আইকস্ট্রন জি 5 এমওসিভিডি সিস্টেমে গ্রাফাইট উপাদান, সিলিকন কার্বাইড লেপা গ্রাফাইট, কোয়ার্টজ, অনমনীয় অনুভূত উপাদান ইত্যাদি থাকে Ve আমরা বহু বছর ধরে সেমিকন্ডাক্টর গ্রাফাইট এবং কোয়ার্টজ অংশগুলিতে বিশেষীকরণ করেছি this
পেশাদার প্রস্তুতকারক হিসাবে, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর আপনাকে আইকস্ট্রন জি 5 এমওসিভিডি সংবেদনশীলদের মতো সরবরাহ করতে চান আইকস্ট্রন এপিট্যাক্সি, সিক লেপাগ্রাফাইট অংশ এবং টিএসি লেপাগ্রাফাইট অংশ। আমাদের তদন্তে স্বাগতম।
আইকস্ট্রন জি 5 যৌগিক অর্ধপরিবাহীগুলির জন্য একটি জবানবন্দি সিস্টেম। এআইএক্স জি 5 এমওসিভিডি একটি সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় কার্তুজ (সি 2 সি) ওয়েফার ট্রান্সফার সিস্টেম সহ একটি প্রযোজনা গ্রাহক প্রমাণিত আইকস্ট্রন প্ল্যানেটারি চুল্লি প্ল্যাটফর্ম ব্যবহার করে। শিল্পের বৃহত্তম একক গহ্বরের আকার (8 x 6 ইঞ্চি) এবং বৃহত্তম উত্পাদন ক্ষমতা অর্জন করেছে। এটি নমনীয় 6 - এবং 4 ইঞ্চি কনফিগারেশন সরবরাহ করে যা দুর্দান্ত পণ্যের গুণমান বজায় রেখে উত্পাদন ব্যয় হ্রাস করতে ডিজাইন করা হয়েছে। উষ্ণ প্রাচীর প্ল্যানেটারি সিভিডি সিস্টেমটি একক চুল্লীতে একাধিক প্লেটের বৃদ্ধি দ্বারা চিহ্নিত করা হয় এবং আউটপুট দক্ষতা বেশি।
ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর আইকস্ট্রন জি 5 এমওসিভিডি সংবেদনশীল সিস্টেমের জন্য একটি সম্পূর্ণ আনুষাঙ্গিক সরবরাহ করে, যা এই আনুষাঙ্গিকগুলি নিয়ে গঠিত:
থ্রাস্ট টুকরা, অ্যান্টি-রোটেট
বিতরণ রিং
সিলিং
ধারক, সিলিং, অন্তরক
কভার প্লেট, বাইরের
কভার প্লেট, অভ্যন্তরীণ
কভার রিং
ডিস্ক
পুলডাউন কভার ডিস্ক
পিন
পিন-ওয়াশার
প্ল্যানেটারি ডিস্ক
সংগ্রাহক ইনলেট রিং গ্যাপ
এক্সস্টাস্ট কালেক্টর উপরের
শাটার
সমর্থন রিং
সমর্থন টিউব
1। গ্রহের চুল্লী মডিউল
ফাংশন ওরিয়েন্টেশন: এআইএক্স জি 5 সিরিজের মূল চুল্লি মডিউল হিসাবে, এটি ওয়েফারগুলিতে উচ্চ ইউনিফর্ম উপাদান জবানবন্দি অর্জনের জন্য গ্রহ প্রযুক্তি গ্রহণ করে।
প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্য:
অ্যাক্সিসিমেট্রিক ইউনিফর্মিটি: অনন্য গ্রহের ঘূর্ণন নকশা বেধ, উপাদান রচনা এবং ডোপিং ঘনত্বের ক্ষেত্রে ওয়েফার পৃষ্ঠগুলির অতি-ইউনিফর্ম বিতরণ নিশ্চিত করে।
মাল্টি-ওয়াফার সামঞ্জস্যতা: 5 200 মিমি (8 ইঞ্চি) ওয়েফার বা 8 150 মিমি ওয়েফারগুলির ব্যাচ প্রসেসিং সমর্থন করে, উল্লেখযোগ্যভাবে উত্পাদনশীলতা বৃদ্ধি করে।
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অপ্টিমাইজেশন: কাস্টমাইজযোগ্য সাবস্ট্রেট পকেটগুলির সাথে, তাপীয় গ্রেডিয়েন্টগুলির কারণে ওয়েফারের নমন হ্রাস করতে ওয়েফার তাপমাত্রা যথাযথভাবে নিয়ন্ত্রণ করা হয়।
2। সিলিং (তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সিলিং সিস্টেম)
ফাংশন ওরিয়েন্টেশন: উচ্চ তাপমাত্রা জমার পরিবেশের স্থায়িত্ব এবং শক্তি দক্ষতা নিশ্চিত করতে প্রতিক্রিয়া চেম্বারের শীর্ষ তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ উপাদান হিসাবে।
প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্য:
