MOCVD SiC প্রলিপ্ত সাসেপ্টর

প্রযুক্তিগত পরামিতি

CVD SIC ফিল্ম ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার

পণ্যের সংজ্ঞা এবং রচনা

VETEK MOCVD SiC প্রলিপ্ত সাসেপ্টর হল একটি প্রিমিয়াম ওয়েফার বহনকারী উপাদান যা বিশেষভাবে তৃতীয় প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর যেমন GaN এবং SiC এর এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়াকরণের জন্য তৈরি করা হয়েছে। এই পণ্য দুটি উচ্চ-কর্মক্ষমতা উপকরণ উচ্চতর শারীরিক বৈশিষ্ট্য সংহত করে:

উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট: বেস উপাদান ব্যতিক্রমী কাঠামোগত অখণ্ডতা, উচ্চ ঘনত্ব, এবং তাপ প্রক্রিয়াকরণ স্থায়িত্ব আছে তা নিশ্চিত করার জন্য আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং প্রযুক্তি ব্যবহার করে তৈরি।

CVD SiC আবরণ: একটি ঘন, চাপ-মুক্ত সিলিকন কার্বাইড (SiC) প্রতিরক্ষামূলক স্তর উন্নত রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রযুক্তির মাধ্যমে গ্রাফাইটের পৃষ্ঠে জন্মানো হয়।

কেন VETEK আপনার ফলন গ্যারান্টি

তাপীয় অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণে চূড়ান্ত নির্ভুলতা: প্রচলিত বাহকের বিপরীতে, VETEK সাসেপ্টরগুলি আবরণের বেধ এবং তাপীয় প্রতিরোধের ন্যানোমিটার-স্কেল নির্ভুলতা নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে সমগ্র পৃষ্ঠ জুড়ে অত্যন্ত সুসংগত তাপ স্থানান্তর অর্জন করে। এই অত্যাধুনিক তাপ ব্যবস্থাপনা কার্যকরভাবে ওয়েফার পৃষ্ঠে তরঙ্গদৈর্ঘ্য মান বিচ্যুতি (STD) কমিয়ে দেয়, উল্লেখযোগ্যভাবে একক-ওয়েফার গুণমান এবং সামগ্রিক ব্যাচের সামঞ্জস্যতা উভয়ই বৃদ্ধি করে।

জিরো পার্টিকেল দূষণের সাথে দীর্ঘমেয়াদী সুরক্ষা: MOCVD প্রতিক্রিয়া চেম্বারগুলিতে অত্যন্ত ক্ষয়কারী গ্যাস রয়েছে, সাধারণ গ্রাফাইট পেডেস্টালগুলি কণা ফ্লেকিং প্রবণ। VETEK-এর CVD SiC আবরণ ব্যতিক্রমী রাসায়নিক জড়তা ধারণ করে, এটি একটি দুর্ভেদ্য ঢাল হিসাবে কাজ করে যা গ্রাফাইট মাইক্রোপোরগুলিকে সিল করে। এটি সাবস্ট্রেট অমেধ্যগুলির সম্পূর্ণ বিচ্ছিন্নতা নিশ্চিত করে, GaN বা SiC এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির কোনও দূষণ প্রতিরোধ করে।

ব্যতিক্রমী ক্লান্তি প্রতিরোধ এবং সেবা জীবন:VETEK-এর মালিকানাধীন ইন্টারফেস চিকিত্সা প্রক্রিয়ার জন্য ধন্যবাদ, আমাদের SiC আবরণ গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের সাথে একটি অপ্টিমাইজ করা তাপীয় সম্প্রসারণ ম্যাচ অর্জন করে। এমনকি চরম তাপমাত্রার মধ্যে উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি থার্মাল সাইক্লিংয়ের অধীনেও, আবরণটি খোসা ছাড়ানো বা মাইক্রো-ফাটল তৈরি না করে উচ্চতর আনুগত্য বজায় রাখে। এটি উল্লেখযোগ্যভাবে অতিরিক্ত অংশ রক্ষণাবেক্ষণের ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস করে এবং আপনার মালিকানার মোট খরচ কমিয়ে দেয়।

আমাদের কর্মশালা