প্লাজমা এচিং ফোকাস রিং

ওয়েফার ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের ক্ষেত্রে, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের ফোকাস রিংটি মূল ভূমিকা পালন করে। এটি কেবল একটি সাধারণ উপাদান নয়, প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়াতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। প্রথমত, প্লাজমা এচিগ ফোকাস রিংটি ওয়েফারটি দৃ ly ়ভাবে কাঙ্ক্ষিত অবস্থানে রাখা হয়েছে তা নিশ্চিত করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, এইভাবে এচিং প্রক্রিয়াটির যথার্থতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে। ওয়েফারটিকে জায়গায় ধরে রেখে, ফোকাসিং রিং কার্যকরভাবে প্লাজমা ঘনত্বের অভিন্নতা বজায় রাখে, যা সাফল্যের জন্য প্রয়োজনীয়এচিং প্রক্রিয়া.

এছাড়াও, ফোকাস রিংটি ওয়েফারের পার্শ্ব দূষণ রোধে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। ওয়েফারগুলির গুণমান এবং বিশুদ্ধতা চিপ উত্পাদন জন্য গুরুত্বপূর্ণ, সুতরাং ওয়েফারগুলি এচিং প্রক্রিয়া জুড়ে পরিষ্কার থাকে তা নিশ্চিত করার জন্য প্রয়োজনীয় সমস্ত ব্যবস্থা গ্রহণ করতে হবে। ফোকাস রিং কার্যকরভাবে বাহ্যিক অমেধ্য এবং দূষকদের ওয়েফার পৃষ্ঠের পাশে প্রবেশ করতে বাধা দেয়, এইভাবে চূড়ান্ত পণ্যের গুণমান এবং কার্যকারিতা নিশ্চিত করে।

অতীতে,ফোকাসিং রিংমূলত কোয়ার্টজ এবং সিলিকন দিয়ে তৈরি ছিল। যাইহোক, উন্নত ওয়েফার উত্পাদনতে শুকনো এচিংয়ের বৃদ্ধির সাথে সাথে সিলিকন কার্বাইড (এসআইসি) দিয়ে তৈরি রিংগুলি ফোকাস করার চাহিদাও বাড়ছে। খাঁটি সিলিকন রিংয়ের সাথে তুলনা করে, এসআইসি রিংগুলি আরও টেকসই এবং আরও দীর্ঘতর পরিষেবা জীবন রয়েছে, ফলে উত্পাদন ব্যয় হ্রাস পায়। সিলিকন রিংগুলি প্রতি 10 থেকে 12 দিনে প্রতিস্থাপন করা দরকার, যখন সিক রিংগুলি প্রতি 15 থেকে 20 দিনে প্রতিস্থাপন করা হয়। বর্তমানে স্যামসাংয়ের মতো কয়েকটি বড় সংস্থাগুলি এসআইসির পরিবর্তে বোরন কার্বাইড সিরামিকস (বি 4 সি) ব্যবহার অধ্যয়ন করছে। বি 4 সি এর উচ্চতর কঠোরতা রয়েছে, তাই ইউনিটটি দীর্ঘস্থায়ী হয়।

একটি প্লাজমা এচিং সরঞ্জামগুলিতে, চিকিত্সা জাহাজের একটি বেসে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের প্লাজমা এচিংয়ের জন্য একটি ফোকাস রিং ইনস্টল করা প্রয়োজনীয়। ফোকাসিং রিংটি তার পৃষ্ঠের অভ্যন্তরীণ দিকের প্রথম অঞ্চলের সাথে সাবস্ট্রেটকে ঘিরে রয়েছে যা এচিংয়ের সময় উত্পন্ন প্রতিক্রিয়া পণ্যগুলি ক্যাপচার এবং জমা হওয়া থেকে রোধ করতে একটি ছোট গড় পৃষ্ঠের রুক্ষতা রয়েছে। 

একই সময়ে, প্রথম অঞ্চলের বাইরের দ্বিতীয় অঞ্চলে এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন উত্পন্ন প্রতিক্রিয়া পণ্যগুলিকে ক্যাপচার এবং জমা দেওয়ার জন্য উত্সাহিত করার জন্য একটি বৃহত গড় পৃষ্ঠের রুক্ষতা রয়েছে। প্রথম অঞ্চল এবং দ্বিতীয় অঞ্চলের মধ্যবর্তী সীমানাটি এমন একটি অংশ যেখানে এচিংয়ের পরিমাণ তুলনামূলকভাবে তাৎপর্যপূর্ণ, প্লাজমা এচিং ডিভাইসে ফোকাসিং রিং দিয়ে সজ্জিত এবং সাবস্ট্রেটে প্লাজমা এচিং সঞ্চালিত হয়।

Veteksemon পণ্য দোকান: