উপাদান নির্বাচন করার পরে, যা প্রায়শই টুলের কার্যকারিতা নির্ধারণ করে তা হল পরিমাপযোগ্য মেট্রিক্স যেমন পুরুত্বের অভিন্নতা, কণার স্তর এবং বিশুদ্ধতা। এই নিবন্ধটি গ্রহণযোগ্যতা এবং ব্যবহারের ক্ষেত্রে CVD SiC আবরণের মূল মানের মাত্রাগুলিকে সংগঠিত করে, যা "স্পেসিফিকেশন মিল" থেকে "প্রতিবেদনটি পরীক্ষা করা যেতে পারে এবং ঝুঁকি প্রত্যাশিত হতে পারে।"

1.কেন বেধ অভিন্নতা সরাসরি তাপ ক্ষেত্র এবং ফিল্ম কর্মক্ষমতা প্রভাবিত করে?

মূল উপসংহার:নন-ইউনিফর্ম আবরণ বেধ স্থানীয় তাপ প্রতিরোধের এবং পৃষ্ঠের অবস্থার পরিবর্তন করে, যা ফলস্বরূপ তাপমাত্রার অভিন্নতা এবং এপিটাক্সিয়াল ফিল্ম পুরুত্ব বন্টনকে প্রভাবিত করে। একটি সাধারণ প্রকৌশল লক্ষ্য হল ±5% এর মধ্যে বেধের অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ করা, পরিমাপ পয়েন্টগুলি অংশের সমালোচনামূলক অঞ্চলে স্থাপন করা - শুধুমাত্র গড় মান দেখে নয়।

হট-জোন অংশগুলির জন্য যেমন সাসেপ্টর এবং প্রিহিট রিংগুলির জন্য, আবরণ উভয়ই একটি রাসায়নিক বাধা এবং তাপ পথের অংশ। একই নামমাত্র পুরুত্বের অধীনে, প্রান্ত এবং কেন্দ্রের মধ্যে বা খাঁজ এবং সমতল এলাকার মধ্যে বড় বিচ্যুতি প্রক্রিয়া উইন্ডোর প্রান্তে অভিন্নতার তারতম্যকে প্রসারিত করতে পারে।

দেখার জন্য বেধ-সম্পর্কিত আইটেম

• নামমাত্র বেধ এবং সহনশীলতা পরিসীমা (প্রক্রিয়া এবং অংশ কাঠামোর সাথে মিলে যায়)

• মাল্টি-পয়েন্ট অভিন্নতা (কভারিং সেন্টার, এজ এবং স্ট্রাকচারাল ট্রানজিশন জোন সুপারিশ করুন)

• সমালোচনামূলক এবং অ-সমালোচনাহীন মুখগুলির মধ্যে পার্থক্যগুলি একটি গ্রহণযোগ্য সীমার মধ্যে রয়েছে কিনা৷

2.কণা নিয়ন্ত্রণের জন্য কি পরিমাণগত মেট্রিক্স প্রয়োজন?

মূল উপসংহার:কণা নিয়ন্ত্রণ "নিম্ন কণা" এ থামতে পারে না। এটি ব্যবহারে পৃষ্ঠের পরিচ্ছন্নতা, ঘনত্ব এবং পাউডারিং ঝুঁকিতে অবতরণ করা উচিত। ইঞ্জিনিয়ারিং অনুশীলন প্রায়শই প্রতি ইউনিট এলাকা, পৃষ্ঠের রুক্ষতা এবং আবরণের অখণ্ডতাকে ইনকামিং এ এবং অন-টুল ব্যবহারের আগে চেক আইটেম হিসাবে ব্যবহার করে। একটি লক্ষ্য কণা স্তর ≤0.1/cm² ক্রম উল্লেখ করতে পারে এবং উদ্ভিদ প্রক্রিয়ার প্রতি আঁটসাঁট বা শিথিল হতে পারে।

এপিটাক্সি এবং এচিং কণা-সংবেদনশীল। যদি আবরণটি ছিদ্রযুক্ত, মাইক্রো-ফাটা বা স্থানীয়ভাবে খুব পুরু/পাতলা হয়, তবে কিছু ব্যবহারের পরে এটি একটি কণার উত্স হয়ে যাওয়ার সম্ভাবনা বেশি। আগত গ্রহণযোগ্যতার ক্ষেত্রে পৃষ্ঠের অবস্থা স্পষ্ট করা সমস্যা দেখা দেওয়ার পরে দোষ দেওয়ার চেয়ে বেশি কার্যকর।

কণা এবং সারফেস চেক পয়েন্ট

• চেহারা: অভিন্ন রঙ, কোন স্পষ্ট গর্ত, ফোস্কা বা delamination

• পৃষ্ঠের রুক্ষতা (Ra) সম্মত সীমার মধ্যে আছে কিনা

• কণা বা পরিচ্ছন্নতার বিবৃতি প্রদান করা হয়েছে কিনা (পারস্পরিক সম্মত পরীক্ষা পদ্ধতি অনুসারে)

3.ইনকামিং পরিদর্শনে বিশুদ্ধতা, বেধ এবং পৃষ্ঠের অবস্থা কীভাবে পরীক্ষা করবেন?

মূল উপসংহার:GDMS/ICP-OES বিশুদ্ধতা রিপোর্ট, পুরুত্ব এবং অভিন্নতা ডেটা, চেহারা এবং সমালোচনামূলক মাত্রাগুলিকে একটি আদর্শ ইনকামিং প্যাকেজ হিসাবে বিবেচনা করার সুপারিশ করা হয়। আবরণ বিশুদ্ধতা 5 পিপিএম এর নিচে হতে পারে; কিছু ব্যাচ 99.99995% এ পৌঁছায়। রিপোর্টগুলি নির্দিষ্ট লট এবং ট্রেসেবিলিটির জন্য অংশগুলির ম্যাপ করা উচিত।

একটি এক্সিকিউটেবল গ্রহণযোগ্যতা তালিকা একটি মৌখিক "স্পেসিফিকেশন পূরণ করে" এর চেয়ে বেশি কার্যকর। নিম্নলিখিত আইটেমগুলি গাছের প্রয়োজনীয়তার জন্য ছাঁটাই করা যেতে পারে এবং ক্রয় এবং IQC নথিতে লেখা যেতে পারে।

প্রস্তাবিত আগত চেক তালিকা

অন-টুল ব্যবহারের আগে, তাপমাত্রা অভিন্নতা এবং কণা কর্মক্ষমতা নমুনা যাচাই এখনও সুপারিশ করা হয়. একটি পাসিং রিপোর্ট প্রক্রিয়া উইন্ডোর মধ্যে সর্বোত্তম কর্মক্ষমতা গ্যারান্টি দেয় না, তবে এটি টুলটিতে একটি ত্রুটিপূর্ণ লট প্রকাশের সম্ভাবনাকে ব্যাপকভাবে হ্রাস করতে পারে।

4.গুণমান সারিবদ্ধকরণে ইঞ্জিনিয়ারদের জন্য ব্যবহারিক সুপারিশ

মূল উপসংহার:পুরুত্বের অভিন্নতা, কণা/পৃষ্ঠ এবং বিশুদ্ধতা নির্বাহযোগ্য গ্রহণযোগ্যতা ধারায় লিখুন এবং লট সহ এক-এক-একটি ম্যাপ করার জন্য রিপোর্টের প্রয়োজন। যখন অসামঞ্জস্য দেখা দেয়, প্রথমে একই লটে অন্যান্য সরঞ্জামের তুলনা করুন এবং পরিবর্তন প্রক্রিয়া করুন, তারপর উপাদান সমাধান আপগ্রেড করবেন কিনা তা স্থির করুন।

প্রস্তাবিত ক্রম:

1. ক্রয়ের স্পেসিফিকেশনে, বেধ সহনশীলতা, অভিন্নতা লক্ষ্য, বিশুদ্ধতা পদ্ধতি এবং সীমা, এবং চেহারা প্রয়োজনীয়তা সংজ্ঞায়িত করুন।

2. ইনকামিং এ, ফিজিক্যাল লটের বিরুদ্ধে রিপোর্ট চেক করুন; নমুনা সমালোচনামূলক মাত্রা এবং চেহারা.

