প্লাজমা এচিং ফোকাস রিং

ওয়েফার উত্পাদন ক্ষেত্রে, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের ফোকাস রিং একটি মূল ভূমিকা পালন করে। এটি কেবল একটি সাধারণ উপাদান নয়, তবে প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়াতে একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। প্রথমত, প্লাজমা এচিগ ফোকাস রিং ডিজাইন করা হয়েছে যাতে ওয়েফারটি কাঙ্খিত অবস্থানে দৃঢ়ভাবে ধরে রাখা হয়, এইভাবে এচিং প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করা হয়। ওয়েফারটিকে জায়গায় রেখে, ফোকাসিং রিং কার্যকরভাবে প্লাজমা ঘনত্বের অভিন্নতা বজায় রাখে, যা সফলতার জন্য অপরিহার্যএচিং প্রক্রিয়া.

এছাড়াও, ফোকাস রিংও ওয়েফারের পার্শ্ব দূষণ প্রতিরোধে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। ওয়েফারের গুণমান এবং বিশুদ্ধতা চিপ তৈরির জন্য গুরুত্বপূর্ণ, তাই ওয়েফারগুলি যাতে এচিং প্রক্রিয়া জুড়ে পরিষ্কার থাকে তা নিশ্চিত করার জন্য সমস্ত প্রয়োজনীয় ব্যবস্থা গ্রহণ করা আবশ্যক। ফোকাস রিং কার্যকরভাবে বহিরাগত অমেধ্য এবং দূষককে ওয়েফার পৃষ্ঠের পাশে প্রবেশ করতে বাধা দেয়, এইভাবে চূড়ান্ত পণ্যের গুণমান এবং কার্যকারিতা নিশ্চিত করে।

অতীতে,ফোকাসিং রিংমূলত কোয়ার্টজ এবং সিলিকন দিয়ে তৈরি। যাইহোক, উন্নত ওয়েফার উত্পাদনে শুকনো এচিং বৃদ্ধির সাথে সাথে সিলিকন কার্বাইড (SiC) দিয়ে তৈরি ফোকাসিং রিংয়ের চাহিদাও বাড়ছে। খাঁটি সিলিকন রিংগুলির তুলনায়, SiC রিংগুলি আরও টেকসই এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন রয়েছে, এইভাবে উত্পাদন ব্যয় হ্রাস করে। সিলিকন রিং প্রতি 10 থেকে 12 দিনে প্রতিস্থাপন করা প্রয়োজন, যখন SiC রিং প্রতি 15 থেকে 20 দিনে প্রতিস্থাপিত হয়। বর্তমানে, কিছু বড় কোম্পানি যেমন স্যামসাং SiC এর পরিবর্তে বোরন কার্বাইড সিরামিক (B4C) ব্যবহার নিয়ে গবেষণা করছে। B4C এর কঠোরতা বেশি, তাই ইউনিটটি দীর্ঘস্থায়ী হয়।

প্লাজমা এচিং ইকুইপমেন্টে, একটি ট্রিটমেন্ট ভেসেলের বেসে সাবস্ট্রেট সারফেস এর প্লাজমা এচিং এর জন্য ফোকাস রিং স্থাপন করা প্রয়োজন। ফোকাসিং রিংটি তার পৃষ্ঠের ভিতরের দিকে একটি প্রথম অঞ্চল সহ সাবস্ট্রেটকে ঘিরে থাকে যার একটি ছোট গড় পৃষ্ঠের রুক্ষতা থাকে যাতে এচিংয়ের সময় উত্পন্ন প্রতিক্রিয়া পণ্যগুলিকে ক্যাপচার করা এবং জমা করা থেকে রোধ করা যায়। একই সময়ে, প্রথম অঞ্চলের বাইরের দ্বিতীয় অঞ্চলে একটি বড় গড় পৃষ্ঠের রুক্ষতা রয়েছে যা এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন উত্পন্ন প্রতিক্রিয়া পণ্যগুলিকে ক্যাপচার এবং জমা করতে উত্সাহিত করতে পারে। প্রথম অঞ্চল এবং দ্বিতীয় অঞ্চলের মধ্যে সীমানা হল সেই অংশ যেখানে এচিংয়ের পরিমাণ তুলনামূলকভাবে উল্লেখযোগ্য, প্লাজমা এচিং ডিভাইসে ফোকাসিং রিং দিয়ে সজ্জিত এবং প্লাজমা এচিং সাবস্ট্রেটের উপর সঞ্চালিত হয়।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর পণ্যের দোকান: