পণ্য
পণ্য
CVD SiC আবরণ গ্রাফাইট যন্ত্রাংশ পরিচ্ছন্নতার পরিষেবা
  • CVD SiC আবরণ গ্রাফাইট যন্ত্রাংশ পরিচ্ছন্নতার পরিষেবাCVD SiC আবরণ গ্রাফাইট যন্ত্রাংশ পরিচ্ছন্নতার পরিষেবা

CVD SiC আবরণ গ্রাফাইট যন্ত্রাংশ পরিচ্ছন্নতার পরিষেবা

CVD SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট যন্ত্রাংশের জন্য VETEK পেশাদার ক্লিনিং পরিষেবা হল একটি বিশেষ প্রযুক্তিগত পরিষেবা যা Aixtron / Veeco MOCVD সরঞ্জাম সাসেপ্টর এবং GaN / AlN / AlGaN এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত গ্রাফাইট উপাদানগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। আমাদের মালিকানাধীন পরিষ্কারের প্রক্রিয়াটি পৃষ্ঠের মেমরির প্রভাবকে পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে দূর করে, চুল্লিতে স্থিতিশীল গ্যাস প্রবাহ পুনরুদ্ধার করে এবং 100 µm CVD SiC আবরণকে পরম শূন্য পুরুত্বের ক্ষতি এবং শূন্য ধাতব অবশিষ্টাংশের সাথে কঠোরভাবে রক্ষা করে।

1. আপনি সম্মুখীন হতে পারেন চ্যালেঞ্জ

• AlN স্তর সরানো কঠিন:1300°C তাপ পরিষ্কার এখনও কার্যকরভাবে অবশিষ্ট AlN স্তর খোদাই করতে পারে না।

• পুনরাবৃত্ত মেমরি প্রভাব:সারফেস মেমরি প্রভাব চুল্লিতে অস্থির গ্যাস প্রবাহ ঘটায়, প্রক্রিয়ার সামঞ্জস্যকে প্রভাবিত করে।

• ক্লিনিং সাইকেল ইমপ্যাকts থ্রুপুট:সাধারণত প্রতি 16টি প্রক্রিয়া চক্রের (4-5 সাসেপ্টর) বাহ্যিক পরিষ্কারের প্রয়োজন হয়।

• ব্যয়বহুল আবরণের ক্ষতি সম্পর্কে উদ্বেগ:অভ্যন্তরীণ রাসায়নিক পরিষ্কারের অভিজ্ঞতার অভাব অপারেটরদের আক্রমণাত্মক পরিষ্কারের চেষ্টা করতে দ্বিধাগ্রস্ত করে তোলে।

2. আমাদের সমাধান - GaN / AlN / AlGaN প্রক্রিয়াগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে৷

• পেশাদার পরিচ্ছন্নতা:কাস্টম প্রক্রিয়া বিশেষভাবে CVD SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট অংশ জন্য উন্নত. গ্রাহকের কাছ থেকে কোন রাসায়নিক সূত্রের প্রয়োজন নেই।

• আবরণ নিরাপত্তা:100 µm CVD SiC আবরণকে কঠোরভাবে রক্ষা করে। পরিস্কার করার পর পরম শূন্য বেধ ক্ষতি.

• যাচাইযোগ্য ফলাফল:বিশ্লেষণের সম্পূর্ণ শংসাপত্র (COA) পাঁচটি মূল মাত্রা কভার করে। সংরক্ষণাগার এবং গুণমান নিরীক্ষার জন্য ডেটা প্রস্তুত।

3. পাঁচটি মূল স্বীকৃতির মানদণ্ড

সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সি ব্যবহারকারীদের সমালোচনামূলক প্রয়োজনীয়তার সাথে কঠোরভাবে সারিবদ্ধ:

1. শূন্য আবরণ ক্ষতি- পরিষ্কার করার পরে SiC আবরণের বেধ কখনই হ্রাস পায় না (পূর্ব/পরবর্তী পুরুত্ব তুলনা যাচাইকরণ)।

2. কোন পৃষ্ঠ বিকৃতি- কোন শারীরিক বিকৃতি নিশ্চিত করতে সমতলতা এবং জ্যামিতিক নির্ভুলতা কঠোরভাবে পরিদর্শন করা হয়।

3. মেমরি প্রভাব নির্মূল- আল/গা অবশিষ্টাংশের জন্য XPS বিশ্লেষণ মেমরি প্রভাব উত্সের পুঙ্খানুপুঙ্খ অপসারণ নিশ্চিত করে।

4. শূন্য ধাতু অবশিষ্টাংশ– Fe, Cu, Ni এবং অন্যান্য ধাতুগুলির জন্য ICP-MS পরীক্ষা শূন্য অবশিষ্ট ধাতব অমেধ্য যাচাই করে।

5. কোন অতিরিক্ত কণা– QIII কণা পরীক্ষা প্লাস পরিচ্ছন্নতা যাচাই অবশিষ্ট কণার কারণে গ্যাস প্রবাহের অস্থিরতা প্রতিরোধ করে।

4. ডেলিভারি পরিদর্শন এবং COA রিপোর্ট

প্রতিটি ব্যাচ পাঁচটি মূল মাত্রা জুড়ে সম্পূর্ণ যাচাইকরণ ডেটা সহ বিতরণ করা হয়:

