শিল্প সংবাদ

উপলব্ধ প্রযুক্তিগুলির মধ্যে, বড় আকারের প্রতিরোধী গরম করার SiC ক্রিস্টাল গ্রোথ ফার্নেস উন্নত সামঞ্জস্য এবং দক্ষতার সাথে বড়-ব্যাস, কম ত্রুটিযুক্ত SiC স্ফটিক উত্পাদনের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ সমাধান হিসাবে আবির্ভূত হয়েছে। এই নিবন্ধটি এই প্রযুক্তিটি কীভাবে কাজ করে, এর সুবিধা, অ্যাপ্লিকেশন এবং কেন শিল্প নেতারা ভেটেকসেমি থেকে উদ্ভাবনী সমাধানগুলিতে বিশ্বাস করে তা অনুসন্ধান করে।

ASM-এর জন্য একটি SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর শুধুমাত্র একটি এপিটাক্সি সিস্টেমের মধ্যে একটি প্রতিস্থাপন অংশ নয়। এটি একটি প্রক্রিয়া-গুরুত্বপূর্ণ বাহক যা তাপীয় অভিন্নতা, ওয়েফার পরিচ্ছন্নতা, আবরণের স্থায়িত্ব, চেম্বারের স্থায়িত্ব এবং দীর্ঘমেয়াদী উৎপাদন খরচকে প্রভাবিত করে।

একটি CVD TaC আবরণ কভার শুধুমাত্র একটি প্রতিরক্ষামূলক ঢাকনা বা প্রলিপ্ত গ্রাফাইট উপাদান নয়। উচ্চ-তাপমাত্রার অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিতে, এটি চেম্বারের পরিচ্ছন্নতা, তাপীয় স্থিতিশীলতা, আংশিক জীবনকাল এবং প্রক্রিয়ার সামঞ্জস্যকে প্রভাবিত করতে পারে।