উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ ইচ রিং

1.মূল বৈশিষ্ট্য এবং সুবিধা

• SiO₂ ≥ 99.999% এবং শক্তভাবে নিয়ন্ত্রিত ধাতব অমেধ্য সহ সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ডিহাইড্রোক্সিলেটেড ফিউজড কোয়ার্টজ

• 1100 °C পর্যন্ত স্থিতিশীল ক্রমাগত অপারেশন, 1200 °C এর কাছাকাছি স্বল্পমেয়াদী ক্ষমতা সহ

• ফ্লোরিন- এবং ক্লোরিন-ভিত্তিক এচ কেমিস্ট্রি এবং উচ্চ-শক্তি প্লাজমা এক্সপোজারের শক্তিশালী প্রতিরোধ

• বারবার চেম্বার তাপমাত্রা চক্রের অধীনে নিম্ন তাপীয় সম্প্রসারণ এবং ভাল তাপ-শক কর্মক্ষমতা

• কম ভ্যাকুয়াম আউটগ্যাসিং চেম্বার বেস চাপ এবং প্রক্রিয়া গ্যাস গঠন রক্ষা করতে

• সামঞ্জস্যপূর্ণ চেম্বার ফিট এবং প্লাজমা সীমানা সংজ্ঞার জন্য পালিশ যোগাযোগ পৃষ্ঠের সাথে মাইক্রোন-স্তরের মাত্রিক নিয়ন্ত্রণ

• কনফিগারযোগ্য ডিজাইন: ফ্ল্যাট রিং, স্টেপড এচ রিং, লোকেটিং/রিটেইনিং রিং এবং প্রধান এচ টুল প্ল্যাটফর্মের জন্য সম্পূর্ণ কাস্টম প্রোফাইল

2.সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন

উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ ইচ রিংগুলি শুকনো প্লাজমা এচ প্রসেস চেম্বারে ব্যবহৃত হয়:

• লজিক এবং মেমরি ডিভাইস প্লাজমা এচ ধাপ

• SiC এবং GaN পাওয়ার-ডিভাইস এচ প্রসেস

• উচ্চ-দৃষ্টি-অনুপাত কাঠামো ইচ

• অপটিক্যাল এবং যৌগ-সেমিকন্ডাক্টর সাবস্ট্রেট প্লাজমা প্রক্রিয়াকরণ

• উন্নত প্যাকেজিং প্লাজমা ইচ এবং সম্পর্কিত পরিষ্কারের পদক্ষেপ

• RIE / ICP পরীক্ষাগার এবং উৎপাদন এচ টুলস

3.মূল প্রযুক্তিগত পরামিতি

• উপাদান: সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ডিহাইড্রোক্সিলেটেড ফিউজড কোয়ার্টজ, SiO₂ ≥ 99.999%

• ওয়েফার সামঞ্জস্য: 2 / 4 / 6 / 8 / 12 ইঞ্চি সিলিকন, SiC, GaN, এবং নীলা

• অপারেটিং তাপমাত্রা: −20 °C থেকে 1100 °C একটানা; স্বল্পমেয়াদী শিখর প্রায় 1200 ° সে

• প্রাথমিক ফাংশন: প্লাজমা প্রান্ত বন্দীকরণ, গ্যাস-প্রবাহ নির্দেশিকা, প্রান্ত সুরক্ষা, এবং চেম্বার বিচ্ছিন্নতা

• যন্ত্রের গুণমান: মাইক্রন-স্তরের সহনশীলতা, পালিশ পৃষ্ঠ, নিয়ন্ত্রিত প্রান্ত এবং পরিষ্কার ফিনিস

• কাঠামোর বিকল্প: ফ্ল্যাট রিং, স্টেপড এচ রিং, লোকেটিং/রিটেইনিং রিং এবং কাস্টম জ্যামিতি

• কাস্টমাইজেশন: বাইরের/অভ্যন্তরীণ ব্যাস, বেধ, ধাপের উচ্চতা, লোকেটিং ফিচার, চ্যামফার, এবং অঙ্কন প্রতি ইন্টারফেসের বিবরণ

4.কেন VeTek উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ Etch রিং চয়ন?

VeTek সেমিকন্ডাক্টর এচ এবং তাপীয় সরঞ্জামগুলির জন্য প্রক্রিয়া-সমালোচনামূলক কোয়ার্টজ হার্ডওয়্যার সরবরাহ করে। এচ রিংগুলির জন্য, ফোকাস করা হয়:

• উপাদানের বিশুদ্ধতা এবং পৃষ্ঠের পরিচ্ছন্নতা উন্নত শুষ্ক-খোঁচা পরিবেশের জন্য উপযুক্ত

• মাত্রিক নির্ভুলতা যা স্থিতিশীল প্লাজমা সীমানা নিয়ন্ত্রণ এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য চেম্বার ফিট সমর্থন করে

• OEM-শৈলী প্রতিস্থাপন এবং সম্পূর্ণ কাস্টম চেম্বার ইন্টারফেসের জন্য নকশা নমনীয়তা

• একটি সম্পূর্ণ কোয়ার্টজ কম্পোনেন্ট রেঞ্জ যাতে ওয়েফার ক্যারিয়ার, ফার্নেস টিউব, নৌকা এবং সম্পর্কিত প্রক্রিয়া অংশগুলিও অন্তর্ভুক্ত থাকে

উচ্চ বিশুদ্ধতা, প্লাজমা স্থায়িত্ব এবং আঁটসাঁট জ্যামিতি নিয়ন্ত্রণ একত্রিত করে, VeTek হাই পিউরিটি কোয়ার্টজ ইচ রিংগুলি ওয়েফার এচের অভিন্নতা উন্নত করতে, প্রান্ত-সম্পর্কিত ত্রুটিগুলি কমাতে এবং শুকনো প্লাজমা ইচ টুলগুলিতে দীর্ঘতর, আরও স্থিতিশীল উত্পাদন চক্রকে সমর্থন করে৷