সিভিডি এসআইসি লেপ ব্যারেল সংবেদনশীল

এপিট্যাক্সি গ্রোথ হ'ল একক স্ফটিক স্তর (সাবস্ট্রেট) এ একটি একক স্ফটিক ফিল্ম (একক স্ফটিক স্তর) বাড়ানোর প্রক্রিয়া। এই একক স্ফটিক ফিল্মটিকে এপিলেয়ার বলা হয়। যখন এপিলেয়ার এবং সাবস্ট্রেট একই উপাদান দিয়ে তৈরি হয়, তখন এটিকে হোমোপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি বলা হয়; যখন এগুলি বিভিন্ন উপকরণ দিয়ে তৈরি হয়, তখন একে হেটেরোইপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি বলা হয়।

এপিট্যাক্সিয়াল প্রতিক্রিয়া চেম্বারের কাঠামো অনুসারে, দুটি প্রকার রয়েছে: অনুভূমিক এবং উল্লম্ব। উল্লম্ব এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লিটির সংবেদনশীল অপারেশন চলাকালীন অবিচ্ছিন্নভাবে ঘোরান, সুতরাং এটির ভাল অভিন্নতা এবং বৃহত উত্পাদন ভলিউম রয়েছে এবং এটি মূলধারার এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথ সলিউশন হয়ে উঠেছে C এবং ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর হ'ল ইপিআইয়ের জন্য এসআইসি লেপা গ্রাফাইট ব্যারেল সংবেদনশীলের উত্পাদন বিশেষজ্ঞ।

এমসিভিডি এবং এইচভিপিইর মতো এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির সরঞ্জামগুলিতে, এসআইসি লেপা গ্রাফাইট ব্যারেল সংবেদনশীলগুলি প্রবৃদ্ধি প্রক্রিয়া চলাকালীন স্থিতিশীল থাকে তা নিশ্চিত করার জন্য ওয়েফারটি ঠিক করতে ব্যবহৃত হয়। ওয়েফারটি ব্যারেল টাইপের সংবেদনশীলতে স্থাপন করা হয়। উত্পাদন প্রক্রিয়াটি এগিয়ে যাওয়ার সাথে সাথে সংবেদনশীলটি ওয়েফারটিকে সমানভাবে গরম করার জন্য অবিচ্ছিন্নভাবে ঘোরান, যখন ওয়েফার পৃষ্ঠটি প্রতিক্রিয়া গ্যাস প্রবাহের সংস্পর্শে আসে, শেষ পর্যন্ত অভিন্ন এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি অর্জন করে।

সিভিডি এসআইসি লেপ ব্যারেল টাইপ সংবেদনশীল স্কিম্যাটিক

এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথ ফার্নেস হ'ল ক্ষয়কারী গ্যাসগুলিতে ভরা একটি উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশ। এই জাতীয় কঠোর পরিবেশকে কাটিয়ে উঠতে, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর সিভিডি পদ্ধতির মাধ্যমে গ্রাফাইট ব্যারেল সংবেদনশীলকে এসআইসি লেপের একটি স্তর যুক্ত করেছেন, এইভাবে একটি এসআইসি প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ব্যারেল সংবেদনশীল প্রাপ্ত

কাঠামোগত বৈশিষ্ট্য:

●  অভিন্ন তাপমাত্রা বিতরণ: ব্যারেল-আকৃতির কাঠামো তাপকে আরও সমানভাবে বিতরণ করতে পারে এবং স্থানীয় অতিরিক্ত গরম বা শীতল হওয়ার কারণে ওয়েফারের চাপ বা বিকৃতি এড়াতে পারে।

●  বায়ু প্রবাহের ঝামেলা হ্রাস করুন: ব্যারেল-আকৃতির সংবেদনশীলের নকশাটি প্রতিক্রিয়া চেম্বারে বায়ুপ্রবাহের বিতরণকে অনুকূল করতে পারে, যা গ্যাসকে ওয়েফারের পৃষ্ঠের উপরে সহজেই প্রবাহিত করতে দেয়, যা একটি সমতল এবং অভিন্ন এপিট্যাক্সিয়াল স্তর তৈরি করতে সহায়তা করে।

●  ঘূর্ণন প্রক্রিয়া: ব্যারেল-আকৃতির সংবেদনশীলের ঘূর্ণন প্রক্রিয়াটি এপিট্যাক্সিয়াল স্তরটির বেধের ধারাবাহিকতা এবং উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলিকে উন্নত করে।

●  বড় আকারের উত্পাদন: ব্যারেল-আকৃতির সংবেদনশীল 200 মিমি বা 300 মিমি ওয়েফারগুলির মতো বড় ওয়েফার বহন করার সময় তার কাঠামোগত স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে, যা বৃহত আকারের ব্যাপক উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত।

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর সিভিডি এসআইসি লেপ ব্যারেল টাইপের সংবেদক উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট এবং সিভিডি এসআইসি লেপ দ্বারা গঠিত, যা সংবেদনশীলকে একটি ক্ষয়কারী গ্যাসের পরিবেশে দীর্ঘ সময়ের জন্য কাজ করতে সক্ষম করে এবং ভাল তাপীয় পরিবাহিতা এবং স্থিতিশীল যান্ত্রিক সহায়তা রয়েছে। নিশ্চিত করুন যে ওয়েফারটি সমানভাবে উত্তপ্ত হয়েছে এবং সুনির্দিষ্ট এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি অর্জন করবে।

সিভিডি এসআইসি লেপের প্রাথমিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য

সিভিডি এসআইসি লেপের প্রাথমিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য
সম্পত্তি	সাধারণ মান
স্ফটিক কাঠামো	এফসিসি β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, মূলত (111) ওরিয়েন্টেড
ঘনত্ব	3.21 গ্রাম/সেমি
কঠোরতা	2500 ভিকারদের কঠোরতা （500g লোড）
শস্য আকার	2 ~ 10 মিমি
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা	99.99995%
তাপ ক্ষমতা	640 জে · কেজি-1· কে-1
পরমানন্দ তাপমাত্রা	2700 ℃
নমনীয় শক্তি	415 এমপিএ আরটি 4-পয়েন্ট
ইয়ং এর মডুলাস	430 জিপিএ 4pt বেন্ড, 1300 ℃
তাপ পরিবাহিতা	300W · মি-1· কে-1
তাপ সম্প্রসারণ (সিটিই)	4.5 × 10-6K-1

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর সিভিডি এসআইসি লেপ ব্যারেল টাইপের সংবেদক