দ্রুত তাপীয় অ্যানিলিং সংবেদনশীল

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর র‌্যাপিড থার্মাল অ্যানিলিং সংবেদনশীল উচ্চমানের এবং দীর্ঘ জীবনকাল সহ, আমাদের তদন্তে স্বাগতম।

র‌্যাপিড থার্মাল অ্যানেল (আরটিএ) হল সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস ফ্যাব্রিকেশনে ব্যবহৃত র‌্যাপিড থার্মাল প্রসেসিংয়ের একটি গুরুত্বপূর্ণ উপসেট। এটি বিভিন্ন টার্গেটেড তাপ চিকিত্সার মাধ্যমে তাদের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলি পরিবর্তন করতে পৃথক ওয়েফারগুলিকে গরম করা জড়িত। আরটিএ প্রক্রিয়া ডোপ্যান্টের সক্রিয়করণ, ফিল্ম-টু-ফিল্ম বা ফিল্ম-টু-ওয়েফার সাবস্ট্রেট ইন্টারফেসের পরিবর্তন, জমা হওয়া ফিল্মগুলির ঘনত্ব, প্রাপ্তবয়স্ক ফিল্ম স্টেটগুলির পরিবর্তন, আয়ন ইমপ্লান্টেশন ক্ষতি মেরামত, ডোপান্ট আন্দোলন এবং ফিল্মগুলির মধ্যে ড্রাইভিং ডোপ্যান্টগুলিকে সক্ষম করে। বা ওয়েফার সাবস্ট্রেটের মধ্যে।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর পণ্য, র‍্যাপিড থার্মাল অ্যানিলিং সাসেপ্টর, আরটিপি প্রক্রিয়ায় একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। এটি নিষ্ক্রিয় সিলিকন কার্বাইড (SiC) এর প্রতিরক্ষামূলক আবরণ সহ উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট উপাদান ব্যবহার করে নির্মিত হয়েছে। SiC-কোটেড সিলিকন সাবস্ট্রেট 1100°C পর্যন্ত তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে, এমনকি চরম অবস্থার মধ্যেও নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে। SiC আবরণ গ্যাস ফুটো এবং কণা ঝরানো বিরুদ্ধে চমৎকার সুরক্ষা প্রদান করে, পণ্যের দীর্ঘায়ু নিশ্চিত করে।

সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ বজায় রাখার জন্য, চিপ দুটি উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট উপাদানগুলির মধ্যে সীমাবদ্ধ করা হয় যা SiC দিয়ে লেপা হয়। সমন্বিত উচ্চ-তাপমাত্রা সেন্সর বা সাবস্ট্রেটের সংস্পর্শে থাকা থার্মোকলের মাধ্যমে সঠিক তাপমাত্রা পরিমাপ করা যেতে পারে।

সিভিডি এসআইসি লেপের প্রাথমিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য:

সেমিকন্ডাক্টর প্রোডাকশন শপ তুলনা করুন ：

সেমিকন্ডাক্টর চিপ এপিটাক্সি ইন্ডাস্ট্রি চেইনের ওভারভিউ: