অর্ধপরিবাহী তাপ স্প্রেিং প্রযুক্তি

সেমিকন্ডাক্টর থার্মাল স্প্রেিং প্রযুক্তি হ'ল একটি উন্নত প্রক্রিয়া যা একটি লেপ গঠনের জন্য একটি গলিত বা আধা-মল্টেন অবস্থায় উপকরণগুলিকে একটি স্তরটির পৃষ্ঠের উপরে স্প্রে করে। এই প্রযুক্তিটি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, প্রধানত স্তরটির পৃষ্ঠের নির্দিষ্ট ফাংশন সহ আবরণ তৈরি করতে ব্যবহৃত হয় যেমন পরিবাহিতা, নিরোধক, জারা প্রতিরোধের এবং জারণ প্রতিরোধের মতো। তাপীয় স্প্রেিং প্রযুক্তির প্রধান সুবিধাগুলির মধ্যে রয়েছে উচ্চ দক্ষতা, নিয়ন্ত্রণযোগ্য লেপ বেধ এবং ভাল আবরণ আনুগত্য, এটি অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ করে তোলে যার জন্য উচ্চ নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রয়োজন।

সেমিকন্ডাক্টরগুলিতে তাপ স্প্রে প্রযুক্তির প্রয়োগ

প্লাজমা বিম এচিং (শুকনো এচিং)

সাধারণত প্লাজমা এবং ইলেকট্রন এবং অত্যন্ত রাসায়নিকভাবে সক্রিয় নিরপেক্ষ পরমাণু এবং অণু এবং মুক্ত র্যাডিকেলের মতো চার্জযুক্ত কণাযুক্ত প্লাজমা সক্রিয় কণা তৈরি করতে গ্লো ডিসচার্জের ব্যবহার বোঝায়, যা খোদাই করা অংশে ছড়িয়ে পড়ে, খোদাই করা উপাদানের সাথে প্রতিক্রিয়া করে, উদ্বায়ী গঠন করে। পণ্য এবং অপসারণ করা হয়, যার ফলে প্যাটার্ন স্থানান্তরের এচিং প্রযুক্তি সম্পন্ন হয়। অতি-বড়-স্কেল ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট তৈরিতে ফটোলিথোগ্রাফি টেমপ্লেট থেকে ওয়েফারগুলিতে সূক্ষ্ম প্যাটার্নগুলির উচ্চ-বিশ্বস্ততার স্থানান্তর উপলব্ধি করার জন্য এটি একটি অপরিবর্তনীয় প্রক্রিয়া।

সিএল এবং এফ এর মতো প্রচুর সক্রিয় ফ্রি র‌্যাডিকাল উত্পন্ন হবে। যখন তারা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলি এচ করে, তারা অ্যালুমিনিয়াম অ্যালো এবং সিরামিক স্ট্রাকচারাল অংশগুলি সহ সরঞ্জামগুলির অন্যান্য অংশগুলির অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠগুলিকে সঙ্কুচিত করে। এই শক্তিশালী ক্ষয় প্রচুর সংখ্যক কণা উত্পাদন করে, যার জন্য কেবল উত্পাদন সরঞ্জামের ঘন ঘন রক্ষণাবেক্ষণ প্রয়োজন হয় না, তবে এচিং প্রক্রিয়া চেম্বারের ব্যর্থতা এবং গুরুতর ক্ষেত্রে ডিভাইসের ক্ষতিও করে তোলে।

Y2O3 খুবই স্থিতিশীল রাসায়নিক এবং তাপীয় বৈশিষ্ট্য সহ একটি উপাদান। এর গলনাঙ্ক 2400℃ এর উপরে। এটি একটি শক্তিশালী ক্ষয়কারী পরিবেশে স্থিতিশীল থাকতে পারে। প্লাজমা বোমাবর্ষণের প্রতিরোধের ফলে উপাদানগুলির পরিষেবা জীবনকে ব্যাপকভাবে প্রসারিত করতে পারে এবং এচিং চেম্বারে কণা কমাতে পারে।

মূলধারার সমাধানটি হ'ল এচিং চেম্বার এবং অন্যান্য মূল উপাদানগুলি সুরক্ষার জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা Y2O3 লেপ স্প্রে করা।