সিলিকন কার্বাইড লেপ পণ্যগুলির শীর্ষস্থানীয় চীনা প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে, ভিটেকসেমিকনের এসআইসি লেপযুক্ত ওয়েফার ক্যারিয়ার এচিংয়ের জন্য তার দুর্দান্ত উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা, অসামান্য জারা প্রতিরোধের এবং উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা সহ এচিং প্রক্রিয়াতে একটি অপূরণীয় মূল ভূমিকা পালন করে।
এচিং প্রক্রিয়াটির জন্য সিসি লেপযুক্ত ওয়েফার ক্যারিয়ারের মূল প্রয়োগ
1। এলইডি উত্পাদন মধ্যে গ্যান ফিল্মের বৃদ্ধি এবং এচিং
এসআইসি লেপা ক্যারিয়ারগুলি (যেমন পিএসএস এচিং ক্যারিয়ার) এলইডি উত্পাদনে নীলা স্তরগুলি (প্যাটার্নযুক্ত নীলকান্তমণি সাবস্ট্রেট, পিএসএস) সমর্থন করতে এবং উচ্চ তাপমাত্রায় গ্যালিয়াম নাইট্রাইড (জিএএন) ফিল্মগুলির রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (এমওসিভিডি) সম্পাদন করতে ব্যবহৃত হয়। হালকা নিষ্কাশন দক্ষতা উন্নত করতে একটি পৃষ্ঠের মাইক্রোস্ট্রাকচার গঠনের জন্য একটি ভেজা এচিং প্রক্রিয়া দ্বারা ক্যারিয়ারটি সরানো হয়।
মূল ভূমিকা: ওয়েফার ক্যারিয়ারকে প্লাজমা এচিং পরিবেশে 1600 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড এবং রাসায়নিক জারা পর্যন্ত তাপমাত্রা সহ্য করতে হবে। উচ্চ বিশুদ্ধতা (99.99995%) এবং এসআইসি লেপের ঘনত্ব ধাতু দূষণকে প্রতিরোধ করে এবং গাএন ফিল্মের অভিন্নতা নিশ্চিত করে।
2। সেমিকন্ডাক্টর প্লাজমা/শুকনো এচিং প্রক্রিয়া
মধ্যেআইসিপি (ইনডাকটিভলি কাপলড প্লাজমা) এচিং, এসআইসি প্রলিপ্ত ক্যারিয়ারগুলি অনুকূলিত এয়ারফ্লো ডিজাইনের (যেমন ল্যামিনার ফ্লো মোড) এর মাধ্যমে অভিন্ন তাপ বিতরণ অর্জন করে, অপরিষ্কার প্রসার এড়ানো এবং এচিংয়ের নির্ভুলতা উন্নত করে। উদাহরণস্বরূপ, ভিটেকসেমিকনের এসআইসি লেপযুক্ত আইসিপি এচিং ক্যারিয়ার 2700 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের একটি পরমানন্দ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে এবং এটি উচ্চ-শক্তি প্লাজমা পরিবেশের জন্য উপযুক্ত।
3। সৌর সেল এবং পাওয়ার ডিভাইস উত্পাদন
এসআইসি ক্যারিয়ারগুলি ফটোভোলটাইক ক্ষেত্রে সিলিকন ওয়েফারগুলির উচ্চ-তাপমাত্রার বিস্তার এবং এচিংয়ে ভাল পারফর্ম করে। তাদের নিম্ন তাপীয় প্রসারণ সহগ (4.5 × 10⁻⁶/কে) তাপীয় চাপের কারণে সৃষ্ট বিকৃতি হ্রাস করে এবং পরিষেবা জীবনকে প্রসারিত করে।
এচিংয়ের জন্য সিক লেপযুক্ত ওয়েফার ক্যারিয়ারের শারীরিক বৈশিষ্ট্য এবং সুবিধাগুলি
1। চরম পরিবেশের প্রতি সহনশীলতা:
উচ্চ তাপমাত্রার স্থায়িত্ব:সিভিডি এসআইসি লেপদীর্ঘ সময়ের জন্য 1600 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড এয়ার বা 2200 ° C ভ্যাকুয়াম পরিবেশে কাজ করতে পারে, যা traditional তিহ্যবাহী কোয়ার্টজ বা গ্রাফাইট ক্যারিয়ারের চেয়ে অনেক বেশি।
জারা প্রতিরোধের: এসআইসির অ্যাসিড, ক্ষারীয়, সল্ট এবং জৈব দ্রাবকগুলির প্রতি দুর্দান্ত প্রতিরোধ রয়েছে এবং ঘন ঘন রাসায়নিক পরিষ্কারের সাথে অর্ধপরিবাহী উত্পাদন লাইনের জন্য উপযুক্ত।
2। তাপীয় এবং যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য:
উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা (300 ডাব্লু/এমকে): দ্রুত তাপ অপচয় হ্রাস তাপীয় গ্রেডিয়েন্টগুলি হ্রাস করে, ওয়েফার তাপমাত্রার অভিন্নতা নিশ্চিত করে এবং ফিল্মের বেধ বিচ্যুতি এড়ায়।
উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি: নমনীয় শক্তি 415 এমপিএ (ঘরের তাপমাত্রা) এ পৌঁছে যায় এবং এটি এখনও উচ্চ তাপমাত্রায় 90% এরও বেশি শক্তি বজায় রাখে, ক্যারিয়ার ক্র্যাকিং বা ডিলিমিনেশন এড়ানো।
সারফেস ফিনিস: এসএসআইসি (চাপ সিন্টারড সিলিকন কার্বাইড) এর নিম্ন পৃষ্ঠের রুক্ষতা (<0.1μm) রয়েছে, কণা দূষণ হ্রাস করে এবং ওয়েফার ফলন উন্নত করে।
3। উপাদান ম্যাচিং অপ্টিমাইজেশন:
গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং এসআইসি লেপের মধ্যে কম তাপীয় প্রসারণের পার্থক্য: লেপ প্রক্রিয়াটি সামঞ্জস্য করে (যেমন গ্রেডিয়েন্ট ডিপোজিশন), ইন্টারফেসের চাপ হ্রাস করা হয় এবং লেপটি খোসা ছাড়ানো থেকে রোধ করা হয়।
উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং কম ত্রুটি: সিভিডি প্রক্রিয়াটি সংবেদনশীল প্রক্রিয়াগুলির ধাতব আয়ন দূষণ এড়ানো (যেমন এসআইসি পাওয়ার ডিভাইস উত্পাদন) এড়ানো লেপ বিশুদ্ধতা> 99.9999%নিশ্চিত করে।
তারপরসি সিভিডি এসআইসি লেপের শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সিভিডি এসআইসি লেপের প্রাথমিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সম্পত্তি
সাধারণ মান
স্ফটিক কাঠামো
এফসিসি β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, মূলত (111) ওরিয়েন্টেড
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
আমরা আপনাকে একটি ভাল ব্রাউজিং অভিজ্ঞতা দিতে, সাইটের ট্র্যাফিক বিশ্লেষণ করতে এবং সামগ্রী ব্যক্তিগতকৃত করতে কুকিজ ব্যবহার করি। এই সাইটটি ব্যবহার করে, আপনি আমাদের কুকিজ ব্যবহারে সম্মত হন। গোপনীয়তা নীতি