সিএমপি পলিশিং স্লারি

ভেটেক্সেমিকনের সিএমপি পলিশিং স্লারি মূলত সিএমপি রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং স্লারিতে প্ল্যানারাইজিং সেমিকন্ডাক্টর উপকরণগুলির জন্য একটি পলিশিং ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম হিসাবে ব্যবহৃত হয়। এটির নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে:

অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা সিরিজের পণ্যের জন্য কর্মক্ষমতা সূচক

উচ্চ-বিশুদ্ধ সিরিজ পণ্যের জন্য কর্মক্ষমতা নির্দিষ্টকরণ

প্যারামিটার	ইউনিট	উচ্চ-বিশুদ্ধ সিরিজ পণ্যের জন্য কর্মক্ষমতা নির্দিষ্টকরণ
		WGXY-1Z	WGXY-2Z	WGXY-3Z	WGXY-4Z	WGXY-5Z	WGXY-6Z	WGXY-7Z
গড় সিলিকা কণা আকার	nm	35±5	45±5	65±5	75±5	85±5	100±5	120±5
ন্যানো পার্টিকেল সাইজ ডিস্ট্রিবিউশন (PDI)	1	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15
সমাধান pH	1	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2
কঠিন বিষয়বস্তু	%	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40
চেহারা	--	হালকা নীল	নীল	সাদা	অফ-হোয়াইট	অফ-হোয়াইট	অফ-হোয়াইট	অফ-হোয়াইট
কণা রূপবিদ্যা X	X：S- pherical；B- বাঁকা；P- চিনাবাদাম-আকৃতির；T- বুলবুস；C- চেইন-সদৃশ (সমষ্টিগত অবস্থা)
আয়ন স্থিতিশীল করা	M:জৈব অ্যামাইন;K:পটাসিয়াম হাইড্রক্সাইড;N:সোডিয়াম হাইড্রক্সাইড;বা অন্যান্য উপাদান
ধাতু অপবিত্রতা বিষয়বস্তু	Z: উচ্চ-বিশুদ্ধ সিরিজ (H Series≤1ppm;L Series≤10ppm); স্ট্যান্ডার্ড সিরিজ (M সিরিজ ≤300ppm)

সিএমপি পলিশিং স্লারি পণ্য অ্যাপ্লিকেশন:

● ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট ILD উপকরণ CMP

● ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট পলি-সি উপকরণ CMP

● সেমিকন্ডাক্টর একক স্ফটিক সিলিকন ওয়েফার উপকরণ CMP

● সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন কার্বাইড উপকরণ CMP

● ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট STI উপকরণ CMP

● ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট ধাতু এবং ধাতু বাধা স্তর উপকরণ CMP