AMAT কভার টপ কোয়ার্টজ 8 ইঞ্চি PCII

AMAT কভার টপ কোয়ার্টজ 8 ইঞ্চি PCII (পার্ট নং 0200-00218) হল একটি উচ্চ-বিশুদ্ধ কোয়ার্টজ উপাদান যা 200mm (8-ইঞ্চি) PVD প্রসেস চেম্বারে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, বিশেষত অ্যাপ্লাইড মেটেরিয়ালস এন্ডুরা® প্ল্যাটফর্ম (PCII চেম্বারের) সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।

অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা ফিউজড কোয়ার্টজ থেকে তৈরি, এই উপাদানটি দূষণ কমিয়ে এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ প্লাজমা আচরণ নিশ্চিত করে একটি পরিষ্কার এবং স্থিতিশীল জমা পরিবেশ বজায় রাখতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরে, আমরা কঠোর উপাদান নিয়ন্ত্রণ এবং মাত্রিক নির্ভুলতার সাথে নির্ভুল-ইঞ্জিনিয়ারযুক্ত কোয়ার্টজ যন্ত্রাংশ সরবরাহ করি, সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব এবং সরঞ্জাম পরিষেবা প্রদানকারীদের জন্য নির্ভরযোগ্য বিকল্প সরবরাহ করি।

মূল স্পেসিফিকেশন:

প্রক্রিয়া আবেদন এবং চেম্বারের অবস্থান

এই কোয়ার্টজ কভারটি বিশেষভাবে PVD স্পুটারিং প্রক্রিয়াগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, ধাতু পাতলা ফিল্ম জমা যেমন অ্যালুমিনিয়াম (Al), টাইটানিয়াম (Ti), এবং তামা (Cu) এর জন্য সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

চেম্বারের অবস্থান

উপাদানটি পিভিডি চেম্বারের উপরের অংশে ইনস্টল করা হয়, যা সাধারণত শীর্ষ কভার অঞ্চল হিসাবে পরিচিত, যেখানে এটি উন্মুক্ত হয়:

● প্লাজমা স্রাব অঞ্চল

● গ্যাস প্রবাহ পাথ প্রক্রিয়া

● ধাতু কণা জমা পরিবেশ

চেম্বারে কার্যকরী ভূমিকা

চেম্বারের কাঠামোর মধ্যে, কভার টপ কোয়ার্টজ একটি ধাতব প্রতিরক্ষামূলক বাধা এবং অন্তরক উপাদান হিসাবে কাজ করে, যা ওয়েফারের উপরে এবং লক্ষ্য অঞ্চলের কাছাকাছি অবস্থিত।

এর স্থান নির্ধারণের জন্য গুরুত্বপূর্ণ:

● ধাতু জমা থেকে সংবেদনশীল চেম্বারের উপাদানগুলিকে রক্ষা করা

● আরএফ প্লাজমা পরিবেশে বৈদ্যুতিক নিরোধক বজায় রাখা

● স্থিতিশীল এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য প্রক্রিয়া শর্ত সমর্থন

মূল ফাংশন এবং কর্মক্ষমতা সুবিধা

1) দূষণ নিয়ন্ত্রণ

PVD প্রক্রিয়া চলাকালীন, ছিদ্রযুক্ত ধাতব পরমাণুগুলি কেবল ওয়েফারগুলিতে নয়, অভ্যন্তরীণ চেম্বারের পৃষ্ঠগুলিতেও জমা হতে থাকে।

এই কোয়ার্টজ কভার:

● একটি বলিদানমূলক প্রতিরক্ষামূলক স্তর হিসাবে কাজ করে

● সমালোচনামূলক চেম্বার কাঠামোর উপর ধাতু বিল্ডআপ প্রতিরোধ করে

● কণা তৈরি এবং ক্রস-দূষণ হ্রাস করে

ফলাফল: উন্নত ওয়েফার ফলন এবং প্রক্রিয়া পরিচ্ছন্নতা

2) প্লাজমা স্থিতিশীলতা এবং বৈদ্যুতিক নিরোধক

এর চমৎকার অস্তরক বৈশিষ্ট্যের জন্য ধন্যবাদ, উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ নিশ্চিত করে:

● স্থিতিশীল RF ক্ষেত্রের বন্টন

● বৈদ্যুতিক হস্তক্ষেপের ঝুঁকি হ্রাস

● প্রক্রিয়া চক্র জুড়ে ধারাবাহিক প্লাজমা ঘনত্ব

ফলাফল: বর্ধিত ফিল্ম অভিন্নতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা

3) উচ্চতর উপাদান বিশুদ্ধতা

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর অপবিত্রতা প্রবর্তন কমাতে অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ উপকরণ ব্যবহার করে।

● কম ধাতব দূষণ

● ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে ন্যূনতম আউটগ্যাসিং

● উন্নত সেমিকন্ডাক্টর নোডের জন্য উপযুক্ত

ফলাফল: কঠোর ফ্যাব-স্তরের পরিচ্ছন্নতার মান পূরণ করে

4) চমৎকার প্লাজমা এবং তাপ প্রতিরোধের

উপাদানটি প্রতিরোধ করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে:

● প্লাজমা ক্ষয় এবং আয়ন বোমাবর্ষণ

● বারবার তাপ সাইক্লিং

ফলাফল: দীর্ঘ সেবা জীবন এবং রক্ষণাবেক্ষণ ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস

5) খরচ-কার্যকর ভোগ্য নকশা

একটি পরিবর্তনযোগ্য চেম্বার ব্যবহারযোগ্য হিসাবে, এই অংশ:

● ব্যয়বহুল চেম্বার হার্ডওয়্যার রক্ষা করে

● রক্ষণাবেক্ষণ চক্রকে সহজ করে

● মালিকানার মোট খরচ কমায় (TCO)

কেন Vetek সেমিকন্ডাক্টর চয়ন করুন?

Vetek সেমিকন্ডাক্টরে, আমরা উচ্চ-কর্মক্ষমতা কোয়ার্টজ উপাদান সরবরাহ করতে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া বোঝার সাথে উপকরণ বিজ্ঞানের দক্ষতাকে একত্রিত করি।

আমাদের সুবিধা:

● আঁট tolerances সঙ্গে যথার্থ যন্ত্র

● কঠোর কাঁচামাল নির্বাচন এবং traceability

● AMAT Endura প্ল্যাটফর্মের সাথে প্রমাণিত সামঞ্জস্য

● বিশ্বব্যাপী সেমিকন্ডাক্টর গ্রাহকদের জন্য স্থিতিশীল সরবরাহ

● কাস্টমাইজেশন এবং অপ্টিমাইজেশানের জন্য প্রকৌশল সমর্থন