খবর

সিলিকন কার্বাইড ন্যানোম্যাটরিয়ালস (এসআইসি) ন্যানোমিটার স্কেলে (1-100nm) কমপক্ষে একটি মাত্রা সহ এমন উপকরণ। এই উপকরণগুলি শূন্য-, এক-, দুই-, বা ত্রি-মাত্রিক হতে পারে এবং বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশন থাকতে পারে।

সিভিডি এসআইসি হ'ল রাসায়নিক বাষ্প জমার দ্বারা উত্পাদিত একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড উপাদান। এটি মূলত অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলিতে বিভিন্ন উপাদান এবং আবরণগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়। নিম্নলিখিত বিষয়বস্তু সিভিডি এসআইসির পণ্য শ্রেণিবিন্যাস এবং মূল কার্যগুলির একটি ভূমিকা

এই নিবন্ধটি মূলত সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিংয়ে টিএসি লেপের পণ্যের ধরণ, পণ্যের বৈশিষ্ট্য এবং প্রধান ফাংশনগুলি প্রবর্তন করে এবং সামগ্রিকভাবে টিএসি লেপ পণ্যগুলির একটি বিস্তৃত বিশ্লেষণ এবং ব্যাখ্যা করে।

এই নিবন্ধটি মূলত সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিংয়ে এমওসিভিডি সংবেদনশীলের পণ্যের ধরণ, পণ্যের বৈশিষ্ট্য এবং প্রধান ফাংশনগুলি প্রবর্তন করে এবং সামগ্রিকভাবে এমওসিভিডি সংবেদনশীল পণ্যগুলির একটি বিস্তৃত বিশ্লেষণ এবং ব্যাখ্যা করে।

ASM-এর জন্য একটি SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর শুধুমাত্র একটি এপিটাক্সি সিস্টেমের মধ্যে একটি প্রতিস্থাপন অংশ নয়। এটি একটি প্রক্রিয়া-গুরুত্বপূর্ণ বাহক যা তাপীয় অভিন্নতা, ওয়েফার পরিচ্ছন্নতা, আবরণের স্থায়িত্ব, চেম্বারের স্থায়িত্ব এবং দীর্ঘমেয়াদী উৎপাদন খরচকে প্রভাবিত করে।

একটি CVD TaC আবরণ কভার শুধুমাত্র একটি প্রতিরক্ষামূলক ঢাকনা বা প্রলিপ্ত গ্রাফাইট উপাদান নয়। উচ্চ-তাপমাত্রার অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিতে, এটি চেম্বারের পরিচ্ছন্নতা, তাপীয় স্থিতিশীলতা, আংশিক জীবনকাল এবং প্রক্রিয়ার সামঞ্জস্যকে প্রভাবিত করতে পারে।