3. একটি নতুন লট বা প্রক্রিয়া পরিবর্তনের পরে, কণা এবং অভিন্নতা পরীক্ষা করতে টুলটিতে একটি ছোট ব্যাচ চালান।

4. যখন জীবনকাল বা কণা অস্বাভাবিক হয়, সমান্তরালভাবে আবরণ ডেটা এবং চুল্লি/প্রক্রিয়ার অবস্থার তদন্ত করুন; একক-কারণ বৈশিষ্ট্য এড়িয়ে চলুন।

5.কেস স্টাডি: একটি গ্রহণযোগ্যতা ব্যবধান যেখানে গড় বেধ পাস হয়েছে কিন্তু প্রান্ত ব্যর্থ হয়েছে

মূল উপসংহার:শুধুমাত্র গড় বেধ রিপোর্ট করা যথেষ্ট নয়। প্রান্ত এবং কাঠামোগত রূপান্তর অঞ্চলে স্থানীয় পাতলা বা ঘন হওয়া সরাসরি কণা এবং তাপ ক্ষেত্রের ঝুঁকি বাড়ায়। গ্রহণযোগ্যতা অবশ্যই মাল্টি-পয়েন্ট অভিন্নতা এবং পরিমাপের অবস্থানগুলিকে নির্দিষ্ট করতে হবে - শুধুমাত্র ডিস্ক-গড় নামমাত্র সহনশীলতার মধ্যে পড়ে কিনা।

ইঞ্জিনিয়ারিং নোট:

পরে কSiC এপিটাক্সিলাইন একটি নতুন স্পেসিফিকেশন চালু করেছেসিভিডি SiC প্রলিপ্তsusceptor, IQC সরবরাহকারীর রিপোর্ট চেক করেছে: নামমাত্র বেধ এবং ডিস্ক-গড় বেধ উভয়ই সম্মত সহনশীলতার মধ্যে ছিল, GDMS বিশুদ্ধতা পাস, এবং চেহারাতে কোন সুস্পষ্ট অসঙ্গতি দেখা যায়নি, তাই লটটি টুলে ছেড়ে দেওয়া হয়েছিল। প্রায় বিশ রানের পরে, কিছু ট্রে বারবার ওয়েফার-এজ সংশ্লিষ্ট অঞ্চলে ক্রমবর্ধমান কণা এবং স্থানীয় ফিল্ম পাতলা হতে দেখায়, যখন একই লটের অন্যান্য ট্রে স্বাভাবিকভাবে সঞ্চালিত হয়। প্রক্রিয়া গ্যাস বন্টন প্রথমে সন্দেহ করা হয়েছিল, কিন্তু যখন একই চেম্বারটি পুরানো-নির্দিষ্ট ট্রেতে স্যুইচ করা হয়েছিল, তখন প্রান্তের সমস্যাটি স্পষ্টভাবে কমে গিয়েছিল, নতুন লটের দিকে ইঙ্গিত করে। ব্যর্থ অংশ বনাম একই-লট স্বাভাবিক অংশের মাল্টি-পয়েন্ট বেধ পরিমাপ তখন দেখায়: ডিস্কের গড় প্রকৃতপক্ষে স্পেকের মধ্যে ছিল, কিন্তু বাইরের-রিং কাছাকাছি-প্রান্তের পয়েন্টগুলি পদ্ধতিগতভাবে প্রায় 8%-12% পাতলা ছিল, ইতিমধ্যে উদ্ভিদের অভ্যন্তরীণ অভিন্নতা লক্ষ্য ±5% অতিক্রম করেছে; পাতলা অঞ্চলগুলি উচ্চ-কণা অঞ্চলগুলিকে অত্যন্ত ওভারল্যাপ করেছে। মূল কারণটি খাঁজগুলিতে জমার হার এবং সেই কাঠামোর জন্য বাইরের রিং সম্পূর্ণরূপে ক্রমাঙ্কিত না হওয়ার জন্য চিহ্নিত করা হয়েছিল; বহির্গামী প্রতিবেদনে সম্মত মাল্টি-পয়েন্ট ডিস্ট্রিবিউশন ছাড়াই শুধুমাত্র গড় প্রদান করা হয়েছে। লাইনটি তারপরে "কেন্দ্র + প্রান্ত + খাঁজ পরিবর্তন" মাল্টি-পয়েন্ট অভিন্নতা বাধ্যতামূলক ইনকামিং চেকগুলিতে এবং একটি পরিমাপ-বিন্দু মানচিত্র অন্তর্ভুক্ত করার জন্য প্রয়োজনীয় প্রতিবেদনগুলি লিখেছিল। সরবরাহকারী পরবর্তী লটগুলিতে বাইরের-রিং প্রক্রিয়া উইন্ডোটি সামঞ্জস্য করার পরে, প্রান্তের কণা এবং ফিল্ম-বেধের বৈচিত্র ঐতিহাসিক স্তরে ফিরে আসে। এই ক্ষেত্রে দেখায়: স্পেকের গড় মানে স্পেকের মধ্যে অভিন্নতা নয়। তাপগতভাবে সংবেদনশীল সংবেদনকারীদের জন্য, মাল্টি-পয়েন্ট বেধ এবং অবস্থানের ডেটা ছাড়াই গ্রহণযোগ্যতা স্থানীয় ত্রুটিগুলিকে লাইনে আসতে দিতে পারে। পরিমাপ-পয়েন্ট লেআউট এবং স্পেসিফিকেশনে ±5% এর মতো অভিন্নতা লক্ষ্য লেখা "প্রতিবেদনটি গ্রহণযোগ্য ছিল কিনা" পরে তর্ক করার চেয়ে বেশি কার্যকর।

6.FAQ

1. ±5% পুরুত্বের অভিন্নতা কি একটি বাধ্যতামূলক মান?

এটি একটি সাধারণ প্রকৌশল লক্ষ্য, একটি অনন্য আইনি মান নয়। আংশিক কাঠামো এবং প্রক্রিয়া সংবেদনশীলতার উপর ভিত্তি করে সরবরাহকারীর সাথে একটি কঠোর বা সামান্য বিস্তৃত পরিসর একমত হতে পারে। যা গুরুত্বপূর্ণ তা হল পরিমাপ-পয়েন্ট কভারেজ এবং রিপোর্ট ট্রেসেবিলিটি।

2. ≤0.1/cm² কি সমস্ত প্রক্রিয়ার জন্য প্রযোজ্য?

এটি বিশালতার একটি রেফারেন্স অর্ডার। চূড়ান্ত মানদণ্ডগুলি উদ্ভিদের চেম্বার, প্রক্রিয়া এবং ফলনের প্রয়োজনীয়তাগুলি অনুসরণ করা উচিত, স্পেসিফিকেশনে লিখিত পরীক্ষার পদ্ধতি এবং রায়ের নিয়মগুলি সহ।

3. শুধুমাত্র একটি বিশুদ্ধতা রিপোর্ট যথেষ্ট?

না। ন্যূনতম, বিশুদ্ধতা, বেধ/অনুরূপতা এবং চেহারা (প্লাস সম্মত পৃষ্ঠ মেট্রিক্স) একসাথে পাওয়া উচিত; ডাইমেনশনাল ম্যাচ অন-টুলের ব্যবহারকেও প্রভাবিত করে।

4. যদি রিপোর্ট পাস হয় কিন্তু অন-টুল কণা এখনও বেশি থাকে?

