অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN) সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক

1.সুবিধা

• দক্ষ তাপ স্থানান্তর এবং তাপমাত্রা অভিন্নতার জন্য ~180 W/m·K পর্যন্ত তাপ পরিবাহিতা সহ উচ্চ-বিশুদ্ধতা AlN সিরামিক

• শক্তিশালী বৈদ্যুতিক নিরোধক এবং উচ্চ আয়তনের প্রতিরোধ ক্ষমতা 1-3 কেভিতে স্থিতিশীল ক্ল্যাম্পিং সমর্থন করে (উচ্চ ভোল্টেজ উপলব্ধ)

• কাস্টম অস্তরক স্তর উপকরণ এবং ইলেক্ট্রোড বিন্যাস: Coulomb বা Johnsen–Rahbek (JR); একক বা বহু-জোন

• দ্রুত ক্ল্যাম্প এবং ডি-ক্ল্যাম্প কর্মক্ষমতা, সাধারণত 0.1 সেকেন্ডের নিচে

• সারফেস ডিম্পল মাইক্রোস্ট্রাকচার ~300 μm ব্যাস পর্যন্ত, যোগাযোগের ক্ষেত্রকে ~1% পর্যন্ত কমিয়ে দেয়

• উচ্চ সমতলতা ক্ষমতা; 300 মিমি শ্রেণীর প্ল্যাটফর্মের জন্য 0.5-3 μm পিভির ক্রম অনুসারে সাধারণ বিশ্বব্যাপী সমতলতা

• প্রায় শূন্য জল শোষণ এবং প্রক্রিয়া পরিবেশের জন্য ভাল রাসায়নিক প্রতিরোধের সঙ্গে ঘন microstructure

2.সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন

অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি প্রক্রিয়া পদক্ষেপগুলিতে ব্যবহৃত হয় যার জন্য নিরাপদ ওয়েফার হোল্ডিং এবং নিয়ন্ত্রিত তাপীয় আচরণ উভয়ই প্রয়োজন:

• শুকনো প্লাজমা এচ (ICP / RIE) এবং সম্পর্কিত চেম্বার প্রক্রিয়া

• CVD, PEALD, থার্মাল ALD, এবং অন্যান্য পাতলা-ফিল্ম জমার পর্যায়

• অ্যানিলিং এবং তাপ প্রক্রিয়া মডিউলগুলির জন্য অভিন্ন ওয়েফার তাপমাত্রা প্রয়োজন

• পরিদর্শন, পরিমাপবিদ্যা, এবং নির্ভুলতা পর্যায়ে যেখানে কম কণা এবং স্থিতিশীল ক্ল্যাম্পিং গুরুত্বপূর্ণ

3.AlN উপাদান গ্রেড - সাধারণ বৈশিষ্ট্য

VeTek তাপ পরিবাহিতা, যান্ত্রিক শক্তি এবং ESC ডিজাইনের জন্য খরচের ভারসাম্য বজায় রাখতে একাধিক অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড গ্রেড অফার করে:

ইউনিট: W/(m·K) তে তাপ পরিবাহিতা; কেভি/মিমিতে অস্তরক শক্তি; Ω·cm (25 °C) এ আয়তনের প্রতিরোধ ক্ষমতা; 1 MHz এ অস্তরক ধ্রুবক। মানগুলি সাধারণ এবং প্রক্রিয়া এবং অংশ জ্যামিতির সাথে পরিবর্তিত হতে পারে।

4.সাধারণ ESC ডিজাইন প্যারামিটার

5.কেন চুসে VeTek AlN ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক?

VeTek সেমিকন্ডাক্টর সেমিকন্ডাক্টর গ্রাহকদের জন্য নির্ভুল ESC উত্পাদনের সাথে উন্নত AlN সিরামিককে সংহত করে যাদের তাপীয় কার্যক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্য ক্ল্যাম্পিং উভয়ই প্রয়োজন:

• প্রক্রিয়া তাপীয় বাজেটের সাথে মেলে ~90 থেকে ~180 W/m·K পর্যন্ত তাপ পরিবাহিতা সহ একাধিক AlN গ্রেড

• কুলম্ব বা জেআর ক্ল্যাম্পিং আচরণের জন্য নমনীয় ইলেক্ট্রোড এবং অস্তরক নকশা

• সমতলতা, পৃষ্ঠের মাইক্রোস্ট্রাকচার এবং বৈদ্যুতিক নিরোধক কর্মক্ষমতার কঠোর নিয়ন্ত্রণ

• সম্পূর্ণ জীবনচক্র সমর্থন: নকশা, নতুন নির্মাণ, এবং বহু-স্তরের পুনর্নবীকরণ

এচ, ডিপোজিশন এবং তাপীয় সরঞ্জামগুলির জন্য যা অভিন্ন ওয়েফার তাপমাত্রা এবং পরিষ্কার, পুনরাবৃত্তিযোগ্য ক্ল্যাম্পিংয়ের উপর নির্ভর করে, VeTek অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি অ্যাপ্লিকেশন-কেন্দ্রিক প্রকৌশল সমর্থন দ্বারা সমর্থিত একটি উচ্চ-কর্মক্ষমতা সিরামিক প্ল্যাটফর্ম সরবরাহ করে।