টিএসি লেপ রোটেশন সংবেদনশীল

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর টিএসি লেপ রোটেশন সংবেদক সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিংয়ে ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য একটি মূল উপাদান। এটিটাক কিআমাদেরদুর্দান্ত উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা (3880 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড পর্যন্ত গলে যাওয়া পয়েন্ট), রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং জারা প্রতিরোধের, যা ওয়েফার প্রসেসিংয়ে উচ্চ নির্ভুলতা এবং উচ্চ মানের নিশ্চিত করে।

টিএসি লেপ রোটেশন সংবেদক (ট্যান্টালাম কার্বন লেপ রোটেশন সংবেদনশীল) একটি মূল সরঞ্জাম উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিংয়ে ব্যবহৃত হয়। এটি সাধারণত ইনস্টল করা হয়রাসায়নিক বাষ্প জবানবন্দি (সিভিডি)এবং অভিন্ন উপাদান জবানবন্দি এবং দক্ষ প্রতিক্রিয়া নিশ্চিত করতে ওয়েফারগুলিকে সমর্থন এবং ঘোরানোর জন্য আণবিক মরীচি এপিট্যাক্সি (এমবিই) সরঞ্জাম। এই ধরণের পণ্যটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশে সরঞ্জামগুলির সাথে লেপ দিয়ে পরিষেবা জীবন এবং সরঞ্জামগুলির কর্মক্ষমতা উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করেট্যান্টালাম কার্বন (টিএসি) লেপ.

টিএসি লেপ রোটেশন সংবেদক সাধারণত টিএসি লেপ এবং গ্রাফাইট বা সিলিকন কার্বাইডের সমন্বয়ে গঠিত হয় সাবস্ট্রেট উপাদান হিসাবে। টিএসি হ'ল একটি অতি-উচ্চ তাপমাত্রার সিরামিক উপাদান যা অত্যন্ত উচ্চ গলনাঙ্ক (গলিত পয়েন্ট 3880 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড পর্যন্ত), কঠোরতা (ভিকারদের কঠোরতা প্রায় 2000 এইচকে) এবং দুর্দান্ত রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের সাথে। ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর কার্যকরভাবে এবং সমানভাবে সিভিডি প্রযুক্তির মাধ্যমে সাবস্ট্রেট উপাদানগুলিতে ট্যানটালাম কার্বন লেপটি কভার করতে পারে।

ঘূর্ণন সংবেদনশীল সাধারণত উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং উচ্চ শক্তি উপকরণ (গ্রাফাইট বাসিলিকন কার্বাইড), যা উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে ভাল যান্ত্রিক সহায়তা এবং তাপ স্থিতিশীলতা সরবরাহ করতে পারে। দু'জনের নিখুঁত সংমিশ্রণটি ওয়েফারগুলিকে সমর্থন এবং ঘোরানোতে টিএসি লেপ রোটেশন সংবেদনশীলের নিখুঁত কর্মক্ষমতা নির্ধারণ করে।

টিএসি লেপ রোটেশন সংবেদনশীল সিভিডি প্রক্রিয়াতে ওয়েফারকে সমর্থন করে এবং ঘোরান। টিএসি -র ভিকারদের কঠোরতা প্রায় 2000 এইচকে, যা এটি উপাদানগুলির বারবার ঘর্ষণকে প্রতিরোধ করতে এবং একটি ভাল সহায়ক ভূমিকা পালন করতে সক্ষম করে, যার ফলে নিশ্চিত করে যে প্রতিক্রিয়া গ্যাস সমানভাবে ওয়েফার পৃষ্ঠে বিতরণ করা হয়েছে এবং উপাদান সমানভাবে জমা হয়। একই সময়ে, টিএসি লেপের উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা এবং জারা প্রতিরোধের এটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী বায়ুমণ্ডলে দীর্ঘ সময়ের জন্য ব্যবহার করতে সক্ষম করে, যা কার্যকরভাবে ওয়েফার এবং ক্যারিয়ারের দূষণকে এড়িয়ে চলে।

তদুপরি, টিএসি এর তাপীয় পরিবাহিতা 21 ডাব্লু/এম · কে, যার উত্তাপের ভাল স্থানান্তর রয়েছে। অতএব, টিএসি লেপ রোটেশন সংবেদনশীল উচ্চ তাপমাত্রার অবস্থার অধীনে ওয়েফারকে সমানভাবে গরম করতে পারে এবং ঘূর্ণন গতির মাধ্যমে গ্যাস জমার প্রক্রিয়াটির অভিন্নতা নিশ্চিত করতে পারে, যার ফলে ধারাবাহিকতা এবং উচ্চমানের বজায় থাকেওয়েফার বৃদ্ধি.

একটি মাইক্রোস্কোপিক ক্রস-বিভাগে ট্যান্টালাম কার্বাইড (টিএসি) লেপ：

টিএসি লেপের শারীরিক বৈশিষ্ট্য：

টিএসি লেপ রোটেশন সংবেদনশীল দোকান: