সিএমপি পলিশিং স্লারি

সিএমপি পলিশিং স্লারি (কেমিক্যাল মেকানিক্যাল পলিশিং স্লারি) একটি উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন এবং নির্ভুল উপাদান প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত হয়। এর মূল কাজটি হল ন্যানো স্তরে সমতলতা এবং পৃষ্ঠের গুণমানের প্রয়োজনীয়তা মেটাতে রাসায়নিক ক্ষয় এবং যান্ত্রিক গ্রাইন্ডিংয়ের সিনারজিস্টিক প্রভাবের অধীনে উপাদান পৃষ্ঠের সূক্ষ্ম সমতলতা এবং পালিশ করা। আপনার আরও পরামর্শের জন্য উন্মুখ.

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

ভেটেক্সেমিকনের সিএমপি পলিশিং স্লারি মূলত সিএমপি রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং স্লারিতে প্ল্যানারাইজিং সেমিকন্ডাক্টর উপকরণগুলির জন্য একটি পলিশিং ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম হিসাবে ব্যবহৃত হয়। এটির নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে:

● অবাধে সামঞ্জস্যযোগ্য কণা ব্যাস এবং কণা একত্রিতকরণ ডিগ্রী;
● কণাগুলি মনোডিসপারসড এবং কণার আকার বন্টন অভিন্ন;
● বিচ্ছুরণ ব্যবস্থা স্থিতিশীল;
● ভর উৎপাদন স্কেল বড় এবং ব্যাচ মধ্যে পার্থক্য ছোট;
● এটি ঘনীভূত করা এবং নিষ্পত্তি করা সহজ নয়।

অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা সিরিজের পণ্যের জন্য কর্মক্ষমতা সূচক

প্যারামিটার	ইউনিট	অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা সিরিজের পণ্যের জন্য কর্মক্ষমতা সূচক
প্যারামিটার	ইউনিট	UPXY-1	UPXY-2	UPXY-3	UPXY-4	UPXY-5	UPXY-6	UPXY-7
গড় সিলিকা কণা আকার	nm	35±5	45±5	65±5	75±5	85±5	100±5	120±5
ন্যানো পার্টিকেল সাইজ ডিস্ট্রিবিউশন (PDI)	1	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15
সমাধান pH	1	7.2-7.4	7.2-7.4	7.2-7.4	7.2-7.4	7.2-7.4	7.2-7.4	7.2-7.4
কঠিন বিষয়বস্তু	%	20.5±0.5	20.5±0.5	20.5±0.5	20.5±0.5	20.5±0.5	20.5±0.5	20.5±0.5
চেহারা	--	হালকা নীল	নীল	সাদা	অফ-হোয়াইট	অফ-হোয়াইট	অফ-হোয়াইট	অফ-হোয়াইট
কণা রূপবিদ্যা X	X：S- pherical；B- বাঁকা；P- চিনাবাদাম-আকৃতির；T- বুলবুস；C- চেইন-সদৃশ (সমষ্টিগত অবস্থা)
আয়ন স্থিতিশীল করা	জৈব / অজৈব অ্যামাইনস
কাঁচামাল রচনা Y	Y；M-TMOS；E-TEOS；ME-TMOS+TEOS；EM-TEOS+TMOS
ধাতু অপবিত্রতা বিষয়বস্তু	≤ 300ppb

উচ্চ-বিশুদ্ধ সিরিজ পণ্যের জন্য কর্মক্ষমতা নির্দিষ্টকরণ

প্যারামিটার
ইউনিট
উচ্চ-বিশুদ্ধ সিরিজ পণ্যের জন্য কর্মক্ষমতা নির্দিষ্টকরণ

WGXY-1Z WGXY-2Z
WGXY-3Z
WGXY-4Z
WGXY-5Z
WGXY-6Z
WGXY-7Z

গড় সিলিকা কণা আকার
nm
35±5
45±5
65±5
75±5
85±5
100±5
120±5

ন্যানো পার্টিকেল সাইজ ডিস্ট্রিবিউশন (PDI)
1 <0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15

সমাধান pH
1 9.5±0.2
9.5±0.2
9.5±0.2
9.5±0.2
9.5±0.2
9.5±0.2
9.5±0.2

কঠিন বিষয়বস্তু
% 30-40 30-40
30-40
30-40
30-40
30-40
30-40

চেহারা
--
হালকা নীল
নীল
সাদা
অফ-হোয়াইট
অফ-হোয়াইট
অফ-হোয়াইট
অফ-হোয়াইট

কণা রূপবিদ্যা X
X：S- pherical；B- বাঁকা；P- চিনাবাদাম-আকৃতির；T- বুলবুস；C- চেইন-সদৃশ (সমষ্টিগত অবস্থা)

আয়ন স্থিতিশীল করা
M:জৈব অ্যামাইন;K:পটাসিয়াম হাইড্রক্সাইড;N:সোডিয়াম হাইড্রক্সাইড;বা অন্যান্য উপাদান

ধাতু অপবিত্রতা বিষয়বস্তু
Z: উচ্চ-বিশুদ্ধ সিরিজ (H Series≤1ppm;L Series≤10ppm); স্ট্যান্ডার্ড সিরিজ (M সিরিজ ≤300ppm)