সলিড SiC ফোকাস রিং

6. প্রধান অ্যাপ্লিকেশন ক্ষেত্র

7. Veteksemi কঠিন SiC ফোকাস রিং কোর সুবিধা

চমৎকার প্লাজমা জারা প্রতিরোধের

অত্যন্ত ক্ষয়কারী, উচ্চ-ঘনত্বের প্লাজমা যেমন CF4, O2 এবং Cl2 এর দীর্ঘায়িত এক্সপোজারের অধীনে, প্রচলিত উপকরণগুলি দ্রুত পরিধান এবং কণা দূষণের জন্য সংবেদনশীল। আমাদের কঠিন SiC ফোকাস রিং চমৎকার জারা প্রতিরোধের প্রদর্শন করে, যার ক্ষয় হার কোয়ার্টজ বা অ্যালুমিনার মতো উপকরণের তুলনায় অনেক কম। এর মানে এটি সময়ের সাথে একটি মসৃণ পৃষ্ঠ বজায় রাখে, উল্লেখযোগ্যভাবে উপাদান পরিধান এবং টিয়ার কারণে সৃষ্ট ওয়েফার ত্রুটির ঝুঁকি হ্রাস করে, অবিচ্ছিন্ন এবং স্থিতিশীল ভর উত্পাদন নিশ্চিত করে।

চমৎকার উচ্চ তাপমাত্রা স্থায়িত্ব এবং তাপ ব্যবস্থাপনা কর্মক্ষমতা

সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়া উল্লেখযোগ্য তাপ উৎপন্ন করে, যার ফলে চেম্বারের উপাদানগুলি নাটকীয় তাপমাত্রার ওঠানামা অনুভব করে। আমাদের ফোকাস রিংগুলিতে তাপ সম্প্রসারণের একটি অত্যন্ত কম সহগ রয়েছে, যা ফাটল বা বিকৃতি ছাড়াই 1600°C পর্যন্ত ক্ষণস্থায়ী তাপমাত্রা সহ্য করতে সক্ষম। তদ্ব্যতীত, তাদের অন্তর্নিহিত উচ্চ তাপ পরিবাহিতা তাপকে সমানভাবে এবং দ্রুত ছড়িয়ে দিতে সাহায্য করে, কার্যকরভাবে ওয়েফার প্রান্তে তাপমাত্রা বন্টন উন্নত করে, যার ফলে উন্নত হয়এনজি এচিং অভিন্নতা এবং সমগ্র ওয়েফার জুড়ে সমালোচনামূলক মাত্রার ধারাবাহিকতা।

অসাধারণ উপাদান বিশুদ্ধতা এবং কাঠামোগত ঘনত্ব

আমরা কঠোরভাবে সিলিকন কার্বাইড কাঁচামাল (≥99.999%) এর বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণ করি এবং ট্রেস অপবিত্রতা নিয়ন্ত্রণের জন্য উন্নত উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে সিন্টারিং প্রক্রিয়া চলাকালীন ধাতব দূষণ দূর করি। উচ্চ-তাপমাত্রা সিন্টারিংয়ের মাধ্যমে গঠিত ঘন কাঠামোর অত্যন্ত কম ছিদ্রতা রয়েছে, যা প্রক্রিয়া গ্যাস এবং উপজাতগুলির অনুপ্রবেশকে প্রায় সম্পূর্ণরূপে অবরুদ্ধ করে। এটি একটি বিশুদ্ধ প্রক্রিয়া চেম্বারের পরিবেশ নিশ্চিত করে, অভ্যন্তরীণ উপাদানের অবক্ষয় দ্বারা সৃষ্ট কর্মক্ষমতা হ্রাস এবং কণা বৃদ্ধি প্রতিরোধ করে।

দীর্ঘস্থায়ী যান্ত্রিক জীবন এবং ব্যাপক ব্যয়-কার্যকারিতা

ঘন ঘন প্রতিস্থাপনের প্রয়োজন হয় এমন প্রচলিত ভোগ্য সামগ্রীর তুলনায়, ভেটেকসেমি কঠিন SiC ফোকাস রিংগুলি ব্যতিক্রমী স্থায়িত্ব প্রদান করে। তারা তাদের পরিষেবা জীবন জুড়ে স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা বজায় রাখে, প্রতিস্থাপন চক্র কয়েকবার প্রসারিত করে। এটি শুধুমাত্র সরাসরি খুচরা যন্ত্রাংশ সংগ্রহের খরচ কমায় না বরং রক্ষণাবেক্ষণের জন্য সরঞ্জামের ডাউনটাইম কমিয়ে মেশিনের ব্যবহারকে উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করে, যার ফলে গ্রাহকদের জন্য উল্লেখযোগ্য সামগ্রিক খরচ সুবিধা হয়।

সুনির্দিষ্ট আকার নিয়ন্ত্রণ এবং নমনীয় কাস্টমাইজেশন পরিষেবা

আমরা বিভিন্ন মেশিনের সুনির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা বুঝতে পারি এবং ভোগ্যপণ্যের জন্য প্রক্রিয়াগুলি বুঝি। প্রতিটি ফোকাস রিং ±0.05 মিমি এর মধ্যে সমালোচনামূলক মাত্রিক সহনশীলতা নিশ্চিত করার জন্য নির্ভুলতা মেশিনিং এবং কঠোর পরীক্ষার মধ্য দিয়ে যায়। আমরা কাস্টমাইজড পরিষেবাও অফার করি, যার মধ্যে রয়েছে কাস্টম মাপ, সারফেস ফিনিশ (Ra ≤ 0.2μm তে পালিশ করা), এবং পরিবাহিতা সামঞ্জস্য আপনার নির্দিষ্ট প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা এবং প্রয়োগের পরিস্থিতির জন্য পুরোপুরি উপযুক্ত।

বিস্তারিত প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্য, সাদা কাগজপত্র, বা নমুনা পরীক্ষার ব্যবস্থার জন্য, Veteksemi কীভাবে আপনার প্রক্রিয়ার দক্ষতা বাড়াতে পারে তা অন্বেষণ করতে দয়া করে আমাদের প্রযুক্তিগত সহায়তা দলের সাথে যোগাযোগ করুন।