পরিদর্শন আইটেম
যাচাইকরণ পদ্ধতি এবং উদ্দেশ্য
কণা এবং পরিচ্ছন্নতা
QIII কণা পরীক্ষা + পরিচ্ছন্নতা যাচাই - কোন অতিরিক্ত কণা নিশ্চিত না
শূন্য SiC আবরণ ক্ষতি
পূর্ব/পরবর্তী পুরুত্বের তুলনা - নিশ্চিত করুন যে সিভিডি SiC আবরণের সম্পূর্ণ কোন হ্রাস নেই
আল/গা রেসিডুয়াল
XPS যাচাইকরণ - মেমরি প্রভাব সম্পূর্ণরূপে নির্মূল নিশ্চিত করুন
ধাতব অমেধ্য
Fe / Cu / Ni ইত্যাদির জন্য ICP-MS – শূন্য অবশিষ্ট ধাতু
সমতলতা / বিকৃতি
জ্যামিতিক নির্ভুলতা পরিদর্শন - কোন শারীরিক বিকৃতির গ্যারান্টি

5. প্রযোজ্য পণ্য এবং প্রক্রিয়া পটভূমি

পণ্যের পরামিতি

আইটেম
স্পেসিফিকেশন
পরিষেবার ধরন
Aixtron / Veeco CVD SiC আবরণ গ্রাফাইট অংশ
আকার
6 ইঞ্চি / 8 ইঞ্চি এবং অন্যান্য কাস্টম আকার
স্তর এবং আবরণ
গ্রাফাইট বেস + 100 µm CVD SiC আবরণ
বৃদ্ধির উপকরণ
GaN / AlN / AlGaN (সাধারণ: AlN ≈ 100 nm, GaN ≈ 2 µm প্রতি বৃদ্ধি)

পরিষেবা প্রক্রিয়া

1. অনুসন্ধান- মূল্যায়নের জন্য অংশ ফটো / মডেল / পরিমাণ পাঠান।

2. উদ্ধৃতি- প্রযুক্তিগত মূল্যায়ন এবং উদ্ধৃতি সহ বিস্তারিত পরিষ্কারের প্রস্তাব।

3. শিপিং- আমাদের কাছে যন্ত্রাংশ পাঠান বা পিকআপ পরিষেবার ব্যবস্থা করুন।

4. পরিষ্কার করা- পেশাদার পরিষ্কার + সম্পূর্ণ মাল্টি-ডাইমেনশন পরিদর্শন।

5. রিপোর্ট- COA রিপোর্ট জারি এবং পরিষ্কার অংশ ফিরে.

6. ফলো-আপ- প্রভাব ট্র্যাকিং এবং চলমান প্রযুক্তিগত সহায়তা।

6. কেন VETEK ক্লিনিং সার্ভিস বেছে নিন?

VETEK উচ্চ-মূল্যের গ্রাফাইট সাসেপ্টরগুলির জন্য বিশেষ পরিষ্কার করার ক্ষমতা সহ CVD SiC আবরণ প্রযুক্তিতে গভীর দক্ষতার সমন্বয় করে। আমরা GaN/AlN এপিটাক্সিতে আবরণের অখণ্ডতা, কণা নিয়ন্ত্রণ এবং প্রক্রিয়া বিশুদ্ধতার গুরুত্বপূর্ণ গুরুত্ব বুঝি। আমাদের পরিষেবা সেই গ্রাহকদের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে যাদের মেমরি প্রভাব এবং গ্যাস-প্রবাহের অস্থিরতার সমস্যাগুলি সম্পূর্ণরূপে সমাধান করার সময় ব্যয়বহুল CVD SiC আবরণগুলির জন্য পরম নিরাপত্তা প্রয়োজন।

· ছোট-ব্যাচ যাচাইকরণের জন্য ট্রায়াল ক্লিনিং উপলব্ধ

· প্রতিটি ডেলিভারির সাথে সম্পূর্ণ COA রিপোর্ট প্রদান করা হয়

লেপের ক্ষতি বা নতুন দূষণের ঝুঁকি নেই

· পেশাদার · নিরাপদ · যাচাইযোগ্য

হট ট্যাগ: CVD SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট পরিষ্কার, SiC আবরণ পরিষ্কার পরিষেবা, মেমরি প্রভাব অপসারণ, অ্যাক্সট্রন সাসেপ্টর পরিষ্কার, ভিকো গ্রাফাইট অংশ পরিষ্কার করা, GaN AlN AlGaN পরিষ্কার করা, শূন্য আবরণ ক্ষতি পরিষ্কার, পেশাদার গ্রাফাইট সাসেপ্টর পরিষ্কার, CVD SiC পরিষ্কার পরিষেবা, VETEK প্রযুক্তিগত পরিষেবা
অনুসন্ধান পাঠান
যোগাযোগের তথ্য
  • ঠিকানা

    ওয়াংদা রোড, জিয়াং স্ট্রিট, উয়ি কাউন্টি, জিনহুয়া সিটি, ঝেজিয়াং প্রদেশ, চীন

  • টেলিফোন

    +86-18069220752

  • ই-মেইল

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
আমরা আপনাকে একটি ভাল ব্রাউজিং অভিজ্ঞতা দিতে, সাইটের ট্র্যাফিক বিশ্লেষণ করতে এবং সামগ্রী ব্যক্তিগতকৃত করতে কুকিজ ব্যবহার করি। এই সাইটটি ব্যবহার করে, আপনি আমাদের কুকিজ ব্যবহারে সম্মত হন।গোপনীয়তা নীতি