8-ইঞ্চি CVD সিলিকন কার্বাইড (SiC) প্রলিপ্ত এপিটাক্সি টপ রিং

8 ইঞ্চি SiC Epi টপ রিংয়ের মূল বৈশিষ্ট্য

● উচ্চ বিশুদ্ধতা: 99.9995% সর্বনিম্ন। ধাতু এপি-লেয়ারে স্থানান্তরিত হবে না। এটি ওয়েফার ক্যারিয়ারের ঘনত্ব বজায় রাখে যেখানে এটি থাকা দরকার।

● কণা দমন: CVD গঠন ঘন। ছিদ্র নেই। টুলটি চলাকালীন এটি কণা ঝরবে না। কারখানাগুলো এভাবে ভালো ফলন দেখতে পায়।

● তাপ প্রতিরোধের: রিং 1500°C এ স্থিতিশীল থাকে। লো CTE (থার্মাল এক্সপেনশন) মানে দ্রুত তাপ-আপ/কুল-ডাউন চক্রের সময় কোন ওয়ারিং নেই।

● রাসায়নিক স্থিতিশীলতা: কঠিন CVD SiC H2 এবং HCl গ্যাসকে প্রতিরোধ করে। এটি NH3 কেও প্রতিরোধ করে। এতে খোসা ছাড়ানোর কোনো আবরণ নেই। এটি কঠোর CVD পরিবেশে ক্ষয় করে না।

● উপাদান জীবন: পৃষ্ঠ অত্যন্ত কঠিন. এটি বারবার HF/HCl রাসায়নিক পরিষ্কার থেকে বেঁচে থাকে। এটি প্রতিস্থাপনের ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস করে। এটি ফ্যাবের মালিকানার মোট খরচও কম করে।

প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ

ব্যাচগুলির মধ্যে আবরণ বেধের অভিন্নতা 10um এ নিয়ন্ত্রিত হয়

অ্যাপ্লিকেশন

CVD SiC epi টপ রিং ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়:

● সিলিকন এপিটাক্সি (Si Epi) চুল্লি

● সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সি (SiC Epi)

● MOCVD সিস্টেম

● CVD জমা সরঞ্জাম

এর সাথে সাধারণত জোড়া হয়:

● সাসেপ্টর

● ওয়েফার বাহক

● প্রিহিট রিং

● এপিটাক্সি চুল্লি

কেন হুস VETEK SiC Epi শীর্ষ রিং?

● সম্পূর্ণ উত্পাদন ক্ষমতা: 

কাঁচামাল পরিশোধন থেকে শুরু করে নির্ভুল যন্ত্র এবং সিভিডি আবরণ পর্যন্ত, VETEK সামঞ্জস্যপূর্ণ সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেডের গুণমান নিশ্চিত করতে সমগ্র উত্পাদন প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ করে।

● উচ্চ নির্ভুলতা: 

আমরা মাইক্রোন-স্তরের যন্ত্র ব্যবহার করি। CVD বেধ খুব অভিন্ন। এটি প্রতিটি রিংকে ঠিক একইভাবে সম্পাদন করে।

FAQ

(1) SiC epi শীর্ষ রিং কি করে?

রিং তাপ এবং গ্যাস প্রবাহ পরিচালনা করে। এটি নিশ্চিত করে যে পাতলা ফিল্মটি ওয়েফার জুড়ে সমানভাবে বৃদ্ধি পায়।

(2) কেন CVD SiC গ্রাফাইটের চেয়ে ভাল?

গ্রাফাইট ছিদ্রযুক্ত। গ্রাফাইটে ছিদ্র থাকে এবং গ্যাস নির্গত করে। সলিড CVD SiC ঘন এবং পরিষ্কার। এটি ক্ষয়কারী সরঞ্জামগুলিতে অনেক বেশি সময় ধরে থাকে।

(3) 8 ইঞ্চি SiC শীর্ষ রিং কাস্টমাইজ করা যাবে?

হ্যাঁ। আমরা আপনার নির্দিষ্ট টুল অঙ্কন নির্মাণ. আমরা আপনার প্রক্রিয়ার উপর ভিত্তি করে জ্যামিতি সামঞ্জস্য করতে পারি।

(4) কি শিল্প SiC epitaxy রিং ব্যবহার করে?

এগুলি প্রধানত পাওয়ার ডিভাইস, আরএফ ডিভাইস এবং SiC ওয়েফার উত্পাদন সহ অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে ব্যবহৃত হয়।