খবর

ASM-এর জন্য একটি SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর শুধুমাত্র একটি এপিটাক্সি সিস্টেমের মধ্যে একটি প্রতিস্থাপন অংশ নয়। এটি একটি প্রক্রিয়া-গুরুত্বপূর্ণ বাহক যা তাপীয় অভিন্নতা, ওয়েফার পরিচ্ছন্নতা, আবরণের স্থায়িত্ব, চেম্বারের স্থায়িত্ব এবং দীর্ঘমেয়াদী উৎপাদন খরচকে প্রভাবিত করে।

একটি CVD TaC আবরণ কভার শুধুমাত্র একটি প্রতিরক্ষামূলক ঢাকনা বা প্রলিপ্ত গ্রাফাইট উপাদান নয়। উচ্চ-তাপমাত্রার অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিতে, এটি চেম্বারের পরিচ্ছন্নতা, তাপীয় স্থিতিশীলতা, আংশিক জীবনকাল এবং প্রক্রিয়ার সামঞ্জস্যকে প্রভাবিত করতে পারে।

PECVD উৎপাদনে, অনেক আবরণ এবং জমা সমস্যা প্লাজমা শক্তি বা গ্যাস রসায়ন দিয়ে শুরু হয় না। তারা ওয়েফার ধারণকারী ক্যারিয়ার দিয়ে শুরু করে।