লো হিট ফ্লাক্স ডিজাইন: "উষ্ণ সিলিং" প্রযুক্তি ওয়েফারের উল্লম্ব দিকের তাপ প্রবাহকে হ্রাস করে, ওয়েফার বিকৃতকরণের ঝুঁকি হ্রাস করে এবং পাতলা সিলিকন-ভিত্তিক গ্যালিয়াম নাইট্রাইড (গাএন-অন-সি) প্রক্রিয়াটিকে সমর্থন করে।
সিটু ক্লিনিং সাপোর্টে: সিটু ক্লিনিং ফাংশনে ইন্টিগ্রেটেড সিএল ₂ প্রতিক্রিয়া চেম্বারের রক্ষণাবেক্ষণের সময়কে হ্রাস করে এবং সরঞ্জামগুলির অবিচ্ছিন্ন অপারেশন দক্ষতা উন্নত করে।
3। গ্রাফাইট উপাদান
ফাংশন অবস্থান: একটি উচ্চ তাপমাত্রা সিলিং এবং ভারবহন উপাদান হিসাবে, প্রতিক্রিয়া চেম্বারের বায়ু দৃ ness ়তা এবং জারা প্রতিরোধের বিষয়টি নিশ্চিত করতে।
প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্য:
উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের: উচ্চ বিশুদ্ধতা নমনীয় গ্রাফাইট উপাদানগুলির ব্যবহার, সমর্থন -200 ℃ থেকে 850 ℃ চরম তাপমাত্রা পরিবেশ, এমওসিভিডি প্রক্রিয়া অ্যামোনিয়া (এনএইচ), জৈব ধাতব উত্স এবং অন্যান্য ক্ষয়কারী মিডিয়াগুলির জন্য উপযুক্ত।
স্ব-লুব্রিকেশন এবং স্থিতিস্থাপকতা: গ্রাফাইট রিংটিতে দুর্দান্ত স্ব-লুব্রিকেশন বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যা যান্ত্রিক পরিধানকে হ্রাস করতে পারে, যখন উচ্চ স্থিতিস্থাপকতা সহগ তাপীয় প্রসারণ পরিবর্তনের সাথে অভিযোজিত হয়, দীর্ঘমেয়াদী সিলের নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে।
কাস্টমাইজড ডিজাইন: বিভিন্ন গহ্বর সিলিংয়ের প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করতে 45 ° তির্যক চিরা, ভি-আকৃতির বা বদ্ধ কাঠামো সমর্থন করুন।
চতুর্থ, সমর্থনকারী সিস্টেম এবং সম্প্রসারণ ক্ষমতা
অটোমেটেড ওয়েফার প্রসেসিং: সম্পূর্ণরূপে স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার লোডিং/আনলোডিং ম্যানুয়াল হস্তক্ষেপের সাথে আনলোডিংয়ের জন্য ইন্টিগ্রেটেড ক্যাসেট-টু-ক্যাসেট ওয়েফার হ্যান্ডলার।
প্রক্রিয়া সামঞ্জস্যতা: গ্যালিয়াম নাইট্রাইড (জিএএন), ফসফরাস আর্সেনাইড (এএসপি), মাইক্রো এলইডি এবং অন্যান্য উপকরণগুলির এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধিকে সমর্থন করুন, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (আরএফ), পাওয়ার ডিভাইস, ডিসপ্লে প্রযুক্তি এবং চাহিদার অন্যান্য ক্ষেত্রগুলির জন্য উপযুক্ত।
আপগ্রেড নমনীয়তা: বৃহত্তর ওয়েফার এবং উন্নত প্রক্রিয়াগুলিকে সামঞ্জস্য করার জন্য বিদ্যমান জি 5 সিস্টেমগুলি হার্ডওয়্যার পরিবর্তন সহ জি 5+ সংস্করণে আপগ্রেড করা যেতে পারে।
সিভিডি সিক ফিল্ম স্ফটিক কাঠামো:
সিভিডি এসআইসি লেপের প্রাথমিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য:
সিভিডি এসআইসি লেপের প্রাথমিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সম্পত্তি
সাধারণ মান
স্ফটিক কাঠামো
এফসিসি β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, মূলত (111) ওরিয়েন্টেড
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
আমরা আপনাকে একটি ভাল ব্রাউজিং অভিজ্ঞতা দিতে, সাইটের ট্র্যাফিক বিশ্লেষণ করতে এবং সামগ্রী ব্যক্তিগতকৃত করতে কুকিজ ব্যবহার করি। এই সাইটটি ব্যবহার করে, আপনি আমাদের কুকিজ ব্যবহারে সম্মত হন।গোপনীয়তা নীতি