ফ্যাব কারখানায় কোন পরিমাপের সরঞ্জাম রয়েছে? - ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর

ফ্যাব কারখানায় অনেক ধরণের পরিমাপ সরঞ্জাম রয়েছে। নিম্নলিখিত কিছু সাধারণ সরঞ্জাম:

ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া পরিমাপ সরঞ্জাম

• ফোটোলিথোগ্রাফি মেশিন প্রান্তিককরণ নির্ভুলতা পরিমাপ সরঞ্জাম: যেমন এএসএমএল এর প্রান্তিককরণ পরিমাপ সিস্টেম, যা বিভিন্ন স্তরের নিদর্শনগুলির সঠিক সুপারপজিশন নিশ্চিত করতে পারে।

• ফোটোরিস্ট বেধ পরিমাপের যন্ত্র: এলিপসোমিটার ইত্যাদি সহ, যা আলোর মেরুকরণ বৈশিষ্ট্যের উপর ভিত্তি করে ফোটোরিস্টের বেধ গণনা করে।

• অ্যাডিট এবং এইআই সনাক্তকরণ সরঞ্জাম: ফোটোরিস্ট বিকাশের প্রভাব এবং ফোটোলিথোগ্রাফির পরে প্যাটার্নের গুণমান সনাক্ত করুন, যেমন ভিআইপি অপটোলেক্ট্রনিক্সের প্রাসঙ্গিক সনাক্তকরণ সরঞ্জাম।

এচিং প্রক্রিয়া পরিমাপ সরঞ্জাম

• গভীরতার পরিমাপ সরঞ্জাম এচিং: যেমন হোয়াইট লাইট ইন্টারফেরোমিটার, যা এচিংয়ের গভীরতার সামান্য পরিবর্তনগুলি সঠিকভাবে পরিমাপ করতে পারে।

Profile প্রোফাইল পরিমাপের উপকরণ এচিং: প্রোফাইল তথ্য যেমন এচিংয়ের পরে প্যাটার্নের পাশের প্রাচীর কোণটি পরিমাপ করতে বৈদ্যুতিন মরীচি বা অপটিক্যাল ইমেজিং প্রযুক্তি ব্যবহার করে।

• সিডি-সেম: ট্রানজিস্টরগুলির মতো মাইক্রোস্ট্রাকচারের আকার সঠিকভাবে পরিমাপ করতে পারে।

পাতলা ফিল্ম জমা প্রক্রিয়া পরিমাপ সরঞ্জাম

• ফিল্মের বেধ পরিমাপ যন্ত্র: অপটিক্যাল রিফ্লেকটোমিটারস, এক্স-রে প্রতিচ্ছবি ইত্যাদি, ওয়েফারের পৃষ্ঠে জমা হওয়া বিভিন্ন চলচ্চিত্রের বেধ পরিমাপ করতে পারে।

• ফিল্ম স্ট্রেস পরিমাপ সরঞ্জাম: ওয়েফার পৃষ্ঠের ফিল্ম দ্বারা উত্পাদিত চাপ পরিমাপ করে, চলচ্চিত্রের গুণমান এবং ওয়েফার পারফরম্যান্সের উপর এর সম্ভাব্য প্রভাব বিচার করা হয়।

ডোপিং প্রক্রিয়া পরিমাপ সরঞ্জাম

• আয়ন ইমপ্লান্টেশন ডোজ পরিমাপ সরঞ্জাম: আয়ন ইমপ্লান্টেশন চলাকালীন মরীচি তীব্রতার মতো পরামিতিগুলি পর্যবেক্ষণ করে বা রোপনের পরে ওয়েফারে বৈদ্যুতিক পরীক্ষা সম্পাদন করে আয়ন ইমপ্লান্টেশন ডোজ নির্ধারণ করুন।

Op ডোপিং ঘনত্ব এবং বিতরণ পরিমাপ সরঞ্জাম: উদাহরণস্বরূপ, মাধ্যমিক আয়ন ভর স্পেকট্রোমিটার (সিমস) এবং স্প্রেডিং রেজিস্ট্যান্স প্রোব (এসআরপি) ওয়েফারে ডোপিং উপাদানগুলির ঘনত্ব এবং বিতরণ পরিমাপ করতে পারে।

সিএমপি প্রক্রিয়া পরিমাপ সরঞ্জাম

• পোস্ট-পলিশিং ফ্ল্যাটনেস পরিমাপ সরঞ্জাম: পলিশিংয়ের পরে ওয়েফার পৃষ্ঠের সমতলতা পরিমাপ করতে অপটিক্যাল প্রোফাইলোমিটার এবং অন্যান্য সরঞ্জাম ব্যবহার করুন।

• অপসারণ অপসারণ পরিমাপ সরঞ্জাম: পলিশিংয়ের আগে এবং পরে ওয়েফার পৃষ্ঠের একটি চিহ্নের গভীরতা বা বেধ পরিবর্তন পরিমাপ করে পলিশিংয়ের সময় সরানো উপাদানগুলির পরিমাণ নির্ধারণ করুন।

ওয়েফার কণা সনাক্তকরণ সরঞ্জাম

• কেএলএ এসপি 1/2/3/5/7 এবং অন্যান্য সরঞ্জাম: ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর কণা দূষণ কার্যকরভাবে সনাক্ত করতে পারে।

• টর্নেডো সিরিজ: ভিআইপি অপটোলেক্ট্রনিক্সের টর্নেডো সিরিজের সরঞ্জামগুলি ওয়েফারের কণাগুলির মতো ত্রুটিগুলি সনাক্ত করতে পারে, ত্রুটিযুক্ত মানচিত্র তৈরি করতে পারে এবং সামঞ্জস্যের জন্য সম্পর্কিত প্রক্রিয়াগুলিতে প্রতিক্রিয়া জানায়।

• আলফা-এক্স বুদ্ধিমান ভিজ্যুয়াল পরিদর্শন সরঞ্জাম: সিসিডি-এআই চিত্র নিয়ন্ত্রণ সিস্টেমের মাধ্যমে ওয়েফার চিত্রগুলি আলাদা করতে এবং ওয়েফার পৃষ্ঠের কণাগুলির মতো ত্রুটিগুলি সনাক্ত করতে স্থানচ্যুতি এবং ভিজ্যুয়াল সেন্সিং প্রযুক্তি ব্যবহার করুন।

অন্যান্য পরিমাপ সরঞ্জাম

• অপটিকাল মাইক্রোস্কোপ: ওয়েফার পৃষ্ঠের মাইক্রোস্ট্রাকচার এবং ত্রুটিগুলি পর্যবেক্ষণ করতে ব্যবহৃত।

• স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ (এসইএম): ওয়েফার পৃষ্ঠের মাইক্রোস্কোপিক মরফোলজি পর্যবেক্ষণের জন্য উচ্চতর রেজোলিউশন চিত্র সরবরাহ করতে পারে।

• পারমাণবিক শক্তি মাইক্রোস্কোপ (এএফএম): ওয়েফার পৃষ্ঠের রুক্ষতার মতো তথ্য পরিমাপ করতে পারে।

• উপবৃত্তাকার: ফোটোরিস্টের বেধ পরিমাপের পাশাপাশি এটি পাতলা ছায়াছবির বেধ এবং রিফেক্টিভ সূচকগুলির মতো পরামিতিগুলি পরিমাপ করতেও ব্যবহার করা যেতে পারে।

• চার-প্রোব পরীক্ষক: বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা পরামিতি যেমন ওয়েফারের প্রতিরোধ ক্ষমতা পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয়।

• এক্স-রে ডিফ্র্যাক্টোমিটার (এক্সআরডি): স্ফটিক কাঠামো এবং ওয়েফার উপকরণগুলির স্ট্রেস অবস্থা বিশ্লেষণ করতে পারে।

• এক্স-রে ফটোয়েলেক্ট্রন স্পেকট্রোমিটার (এক্সপিএস): ওয়েফার পৃষ্ঠের প্রাথমিক রচনা এবং রাসায়নিক অবস্থা বিশ্লেষণ করতে ব্যবহৃত।

• ফোকাসযুক্ত আয়ন বিম মাইক্রোস্কোপ (এফআইবি): ওয়েফারগুলিতে মাইক্রো-ন্যানো প্রসেসিং এবং বিশ্লেষণ সম্পাদন করতে পারে।

• ম্যাক্রো এডিআই সরঞ্জাম: যেমন সার্কেল মেশিন, লিথোগ্রাফির পরে প্যাটার্ন ত্রুটিগুলির ম্যাক্রো সনাক্তকরণের জন্য ব্যবহৃত।

• মাস্ক ত্রুটি সনাক্তকরণ সরঞ্জাম: লিথোগ্রাফি প্যাটার্নের যথার্থতা নিশ্চিত করতে মাস্কের ত্রুটিগুলি সনাক্ত করুন।

• ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ (টিইএম): ওয়েফারের অভ্যন্তরে মাইক্রোস্ট্রাকচার এবং ত্রুটিগুলি পর্যবেক্ষণ করতে পারেন।

• ওয়্যারলেস তাপমাত্রা পরিমাপ ওয়েফার সেন্সর: বিভিন্ন প্রক্রিয়া সরঞ্জামের জন্য উপযুক্ত, তাপমাত্রার নির্ভুলতা এবং অভিন্নতা পরিমাপ করা।