ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর পোরস ট্যানটালাম কার্বাইড (টিএসি) একটি উচ্চ-পারফরম্যান্স সিরামিক উপাদান যা ট্যানটালাম এবং কার্বনের বৈশিষ্ট্যগুলিকে একত্রিত করে। এর ছিদ্রযুক্ত কাঠামোটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং চরম পরিবেশে নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য খুব উপযুক্ত। টিএসি দুর্দান্ত কঠোরতা, তাপীয় স্থায়িত্ব এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের সংমিশ্রণ করে, এটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণে একটি আদর্শ উপাদান পছন্দ করে তোলে।

ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড (টিএসি) ট্যান্টালাম (টিএ) এবং কার্বন (সি) দ্বারা গঠিত, যেখানে ট্যানটালাম কার্বন পরমাণুর সাথে একটি শক্তিশালী রাসায়নিক বন্ধন গঠন করে, উপাদানটিকে অত্যন্ত উচ্চ স্থায়িত্ব এবং প্রতিরোধের পরিধান করে। ছিদ্রযুক্ত টিএসি -র ছিদ্রযুক্ত কাঠামোটি উপাদানটির উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন তৈরি করা হয় এবং নির্দিষ্ট প্রয়োগের প্রয়োজন অনুসারে পোরোসিটি নিয়ন্ত্রণ করা যায়। এই পণ্যটি সাধারণত দ্বারা উত্পাদিত হয়রাসায়নিক বাষ্প জবানবন্দি (সিভিডি)পদ্ধতি, এর ছিদ্র আকার এবং বিতরণের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করা।

ট্যানটালাম কার্বাইডের আণবিক কাঠামো

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর পোরস ট্যানটালাম কার্বাইড (টিএসি) এর নিম্নলিখিত পণ্য বৈশিষ্ট্য রয়েছে

● পোরোসিটি: ছিদ্রযুক্ত কাঠামো এটিকে নির্দিষ্ট প্রয়োগের পরিস্থিতিতে বিভিন্ন ফাংশন দেয়, যার মধ্যে গ্যাসের বিস্তার, পরিস্রাবণ বা নিয়ন্ত্রিত তাপ অপচয় হ্রাস রয়েছে।

● উচ্চ গলনাঙ্ক: ট্যানটালাম কার্বাইডের প্রায় 3,880 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের অত্যন্ত উচ্চ গলনাঙ্ক রয়েছে যা অত্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশের জন্য উপযুক্ত।

● দুর্দান্ত কঠোরতা: ছিদ্রযুক্ত টিএসি হীরার মতো এমএইচএস কঠোরতা স্কেলে প্রায় 9-10 এর অত্যন্ত উচ্চতা রয়েছে। , এবং চরম পরিস্থিতিতে যান্ত্রিক পরিধান প্রতিরোধ করতে পারে।

● তাপ স্থায়িত্ব: ট্যান্টালাম কার্বাইড (টিএসি) উপাদান উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে স্থিতিশীল থাকতে পারে এবং উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে এর ধারাবাহিক কার্যকারিতা নিশ্চিত করে শক্তিশালী তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে।

● উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা: এর পোরোসিটি সত্ত্বেও, ছিদ্রযুক্ত ট্যান্টালাম কার্বাইড এখনও দক্ষ তাপ স্থানান্তর নিশ্চিত করে ভাল তাপ পরিবাহিতা ধরে রাখে।

● কম তাপীয় প্রসারণ সহগ: ট্যানটালাম কার্বাইড (টিএসি) এর নিম্ন তাপীয় প্রসারণ সহগ উপাদানটিকে উল্লেখযোগ্য তাপমাত্রার ওঠানামার অধীনে মাত্রিকভাবে স্থিতিশীল থাকতে সহায়তা করে এবং তাপীয় চাপের প্রভাব হ্রাস করে।

টিএসি লেপের শারীরিক বৈশিষ্ট্য

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে, ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড (টিএসি) নিম্নলিখিত নির্দিষ্ট মূল ভূমিকা পালন করেs

উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া যেমনপ্লাজমা এচিংএবং সিভিডি, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর পোরস ট্যানটালাম কার্বাইড প্রায়শই প্রক্রিয়াজাতকরণ সরঞ্জামগুলির জন্য প্রতিরক্ষামূলক আবরণ হিসাবে ব্যবহৃত হয়। এটি শক্তিশালী জারা প্রতিরোধের কারণেটিএসি লেপএবং এর উচ্চ-তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা। এই বৈশিষ্ট্যগুলি নিশ্চিত করে যে এটি কার্যকরভাবে প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস বা চরম তাপমাত্রার সংস্পর্শে আসা পৃষ্ঠগুলি রক্ষা করে, যার ফলে উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলির স্বাভাবিক প্রতিক্রিয়া নিশ্চিত করে।

প্রসারণ প্রক্রিয়াগুলিতে, ছিদ্রযুক্ত ট্যানটালাম কার্বাইড উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলিতে উপকরণগুলির মিশ্রণ রোধ করতে কার্যকর বিস্তারের বাধা হিসাবে কাজ করতে পারে। এই বৈশিষ্ট্যটি প্রায়শই আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলির বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ডোপ্যান্টগুলির বিস্তার নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়।

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর পোরস ট্যানটালাম কার্বাইডের ছিদ্রযুক্ত কাঠামো সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিং পরিবেশের জন্য খুব উপযুক্ত যা সঠিক গ্যাস প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ বা পরিস্রাবণের প্রয়োজন। এই প্রক্রিয়াতে, ছিদ্রযুক্ত টিএসি মূলত গ্যাস পরিস্রাবণ এবং বিতরণের ভূমিকা পালন করে। এর রাসায়নিক জড়তা নিশ্চিত করে যে পরিস্রাবণ প্রক্রিয়া চলাকালীন কোনও দূষক প্রবর্তন করা হয় না। এটি কার্যকরভাবে প্রক্রিয়াজাত পণ্যের বিশুদ্ধতার গ্যারান্টি দেয়।

ট্যান্টালাম কার্বাইড (টিএসি) একটি মাইক্রোস্কোপিক ক্রস-বিভাগে লেপ