ALD পারমাণবিক স্তর জমা দেওয়ার রেসিপি

স্থানিক ald, স্থানিকভাবে বিচ্ছিন্ন পারমাণবিক স্তর জমা। ওয়েফার বিভিন্ন অবস্থানের মধ্যে চলে এবং প্রতিটি অবস্থানে বিভিন্ন পূর্ববর্তীদের সংস্পর্শে আসে। নীচের চিত্রটি traditional তিহ্যবাহী ALD এবং স্থানিকভাবে বিচ্ছিন্ন ALD এর মধ্যে একটি তুলনা।

অস্থায়ী ald,সাময়িকভাবে বিচ্ছিন্ন পারমাণবিক স্তর জমা. ওয়েফার স্থির করা হয় এবং পূর্বসূরগুলি পর্যায়ক্রমে চেম্বারে প্রবর্তিত এবং সরানো হয়। এই পদ্ধতিটি আরও ভারসাম্যপূর্ণ পরিবেশে ওয়েফার প্রক্রিয়া করতে পারে, যার ফলে ফলাফলগুলি উন্নত হয়, যেমন সমালোচনামূলক মাত্রার পরিসরের আরও ভাল নিয়ন্ত্রণ। নীচের চিত্রটি টেম্পোরাল ALD এর একটি পরিকল্পিত চিত্র।

ভালভ বন্ধ করুন, ভালভ বন্ধ করুন। সাধারণত ব্যবহৃত হয়，রেসিপি, ভ্যাকুয়াম পাম্পের ভালভ বন্ধ করতে বা ভ্যাকুয়াম পাম্পে স্টপ ভালভ খুলতে ব্যবহৃত হয়।

অগ্রদূত, অগ্রদূত। দুই বা ততোধিক, প্রতিটিতে কাঙ্খিত জমাকৃত ফিল্মের উপাদান রয়েছে, পর্যায়ক্রমে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে শোষিত হয়, একে অপরের থেকে স্বাধীন, একবারে শুধুমাত্র একটি পূর্বসূর সহ। প্রতিটি অগ্রদূত একটি মনোলেয়ার গঠনের জন্য উপস্তর পৃষ্ঠকে পরিপূর্ণ করে। নীচের চিত্রে পূর্বসূর দেখা যায়।

শুদ্ধ করা, যা পরিশোধন নামেও পরিচিত। সাধারণ শোধন গ্যাস, শোধন গ্যাস।পারমাণবিক স্তর জমাপারমাণবিক স্তরগুলিতে পাতলা ফিল্ম জমা করার একটি পদ্ধতি যা প্রতিটি বিক্রিয়াকের পচন এবং শোষণের মাধ্যমে একটি পাতলা ফিল্ম গঠনের জন্য ক্রমান্বয়ে দুটি বা ততোধিক বিক্রিয়ককে একটি প্রতিক্রিয়া চেম্বারে স্থাপন করে। অর্থাৎ, প্রথম বিক্রিয়া গ্যাস চেম্বারের ভিতরে রাসায়নিকভাবে জমা করার জন্য একটি স্পন্দিত পদ্ধতিতে সরবরাহ করা হয় এবং শারীরিকভাবে বন্ধনকৃত অবশিষ্ট প্রথম প্রতিক্রিয়া গ্যাসটি শুদ্ধ করে অপসারণ করা হয়। তারপরে, দ্বিতীয় বিক্রিয়া গ্যাসটিও প্রথম বিক্রিয়া গ্যাসের সাথে পালস এবং শোধন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে একটি রাসায়নিক বন্ধন তৈরি করে, যার ফলে সাবস্ট্রেটে কাঙ্খিত ফিল্ম জমা হয়। Purge নিচের চিত্রে দেখা যাবে।

চক্র পারমাণবিক স্তর জমার প্রক্রিয়াতে, প্রতিটি প্রতিক্রিয়া গ্যাসকে একবার পালস করা এবং শুদ্ধ করার সময়টিকে চক্র বলা হয়।

পারমাণবিক স্তর এপিট্যাক্সি.পারমাণবিক স্তর জমার জন্য আরেকটি শব্দ।

Trimethylaluminum, সংক্ষেপে TMA, trimethylaluminum। পারমাণবিক স্তর জমাতে, TMA প্রায়শই Al2O3 গঠনের পূর্বসূরী হিসাবে ব্যবহৃত হয়। সাধারণত, TMA এবং H2O গঠন করে Al2O3। উপরন্তু TMA এবং O3, Al2O3 গঠন করে। নীচের চিত্রটি Al2O3 পারমাণবিক স্তর জমার একটি পরিকল্পিত চিত্র, TMA এবং H2O কে পূর্বসূরি হিসাবে ব্যবহার করে।

3-Aminopropyltriethoxysilane, APTES হিসাবে উল্লেখ করা হয়, 3-aminopropyltrimethoxysilane। ইনপারমাণবিক স্তর জমা, এপিটিইএস প্রায়শই এসআইও 2 গঠনের জন্য পূর্ববর্তী হিসাবে ব্যবহৃত হয়। সাধারণত, এপিটিইএস, ও 3 এবং এইচ 2 ও ফর্ম সিও 2। নীচের চিত্রটি এপিটিএসের একটি স্কিম্যাটিক ডায়াগ্রাম।