ডিফিউশন ফার্নেসের জন্য কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব

1. মূল বৈশিষ্ট্য এবং সুবিধা

• অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা ডিহাইড্রোক্সিলেটেড ফিউজড কোয়ার্টজ (SiO₂ ≥ 99.999%) ধাতব অমেধ্য পিপিবি স্তরে নিয়ন্ত্রিত এবং অত্যন্ত কম হাইড্রোক্সিল সামগ্রী সহ

• দীর্ঘমেয়াদী অপারেটিং তাপমাত্রা 1100 ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত; 1200 ডিগ্রি সেলসিয়াসে স্বল্পমেয়াদী সর্বোচ্চ প্রতিরোধ ক্ষমতা

• সম্পূর্ণ স্ট্রেস-রিলিফ অ্যানিলিং-এর পর চমৎকার তাপীয় শক প্রতিরোধ ক্ষমতা—দ্রুত তাপমাত্রার পরিবর্তনে ক্র্যাকিং প্রতিরোধী

• অক্সিডাইজিং, হ্রাস, এবং হ্যালোজেন-ধারণকারী প্রক্রিয়া গ্যাসের বিরুদ্ধে অসামান্য রাসায়নিক জড়তা; প্লাজমা এবং ক্ষয়কারী বায়ুমণ্ডলের জন্য উপযুক্ত

• খুব কম ভ্যাকুয়াম আউটগ্যাসিং; মসৃণ অভ্যন্তরীণ প্রাচীর উপজাত বিল্ডআপকে কম করে এবং প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা সমর্থন করে

• নির্ভরযোগ্য সিলিংয়ের জন্য অভিন্ন প্রাচীর পুরুত্ব, উচ্চ সমাক্ষতা এবং নির্ভুলতা-সমাপ্ত প্রান্ত সহ এক-টুকরা গঠন

• কাস্টমাইজযোগ্য কাঠামো: সোজা টিউব, রিডুসার টিউব, ফ্ল্যাঞ্জড টিউব, বর্ধিত দৈর্ঘ্য এবং উল্লম্ব বা অনুভূমিক চুল্লিগুলির জন্য বিশেষ শেষ কনফিগারেশন

2. সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন

VeTek কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবগুলি মূল প্রতিক্রিয়া চেম্বার হিসাবে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়:

• তাপ জারণ চুল্লি (শুষ্ক/ভিজা জারণ)

• ডোপ্যান্ট প্রবর্তনের জন্য ডিফিউশন ফার্নেস (B, P, As, ইত্যাদি)

• পাতলা ফিল্ম জমার জন্য LPCVD সিস্টেম

• ভ্যাকুয়াম অ্যানিলিং এবং অন্যান্য উচ্চ-তাপমাত্রা তাপ-চিকিত্সা প্রক্রিয়া

• 4-ইঞ্চি, 6-ইঞ্চি, 8-ইঞ্চি, এবং 12-ইঞ্চি ওয়েফার প্ল্যাটফর্মের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ (Si, SiC, GaN, স্যাফায়ার সাবস্ট্রেট)

তারা যুক্তি, মেমরি, পাওয়ার ডিভাইস, এমসিইউ, এলইডি, এমইএমএস এবং ওয়াইড-ব্যান্ডগ্যাপ সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং লাইনগুলিকে সমর্থন করে যার জন্য স্থিতিশীল তাপমাত্রা অভিন্নতা, গ্যাস-প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ এবং অতি-পরিচ্ছন্ন প্রক্রিয়া পরিবেশ প্রয়োজন।

3. মূল প্রযুক্তিগত পরামিতি

• উপাদান: সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ডিহাইড্রোক্সিলেটেড ফিউজড কোয়ার্টজ (SiO₂ ≥ 99.999%), কম হাইড্রক্সিল, কম ধাতব অমেধ্য

• ওয়েফার সামঞ্জস্য: 4 / 6 / 8 / 12 ইঞ্চি

দীর্ঘমেয়াদী কাজের তাপমাত্রা: −20 °C থেকে 1100 °C; স্বল্পমেয়াদী সর্বোচ্চ 1200 ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত

• প্রক্রিয়া: এক-টুকরো তাপ গঠন, প্রাচীর একজাতকরণ, শেষ সমাপ্তি, স্ট্রেস-রিলিফ অ্যানিলিং, হিলিয়াম লিক পরীক্ষা, অতি-পরিষ্কার পরিচ্ছন্নতা

• উপলব্ধ কাঠামো: স্ট্রেইট টিউব, রিডুসার টিউব, ফ্ল্যাঞ্জড টিউব, এক্সটেন্ডেড/কাস্টম-লেন্থ টিউব, স্পেশাল-এন্ড কনফিগারেশন

• কাস্টমাইজেশন: অভ্যন্তরীণ/বাহ্যিক ব্যাস, দৈর্ঘ্য, প্রাচীরের বেধ, ফ্ল্যাঞ্জের চশমা এবং গ্রাহকের আঁকা প্রতি বিশেষ জ্যামিতি

4. কেন VeTek কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব চয়ন করুন?

সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ উপাদানগুলির পেশাদার প্রস্তুতকারক হিসাবে, VeTek সেমিকন্ডাক্টর অফার করে:

• উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব যা অক্সিডেশন, ডিফিউশন, এলপিসিভিডি এবং অ্যানিলিং সরঞ্জামের জন্য তৈরি

• কঠোর বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণ, মাত্রিক নির্ভুলতা, এবং পরিচ্ছন্নতা ক্লাস 10 / ক্লাস 100 ক্লিনরুম উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত

• সম্পূর্ণ কাস্টমাইজেশন এবং উল্লম্ব এবং অনুভূমিক টিউব ফার্নেসের জন্য OEM-সামঞ্জস্যপূর্ণ ডিজাইন

• ওয়েফার বোট, ক্রুসিবল, লাইনার এবং অন্যান্য প্রক্রিয়া উপাদান সহ পরিপূরক সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ পণ্য

আমাদের কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবগুলি স্থিতিশীল তাপ এবং গ্যাস-প্রবাহের অবস্থা বজায় রাখতে, কণা এবং ধাতব দূষণকে কমিয়ে আনতে এবং ক্রমাগত উচ্চ-তাপমাত্রা সাইক্লিংয়ের অধীনে পরিষেবা জীবন প্রসারিত করতে সহায়তা করে - অর্ধপরিবাহী তাপ প্রক্রিয়াকরণে উচ্চ ফলন এবং মালিকানার কম খরচ সমর্থন করে।