কোয়ার্টজ গ্যাস বিতরণ প্লেট

কোয়ার্টজ গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি, যা কোয়ার্টজ শাওয়ারহেডস নামেও পরিচিত, সেমিকন্ডাক্টর বানোয়াটের ক্ষেত্রে গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। ব্যতিক্রমী বিশুদ্ধতা, উচ্চ-তাপমাত্রার প্রতিরোধের এবং কোয়ার্টজের জারা প্রতিরোধের উপকারে এই প্লেটগুলি ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর প্রক্রিয়া গ্যাসগুলির একটি অভিন্ন এবং স্থিতিশীল প্রবাহকে নিশ্চিত করে। জমা দেওয়া ছায়াছবি বা এচড বৈশিষ্ট্যগুলির গুণমান এবং অভিন্নতা বজায় রাখার জন্য এই সুনির্দিষ্ট বিতরণ অপরিহার্য।

উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফিউজড কোয়ার্টজের মূল বৈশিষ্ট্যগুলি

● উপাদান: 99.99%উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফিউজড কোয়ার্টজ

● উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের: তাপমাত্রা 1000 এর উপরে প্রতিরোধ করে ℃

● জারা প্রতিরোধের: প্রক্রিয়া গ্যাস এবং প্লাজমা পরিবেশের বিরুদ্ধে দুর্দান্ত স্থায়িত্ব

● যথার্থ গ্যাস প্রবাহ: অনুকূল গ্যাস বিতরণ এবং জমার অভিন্নতার জন্য ইউনিফর্ম মাইক্রো-হোল বিতরণ

● কাস্টমাইজযোগ্য ডিজাইন: আকার, গর্তের প্যাটার্ন এবং মাউন্টিং বৈশিষ্ট্যগুলি নির্দিষ্ট সরঞ্জামের মডেলগুলির জন্য তৈরি করা যেতে পারে

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে মূল ভূমিকা

1। শারীরিক বাষ্প ডিপোজিশন (পিভিডি) এবং রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি)

ভূমিকা: পিভিডি এবং সিভিডি প্রক্রিয়াগুলিতে, গ্যাস বিতরণ প্লেটটি যথাযথভাবে প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি (যেমন, সিলেন, অ্যামোনিয়া, অক্সিজেন) বা পছন্দসই পাতলা ফিল্ম গঠনের জন্য ওয়েফারে পূর্ববর্তীদের নির্দেশ দেয়।

নির্দিষ্ট ব্যবহার:

● অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ: প্লেটের সুনির্দিষ্টভাবে ইঞ্জিনিয়ারড মাইক্রো-হোলগুলি নিশ্চিত করে যে গ্যাস প্রবাহ এবং ঘনত্ব পুরো ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্ন। এটি ধারাবাহিক বেধ এবং পারফরম্যান্স সহ চলচ্চিত্র জমা দেওয়ার জন্য অতীব গুরুত্বপূর্ণ।

● দূষণ প্রতিরোধ: কোয়ার্টজের উচ্চ বিশুদ্ধতা প্লেটটিকে প্রক্রিয়া গ্যাসের সাথে প্রতিক্রিয়া বা অমেধ্য প্রকাশের সাথে প্রতিক্রিয়া থেকে বাধা দেয়। এটি চলচ্চিত্রের বিশুদ্ধতা বজায় রাখে এবং ওয়েফার পৃষ্ঠের ত্রুটিগুলি প্রতিরোধ করে।

2। প্লাজমা-বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জমা (পিইসিভিডি)

ভূমিকা: পিইসিভিডিতে, কোয়ার্টজ শাওয়ারহেড কেবল প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস সরবরাহ করে না তবে প্লাজমা প্রজন্মের জন্য বৈদ্যুতিন হিসাবেও কাজ করে।

নির্দিষ্ট ব্যবহার:

● প্লাজমা ইগনিশন: শাওয়ারহেড সাধারণত একটি প্লাজমা উত্পন্ন করার জন্য একটি রেডিও-ফ্রিকোয়েন্সি (আরএফ) পাওয়ার উত্সের সাথে সংযুক্ত থাকে। প্লাজমার মধ্যে উচ্চ-শক্তি কণাগুলি বায়বীয় চুল্লিগুলির পচনকে উত্সাহ দেয়, নিম্ন তাপমাত্রায় ফিল্ম জবানবন্দি সক্ষম করে।

● তাপীয় স্থায়িত্ব: কোয়ার্টজ দুর্দান্ত তাপীয় স্থায়িত্ব প্রদর্শন করে, এটি উচ্চ-তাপমাত্রা প্লাজমা পরিবেশকে প্রতিরোধ করার অনুমতি দেয়। এটি প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে একটি অভিন্ন তাপমাত্রা বজায় রাখতে সহায়তা করে, আরও ফিল্মের গুণমান এবং ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে।

3। শুকনো এচিং

ভূমিকা: শুকনো এচিংয়ে, গ্যাস বিতরণ প্লেটটি এচ চেম্বারে প্রতিক্রিয়াশীল এচিং গ্যাসগুলি (উদাঃ, ফ্লুরোকার্বন, ক্লোরিন) প্রবর্তন করে।

নির্দিষ্ট ব্যবহার:

C উন্নত অর্ধপরিবাহী ডিভাইসগুলির জন্য প্রয়োজনীয় সঠিক নিদর্শনগুলি অর্জনের জন্য এটি গুরুত্বপূর্ণ।

Ros জারা প্রতিরোধের: এচ গ্যাসগুলির শক্তিশালী ক্ষয়কারী বৈশিষ্ট্যগুলির জন্য একটি টেকসই উপাদান প্রয়োজন। কোয়ার্টজের উচ্চ জারা প্রতিরোধের শাওয়ারহেডের জীবনকাল প্রসারিত করে এবং প্রক্রিয়া বাধাগুলির ঝুঁকি হ্রাস করে।

4। ওয়েফার পরিষ্কার

ভূমিকা: নির্দিষ্ট ওয়েফার পরিষ্কারের প্রক্রিয়াগুলিতে, একটি কোয়ার্টজ গ্যাস বিতরণ প্লেট পরিষ্কার -পরিচ্ছন্ন গ্যাসগুলি সরবরাহ করতে ব্যবহৃত হয় (উদাঃ, ওজোন, অ্যামোনিয়া) অবশিষ্টাংশ বা দূষকগুলি অপসারণের জন্য ওয়েফার পৃষ্ঠে সমানভাবে।

নির্দিষ্ট ব্যবহার:

● ধারাবাহিক পরিষ্কার: প্লেটটি নিশ্চিত করে যে পরিষ্কারের গ্যাসগুলি ওয়েফারের প্রতিটি অংশে পৌঁছায়, একটি পুঙ্খানুপুঙ্খ এবং অভিন্ন পরিষ্কারের প্রক্রিয়া সক্ষম করে।

● রাসায়নিক সামঞ্জস্যতা: বিস্তৃত পরিচ্ছন্ন রাসায়নিকগুলির সাথে কোয়ার্টজের সামঞ্জস্যতা প্রতিক্রিয়াগুলিকে বাধা দেয় এবং পরিষ্কার প্রক্রিয়াটির বিশুদ্ধতা এবং কার্যকারিতা বজায় রাখে।