প্রথমে একই লটে অন্যান্য সরঞ্জামের তুলনা করুন, সাম্প্রতিক প্রক্রিয়া/রক্ষণাবেক্ষণের পরিবর্তন এবং পরিস্কার পরিচ্ছন্নতার অবস্থা, তারপরে আবরণ সমাধান বা প্রক্রিয়া উইন্ডোর সামঞ্জস্য প্রয়োজন কিনা তা মূল্যায়ন করুন। প্রয়োজনে নির্বাচন-সিদ্ধান্ত এবং সরঞ্জাম-সামঞ্জস্যতা ক্লাস্টার পৃষ্ঠাগুলির সাথে ক্রস-চেক করুন।

5. VeTek কী গুণমান-সম্পর্কিত সহায়তা প্রদান করতে পারে?

GDMS/ICP-OES এবং অনুরূপ বিশ্লেষণ প্রতিবেদন, পুরুত্ব এবং অভিন্নতা ডেটা, নমুনা যাচাইকরণ, এবং অসঙ্গতির উপর প্রযুক্তিগত যোগাযোগ (ইংরেজি সহ) প্রদান করা যেতে পারে।

7.সারাংশ এবং পরবর্তী পদক্ষেপ

সঠিক উপাদান নির্বাচন করার পরে, বেধের অভিন্নতা, কণা নিয়ন্ত্রণ এবং বিশুদ্ধতা সিদ্ধান্ত নেয় যে প্রদত্ত লট স্থিরভাবে প্রক্রিয়া উইন্ডোতে প্রবেশ করতে পারে কিনা। এই তিনটি যাচাইযোগ্য গ্রহণযোগ্যতা ধারায় লেখা এবং জোর দেওয়া যে লটে ম্যাপ রিপোর্ট করা হল অন-টুলের ঝুঁকি কমানোর সবচেয়ে সরাসরি উপায়।

আপনার যদি একটি নির্দিষ্ট অংশের জন্য গ্রহণযোগ্যতা মেট্রিক্সের প্রয়োজন হয় বা প্রতিবেদনের ব্যাখ্যা করতে সাহায্য করে, তাহলে VeTek প্রযুক্তিগত দলের সাথে যোগাযোগ করতে আপনাকে স্বাগত জানাই। ডাঃ জিয়াও এবং ইঞ্জিনিয়ারিং দল স্পেসিফিকেশন সারিবদ্ধকরণ, নমুনা যাচাইকরণ এবং অসঙ্গতি বিশ্লেষণে সহায়তা করতে পারে।

নির্বাচনের যুক্তির জন্য, দেখুন:VETEK | প্রক্রিয়া শর্তাবলী দ্বারা SiC আবরণ, TaC আবরণ বা সলিড SiC কিভাবে নির্বাচন করবেন; সম্পূর্ণ কাঠামোর জন্য, স্তম্ভ পৃষ্ঠা দেখুনএপিটাক্সি এবং এচিং প্রসেসে CVD SiC, TaC এবং সলিড SiC-এর পারফরম্যান্স সীমানা.

প্রধান তথ্যসূত্র এবং তথ্য উত্স

1. VeTek সেমিকন্ডাক্টর অভ্যন্তরীণ প্রকৌশল এবং গ্রাহক গ্রহণ অনুশীলন।

2. সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সি এবং এচিং ইকুইপমেন্টের জন্য সিভিডি লেপ কনজুমেবল সিলেকশন ইঞ্জিনিয়ারিং হ্যান্ডবুকে বিশুদ্ধতা, বেধের অভিন্নতা এবং কণা নিয়ন্ত্রণের মেট্রিক বিবরণ।

3. VeTek অফিসিয়াল ওয়েবসাইট পণ্য এবং প্রযুক্তিগত উপকরণ: https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

দ্রষ্টব্য: পাঠ্যের অভিন্নতা, কণা এবং বিশুদ্ধতার পরিসংখ্যানগুলি সাধারণ প্রকৌশল উল্লেখ; প্রকৃত মান চুক্তি স্পেসিফিকেশন এবং পরিমাপ ফলাফল অনুসরণ করে.

লেখক: VeTek সেমিকন্ডাক্টর টেকনিক্যাল ইঞ্জিনিয়ারিং দল (ড. জিয়াও-এর নির্দেশনায় সম্পন্ন হয়েছে)

আরও প্রযুক্তিগত আলোচনা বা নমুনা মূল্যায়নের জন্য, অফিসিয়াল ওয়েবসাইটের মাধ্যমে আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন।