অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলিতে কোয়ার্টজ উপাদানগুলির প্রয়োগ

কোয়ার্টজ পণ্যউচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের এবং শক্তিশালী রাসায়নিক স্থিতিশীলতার কারণে অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

1. কোয়ার্টজ ক্রুশিবল

অ্যাপ্লিকেশন - এটি মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন রডগুলি আঁকার জন্য ব্যবহৃত হয় এবং এটি সিলিকন ওয়েফার ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে একটি মূল উপভোগযোগ্য।

কোয়ার্টজ ক্রুশিবলসধাতব অমেধ্য দ্বারা দূষণ হ্রাস করতে উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ বালি (4n8 গ্রেড এবং তার বেশি) দিয়ে তৈরি। এটিতে উচ্চ-তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা (গলনাঙ্ক> 1700 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড) এবং তাপীয় প্রসারণের একটি কম সহগ থাকা উচিত। সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রে কোয়ার্টজ ক্রুসিবলগুলি মূলত সিলিকন একক স্ফটিক তৈরির জন্য ব্যবহৃত হয়। এগুলি পলিক্রিস্টালাইন সিলিকন কাঁচামাল লোড করার জন্য উপভোগযোগ্য কোয়ার্টজ পাত্রে এবং বর্গক্ষেত্র এবং বৃত্তাকার ধরণের মধ্যে বিভক্ত হতে পারে। বর্গক্ষেত্রগুলি পলিক্রিস্টালাইন সিলিকন ইনগোটগুলির ing ালাইয়ের জন্য ব্যবহৃত হয়, যখন গোলাকারগুলি মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন রডগুলির অঙ্কনের জন্য ব্যবহৃত হয়। এটি উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ করতে পারে এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে, সিলিকন একক স্ফটিকের বিশুদ্ধতা এবং গুণমান নিশ্চিত করে।

2। কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব

কোয়ার্টজ টিউবউচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের (দীর্ঘমেয়াদী অপারেটিং তাপমাত্রা 1100 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডেরও বেশি পৌঁছাতে পারে), রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের (হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিডের মতো কয়েকটি রিএজেন্ট ব্যতীত স্থিতিশীল), উচ্চ বিশুদ্ধতা (বিশেষত পিপিএম বা এমনকি পিপিবি স্তরের মতো কম হতে পারে), এবং এমনকি আল্ট্রাওয়ে-এর মতো কম ট্রান্সমিটেশন হতে পারে এমন বৈশিষ্ট্যগুলির কারণে তাদের বৈশিষ্ট্যগুলির কারণে সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। মূল পরিস্থিতিগুলি ওয়েফার ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের একাধিক কী প্রক্রিয়া লিঙ্কগুলিতে কেন্দ্রীভূত।

প্রধান অ্যাপ্লিকেশন লিঙ্ক:ডিফিউশন, জারণ, সিভিডি (রাসায়নিক বাষ্প জবানবন্দি)

উদ্দেশ্য:

• ডিফিউশন টিউব: উচ্চ-তাপমাত্রার বিস্তার প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত, এটি ডোপিংয়ের জন্য সিলিকন ওয়েফার বহন করে।
• চুল্লি টিউব: উচ্চ-তাপমাত্রা জারণ চিকিত্সার জন্য জারণ চুল্লীতে কোয়ার্টজ নৌকাগুলি সমর্থন করে।

বৈশিষ্ট্য ：

এটি অবশ্যই উচ্চ বিশুদ্ধতা (ধাতব আয়ন ≤1ppm) এবং উচ্চ-তাপমাত্রার বিকৃতি প্রতিরোধের (1200 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের উপরে) প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে হবে।

3। কোয়ার্টজ স্ফটিক নৌকা

বিভিন্ন সরঞ্জামের উপর নির্ভর করে এটি উল্লম্ব এবং অনুভূমিক প্রকারে বিভক্ত। বিভিন্ন ফ্যাব উত্পাদন লাইনের উপর নির্ভর করে আকারের পরিসীমা 4 থেকে 12 ইঞ্চি। সেমিকন্ডাক্টর আইসিএস উত্পাদন,কোয়ার্টজ স্ফটিক নৌকামূলত ওয়েফার ট্রান্সফার, পরিষ্কার এবং প্রক্রিয়াজাতকরণের প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়। উচ্চ-বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধী ওয়েফার ক্যারিয়ার হিসাবে, তারা একটি অপরিহার্য ভূমিকা পালন করে। চুল্লি টিউবের প্রসারণ বা জারণ প্রক্রিয়াতে, একাধিক ওয়েফার কোয়ার্টজ স্ফটিক নৌকাগুলিতে স্থাপন করা হয় এবং তারপরে ব্যাচ উত্পাদন জন্য চুল্লি নলটিতে ঠেলে দেওয়া হয়।

সেমিকন্ডাক্টরগুলিতে ইনজেক্টরগুলি মূলত গ্যাস বা তরল উপকরণগুলি যথাযথভাবে পরিবহনের জন্য ব্যবহৃত হয় এবং একাধিক কী প্রক্রিয়া লিঙ্কগুলিতে প্রয়োগ করা হয় যেমন পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন, এচিং এবং ডোপিংয়ের মতো।

সিলিকন ট্রানজিস্টর এবং ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদনের পরিষ্কারের প্রক্রিয়াতে, এটি সিলিকন ওয়েফার বহন করতে ব্যবহৃত হয় এবং এটি পরিষ্কার করার প্রক্রিয়া চলাকালীন সিলিকন ওয়েফারগুলি দূষিত না হয় তা নিশ্চিত করার জন্য অ্যাসিড এবং ক্ষার প্রতিরোধী হতে হবে।

।

এটি সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়, গহ্বরের সিলড সুরক্ষা অর্জনের জন্য অন্যান্য কোয়ার্টজ পণ্যগুলির সাথে মিলিত হয়, ওয়েফারকে ঘনিষ্ঠভাবে ঘিরে রাখে, এচিং উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন বিভিন্ন ধরণের দূষণ রোধ করে এবং একটি প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করে।

কোয়ার্টজ বেল জারসসেমিকন্ডাক্টর শিল্পে সাধারণত ব্যবহৃত মূল উপাদানগুলি, উচ্চ-তাপমাত্রার প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের এবং উচ্চ আলো ট্রান্সমিট্যান্স বৈশিষ্ট্যযুক্ত P পলিসিলিকন উত্পাদনে, উচ্চ-বিশুদ্ধতা ট্রাইক্লোরোসিলেন একটি নির্দিষ্ট অনুপাতে হাইড্রোজেনের সাথে মিশ্রিত করা হয় এবং তারপরে একটি কোয়ার্টজ বেল কভার দিয়ে সজ্জিত হ্রাস চুল্লীতে প্রবর্তিত হয়, যেখানে পলিসিলিকন জমা দেওয়ার জন্য পরিবাহী সিলিকন কোরে একটি হ্রাস প্রতিক্রিয়া দেখা দেয়।

8. কোয়ার্টজ ভেজা পরিষ্কারের ট্যাঙ্ক

অ্যাপ্লিকেশন পর্যায়: সিলিকন ওয়েফারগুলির ভেজা পরিষ্কার

ব্যবহার: এটি অ্যাসিড ওয়াশিং (এইচএফ, হেসো, ইত্যাদি) এবং অতিস্বনক পরিষ্কারের জন্য ব্যবহৃত হয়।

বৈশিষ্ট্য: শক্তিশালী রাসায়নিক স্থায়িত্ব এবং শক্তিশালী অ্যাসিড জারা প্রতিরোধের প্রতিরোধ।

9। কোয়ার্টজ তরল সংগ্রহের বোতল

তরল সংগ্রহের বোতলটি মূলত ভেজা পরিষ্কারের প্রক্রিয়াতে বর্জ্য তরল বা অবশিষ্ট তরল সংগ্রহের জন্য ব্যবহৃত হয়

ওয়েফারগুলির ভেজা পরিষ্কারের প্রক্রিয়া চলাকালীন (যেমন আরসিএ ক্লিনিং, এসসি 1/এসসি 2 পরিষ্কারের), ওয়েফারগুলি ধুয়ে ফেলার জন্য প্রচুর পরিমাণে আল্ট্রাপিউর জল বা রিএজেন্টের প্রয়োজন হয় এবং ধুয়ে ফেলার পরে, ট্রেস অমেধ্যযুক্ত অবশিষ্ট তরল উত্পাদিত হবে। কিছু লেপ প্রক্রিয়া (যেমন ফোটোরসিস্ট লেপ) এর পরে, অতিরিক্ত তরলও (যেমন ফোটোরিসিস্ট বর্জ্য তরল) থাকবে যা সংগ্রহ করা দরকার।

ফাংশন কোয়ার্টজ তরল সংগ্রহের বোতলগুলি এই অবশিষ্টাংশগুলি বা বর্জ্য তরলগুলি ঘনিষ্ঠভাবে সংগ্রহ করতে ব্যবহৃত হয়, বিশেষত "উচ্চ-নির্ভুলতা পরিষ্কারের পদক্ষেপ" (যেমন ওয়েফার পৃষ্ঠের প্রাক-চিকিত্সার পর্যায়ে), যেখানে অবশিষ্টাংশের তরলটিতে এখনও অল্প পরিমাণে উচ্চ-মূল্যবান রিজেন্টস বা অমেধ্য থাকতে পারে যা পরবর্তী বিশ্লেষণ প্রয়োজন। কোয়ার্টজ বোতলগুলির কম দূষণটি অবশিষ্ট তরলকে পুনরায় দূষিত হওয়া থেকে বিরত রাখতে পারে, পরবর্তী পুনরুদ্ধারের সুবিধার্থে (যেমন রিএজেন্ট শুদ্ধকরণ) বা সুনির্দিষ্ট সনাক্তকরণ (যেমন অবশিষ্টাংশের তরলটিতে অপরিষ্কার সামগ্রীর বিশ্লেষণ)।

এছাড়াও, সিন্থেটিক কোয়ার্টজ উপকরণ দিয়ে তৈরি কোয়ার্টজ মাস্কগুলি ফোটোলিথোগ্রাফিতে প্যাটার্ন ট্রান্সফারের জন্য ফোটোলিথোগ্রাফি মেশিনগুলির "নেতিবাচক" হিসাবে প্রয়োগ করা হয়। এবং পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশেশন (পিভিডি, সিভিডি, এএলডি) তে ব্যবহৃত কোয়ার্টজ স্ফটিক দোলকগুলি পাতলা ফিল্মের বেধ নিরীক্ষণ করতে এবং অন্যান্য অনেক দিকের মধ্যে জবানবন্দির অভিন্নতা নিশ্চিত করার জন্য এই নিবন্ধে ব্যাখ্যা করা হয়নি।

উপসংহারে, কোয়ার্টজ পণ্যগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন পুরো প্রক্রিয়া জুড়ে প্রায় উপস্থিত থাকে, মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন (কোয়ার্টজ ক্রুশিবলস) থেকে ফোটোলিথোগ্রাফি (কোয়ার্টজ মাস্ক), এচিং (কোয়ার্টজ রিং), এবং পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন (কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল অ্যাসিলেটর) (কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল অ্যাসিলেটর) থেকে তাদের সমস্ত শারীরিক এবং কণাগুলির উপর নির্ভর করে। অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলির বিবর্তনের সাথে সাথে কোয়ার্টজ উপকরণগুলির বিশুদ্ধতা, তাপমাত্রা প্রতিরোধের এবং মাত্রিক নির্ভুলতার জন্য প্রয়োজনীয়তা আরও বাড়ানো হবে।