CVD ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) প্রলিপ্ত সাসেপ্টর

মূল বৈশিষ্ট্য

অ্যাপ্লিকেশন

সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন অন্তর্ভুক্ত:

• SiC এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি

• GaN MOCVD এপিটাক্সি

• AlN এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি

• তৃতীয় প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং

• উচ্চ ক্ষমতা ইলেকট্রনিক্স

• আরএফ ডিভাইস

• মাইক্রোএলইডি উৎপাদন

• গবেষণা এবং পাইলট উত্পাদন সিস্টেম

সামঞ্জস্যপূর্ণ সরঞ্জাম

সামঞ্জস্যপূর্ণ প্ল্যাটফর্ম অন্তর্ভুক্ত:

• Aixtron

• এলপিই

• ভিকো

• AMEC

• নুফ্লেয়ার

• কাস্টম সিভিডি এবং এমওসিভিডি চুল্লি

এছাড়াও উপলব্ধ:

• ওয়েফার ক্যারিয়ার

• প্ল্যানেটারি সাসেপ্টর

ব্যারেল সাসেপ্টর

• ঘূর্ণন ডিস্ক

• অর্ধ-চাঁদের অংশ

• কভার প্লেট

• গ্রাফাইট সমাবেশ

• কাস্টম থার্মাল ফিল্ড উপাদান

প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ

প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী

1. একটি CVD TaC প্রলিপ্ত সাসেপ্টর কি?

একটি উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট উপাদান একটি ঘন CVD TaC আবরণ দ্বারা সুরক্ষিত যা এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির সময় ওয়েফার ক্যারিয়ার হিসাবে ব্যবহৃত হয়।

2. কেন TaC coa ব্যবহার করুনSiC আবরণ পরিবর্তে ting?

TaC উচ্চতর তাপমাত্রা প্রতিরোধ, উচ্চতর রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন অফার করে।

3.কোন অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া TaC-c ব্যবহার করেoated susceptors?

SiC এপিটাক্সি, GaN MOCVD, AlN এপিটাক্সি, এবং অন্যান্য উচ্চ-তাপমাত্রার স্ফটিক বৃদ্ধির প্রক্রিয়া।

4. VETEK কাস্টমাইজড সাসেপ্টর তৈরি করতে পারে?

হ্যাঁ। আমরা গ্রাহকের অঙ্কন এবং প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে কাস্টমাইজড ডিজাইন প্রদান.

5. কোন চুল্লি ব্র্যান্ড সমর্থিত?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare এবং অন্যান্য মূলধারার সিস্টেম।