটি নিশ্চিত করে যে কোয়ার্টজ ক্যারিয়ারটি ওয়েফারের উপর ধাতব অমেধ্যগুলির দূষণ হ্রাস করতে অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন অমেধ্য প্রবর্তন করবে না।

প্রস্তুতি প্রক্রিয়া অনুসারে, কোয়ার্টজ উপকরণ দুটি বিভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে:

● প্রাকৃতিক কোয়ার্টজ: একটি উচ্চ হাইড্রোক্সিল সামগ্রী (প্রায় 100-200 পিপিএম) সহ স্ফটিক পরিশোধন থেকে তৈরি, কম ব্যয়, তবে উচ্চ তাপমাত্রার হঠাৎ পরিবর্তনের ক্ষেত্রে দুর্বল সহনশীলতা।

● সিন্থেটিক কোয়ার্টজ: কম হাইড্রোক্সিল (-OH) সামগ্রী (<1 পিপিএম) সহ রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি) বা ইলেক্ট্রোফিউশন দ্বারা সংশ্লেষিত, আরও ভাল তাপীয় স্থায়িত্ব এবং উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলির জন্য উপযুক্ত (যেমন জারণ এবং বিস্তার)।

এছাড়াও, কিছু কোয়ার্টজ নৌকাগুলি বিকৃতি প্রতিরোধের উন্নতি করতে বা ইউভি প্রক্রিয়াগুলির প্রয়োজন মেটাতে হালকা সংক্রমণ সামঞ্জস্য করতে টাইটানিয়াম (টিআই) বা অ্যালুমিনিয়াম (আ.এল) এর মতো ধাতবগুলির সাথে ডোপ করা হয়।

Ⅱ। কোয়ার্টজ নৌকাগুলির প্রধান শারীরিক বৈশিষ্ট্যগুলি কী কী?

● উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের: কোয়ার্টজের গলনাঙ্কটি 1713 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের চেয়ে বেশি এবং এটি দীর্ঘ সময়ের জন্য 1200 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডে স্থিরভাবে কাজ করতে পারে এবং অল্প সময়ের জন্য 1500 ° C সহ্য করতে পারে।

● কম তাপীয় প্রসারণ সহগ: তাপীয় প্রসারণ সহগটি কেবল 0.55 × 10⁻⁶/° C। এই দুর্দান্ত পারফরম্যান্স উচ্চ তাপমাত্রায় মাত্রিক স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে এবং তাপীয় চাপের কারণে ক্র্যাকিং এড়ায়।

● রাসায়নিক জড়তা: হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড (এইচএফ) এবং হট ফসফরিক অ্যাসিড ব্যতীত কোয়ার্টজ শক্তিশালী অ্যাসিড, শক্তিশালী ক্ষার এবং বেশিরভাগ ক্ষয়কারী গ্যাস (যেমন সিএল, ও ₂) প্রতিরোধ করতে পারে।

● বৈদ্যুতিক নিরোধক: প্লাজমা প্রক্রিয়াটির বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র বিতরণের সাথে হস্তক্ষেপ এড়ানো, প্রতিরোধ ক্ষমতা 10⁶ω · সেমি হিসাবে বেশি।

● হালকা ট্রান্সমিট্যান্স: আল্ট্রাভায়োলেট থেকে ইনফ্রারেড ব্যান্ড (＞ 90%) এ দুর্দান্ত ট্রান্সমিট্যান্স, হালকা-সহায়তাযুক্ত প্রক্রিয়াগুলির জন্য উপযুক্ত (যেমন অতিবেগুনী নিরাময়)।

Iii। কোয়ার্টজ নৌকাগুলির শ্রেণিবিন্যাস

বিভিন্ন ডিজাইনের কাঠামো এবং ব্যবহারের পরিস্থিতি অনুসারে, কোয়ার্টজ নৌকাগুলি নিম্নলিখিত বিভাগগুলিতে বিভক্ত করা যেতে পারে:

● অনুভূমিক কোয়ার্টজ নৌকা

জারণ, প্রসারণ, অ্যানিলিং এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলির জন্য ব্যবহৃত অনুভূমিক টিউব চুল্লি (অনুভূমিক প্রসারণ চুল্লি) এর জন্য প্রযোজ্য।

বৈশিষ্ট্যগুলি: সাধারণত একটি খোলা বা আধা-বদ্ধ নকশার সাথে 100-200 ওয়েফার বহন করতে পারে।

● উল্লম্ব কোয়ার্টজ নৌকা

এলপিসিভিডি প্রক্রিয়া, জারণ এবং অ্যানিলিং প্রক্রিয়াগুলির জন্য ব্যবহৃত উল্লম্ব চুল্লি (উল্লম্ব চুল্লি) এর জন্য প্রযোজ্য।

বৈশিষ্ট্য: আরও কমপ্যাক্ট কাঠামো, ওয়েফার বহন ক্ষমতা বাড়াতে পারে এবং প্রক্রিয়া চলাকালীন কণা দূষণ হ্রাস করতে পারে।

● কাস্টমাইজড কোয়ার্টজ নৌকা

বিভিন্ন প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা অনুসারে ডিজাইন করা, একক ওয়েফার সমর্থন বা বিশেষ ক্ল্যাম্পিং কাঠামো ওয়েফার প্রসেসিং প্রভাবগুলি অনুকূল করতে ব্যবহার করা যেতে পারে।

চীনে শীর্ষস্থানীয় কোয়ার্টজ নৌকা প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে,Veteeksemon আপনার প্রকৃত প্রয়োজন অনুসারে কাস্টমাইজড কোয়ার্টজ ক্যারিয়ার পণ্যগুলি ডিজাইন এবং উত্পাদন করতে পারে। আরও পণ্যের তথ্যের জন্য, দয়া করে দেখুন:

Iv। সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে কোয়ার্টজ বোটের প্রয়োগের পরিস্থিতিগুলি কী কী?

কোয়ার্টজ নৌকাগুলি মূলত নিম্নলিখিত অ্যাপ্লিকেশন পরিস্থিতি সহ অর্ধপরিবাহী উত্পাদনগুলির অনেকগুলি মূল প্রক্রিয়া লিঙ্কগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়:

4.1 তাপ জারণ

● প্রক্রিয়া বিবরণ: একটি সিলিকন ডাই অক্সাইড (এসআইও) ফিল্ম গঠনের জন্য উচ্চ-তাপমাত্রা অক্সিজেন বা জলীয় বাষ্পের পরিবেশে ওয়েফারটি উত্তপ্ত হয়।

Qu কোয়ার্টজ বোটের বৈশিষ্ট্য:

1) উচ্চ তাপ প্রতিরোধের, 1000 ~ 1200 ° C এর উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে।

2) রাসায়নিক জড়তা, কোয়ার্টজ নৌকাগুলি শক্তিশালী অ্যাসিড, শক্তিশালী ক্ষার এবং বেশিরভাগ ক্ষয়কারী গ্যাসগুলির বিরুদ্ধে প্রতিরোধী, তাই এটি অক্সাইড ফিল্মের গুণমানকে প্রভাবিত করতে এড়াতে পারে।

4.2 প্রসারণ প্রক্রিয়া

● প্রক্রিয়া বিবরণ: অমেধ্য (যেমন ফসফরাস এবং বোরন) উচ্চ তাপমাত্রার অবস্থার অধীনে সিলিকন ওয়েফারে একটি ডোপিং স্তর গঠনের জন্য ছড়িয়ে দেওয়া হয়।

● কোয়ার্টজ নৌকা বৈশিষ্ট্য:

1) কম দূষণ, ধাতু দূষণকে ডোপিং ঘনত্ব বিতরণকে প্রভাবিত করতে বাধা দেয়।

2) উচ্চ তাপীয় স্থায়িত্ব, কেবলমাত্র 0.55 × 10⁻⁶/° C এর তাপীয় প্রসারণ সহগ সহ, অভিন্ন প্রসারণ প্রক্রিয়া নিশ্চিত করে।

4.3 অ্যানিলিং প্রক্রিয়া

● প্রক্রিয়া বিবরণ: উচ্চ তাপমাত্রা চিকিত্সা স্ট্রেস অপসারণ, উপাদান স্ফটিক কাঠামো উন্নত করতে বা আয়ন ইমপ্লান্টেশন স্তরটি সক্রিয় করতে ব্যবহৃত হয়।

● কোয়ার্টজ নৌকা বৈশিষ্ট্য:

1) 1713 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড হিসাবে উচ্চতর একটি গলনাঙ্কের সাথে এটি তাপীয় চাপের কারণে ক্র্যাকিং এড়াতে দ্রুত গরম এবং শীতলকরণ সহ্য করতে পারে।

2) অভিন্ন গরম নিশ্চিত করার জন্য সুনির্দিষ্ট আকার নিয়ন্ত্রণ।

4.4 নিম্নচাপ রাসায়নিক বাষ্প জমা (এলপিসিভিডি)

● প্রক্রিয়া বিবরণ: একটি নিম্নচাপের পরিবেশে, সিলিকন নাইট্রাইড (সিএনএন) এর মতো একটি অভিন্ন পাতলা ফিল্ম একটি গ্যাস পর্বের প্রতিক্রিয়ার মাধ্যমে গঠিত হয়।

Qu কোয়ার্টজ বোটের বৈশিষ্ট্য:

1) উল্লম্ব চুল্লি টিউবগুলির জন্য উপযুক্ত, ফিল্ম ডিপোজিশন ইউনিফর্মিটিকে অনুকূল করতে পারে।

2) নিম্ন কণা দূষণ, ফিল্মের মান উন্নত করুন।

Ⅴ। কোয়ার্টজ নৌকা এবং পিইসিভিডি গ্রাফাইট বোটের মধ্যে পার্থক্য কী?

সাধারণ পার্থক্য পরিস্থিতি:

● পিইসিভিডি প্রক্রিয়া: গ্রাফাইট নৌকাগুলি তাদের পরিবাহের কারণে প্লাজমা অভিন্নতার অনুকূলকরণ করতে পারে এবং কম তাপমাত্রার পরিবেশে (300-400 ° C) কোয়ার্টজের উচ্চ তাপমাত্রার পারফরম্যান্সের প্রয়োজন হয় না।

● উচ্চ তাপমাত্রা জারণ চুল্লি: ভিটেকসেমিকন কোয়ার্টজ নৌকাগুলি তাদের উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের জন্য অপরিবর্তনীয়, যখন গ্রাফাইটটি অক্সিজেনের পরিবেশে উচ্চ তাপমাত্রায় কো/কো ₂ ে উত্পন্ন করতে সহজেই জারণ করা হয়, যা চেম্বারের দূষিত করে।