এচিংয়ের জন্য ফোকাস রিং

মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন এচিং রিংগুলি প্লাজমা পরিবেশের স্থিতিশীলতা বজায় রেখে, সরঞ্জাম এবং ওয়েফারদের সুরক্ষা, সংস্থান ব্যবহারকে অনুকূলকরণ এবং উন্নত প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তার সাথে মানিয়ে নেওয়ার মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়াগুলিতে প্রয়োজনীয় উপাদান। এর কার্যকারিতা সরাসরি চিপ উত্পাদন ফলন এবং ব্যয়কে প্রভাবিত করে।

প্লাজমা অভিন্নতা, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করার জন্য এচড ফোকাস রিং, ইলেক্ট্রোড এবং ইত্যাদি (প্রান্ত তাপমাত্রা নিয়ামক) মূল উপভোগযোগ্য। এই উপাদানগুলি সিভিডি, এচিং এবং ফিল্ম সরঞ্জামগুলির ভ্যাকুয়াম চেম্বারে স্পষ্টভাবে একত্রিত হয় এবং সরাসরি ওয়েফারের কেন্দ্র পর্যন্ত এচিংয়ের যথার্থতা এবং ফলন নির্ধারণ করে।

উচ্চ-শেষ উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে উপাদানগত বৈশিষ্ট্যের কঠোর চাহিদার প্রতিক্রিয়া হিসাবে, ভিটেকসেমি 10-20Ω · সেমি প্রতিরোধের সাথে উচ্চ-বিশুদ্ধতা মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ব্যবহার করে উদ্ভাবন করে ফোকাসিং রিংগুলি এবং সহায়ক উপকরণগুলিকে সমর্থন করে। উপাদান বিজ্ঞান, বৈদ্যুতিক নকশা এবং থার্মোডাইনামিক্সের সহযোগী অপ্টিমাইজেশনের মাধ্যমে, ভিটেকসেমি ফোকাসিং রিংগুলি এবং ভোক্তাগুলিকে সমর্থনকারীকে সহায়তা করতে সক্ষম। দীর্ঘায়ু, নির্ভুলতা এবং ব্যয় কার্যকারিতাতে যুগান্তকারী উন্নতি অর্জনের জন্য traditional তিহ্যবাহী কোয়ার্টজ সমাধানগুলি বিস্তৃতভাবে ছাড়িয়ে যায়।

মূল উপাদান তুলনা এবং প্রতিরোধ ক্ষমতা অপ্টিমাইজেশন

মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন বনাম। কোয়ার্টজ

পণ্য কোর অ্যাডভান্ট্যাগe

1। পারমাণবিক স্তরের প্রক্রিয়া যথার্থতা

প্রতিরোধের অপ্টিমাইজেশন + আল্ট্রা-নির্ভুলতা পলিশিং (আরএ <0.1μm) সেমি এফ 47 স্ট্যান্ডার্ডগুলি পূরণের জন্য মাইক্রো-স্রাব এবং কণা দূষণকে সরিয়ে দেয়।

ডাইলেট্রিক ক্ষতি (ট্যান <0.001) ওয়েফার ডাইলেট্রিক পরিবেশের সাথে অত্যন্ত মিলছে, প্রান্ত বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বিকৃতি এড়ানো এবং 3 ডি ন্যান্ড 89.5 ± 0.3 ° উল্লম্ব গভীর গর্ত এচিং সমর্থন করে।

2। বুদ্ধিমান সিস্টেমের সামঞ্জস্যতা

ইটিসি প্রান্ত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ মডিউলের সাথে সংহত, কুলিং এয়ার প্রবাহটি থার্মোকল এবং এআই অ্যালগরিদম দ্বারা চেম্বারের তাপীয় প্রবাহকে ক্ষতিপূরণ দেওয়ার জন্য গতিশীলভাবে সামঞ্জস্য করা হয়।

কাস্টমাইজড আরএফ ম্যাচিং নেটওয়ার্ককে সমর্থন করুন, এএমএটি সেন্টুরা, ল্যাম রিসার্চ কিয়ো এবং আইসিপি/সিসিপি প্লাজমা উত্সগুলির মতো মূলধারার মেশিনগুলির জন্য উপযুক্ত।

3। ব্যাপক ব্যয়-কার্যকারিতা

মনোক্রিস্টালাইন সিলিকনের জীবন কোয়ার্টজের তুলনায় 275% দীর্ঘ, রক্ষণাবেক্ষণ চক্রটি 3,000 ঘণ্টারও বেশি, এবং মালিকানার বিস্তৃত ব্যয় (টিসিও) 30% হ্রাস পেয়েছে।

প্রতিরোধের গ্রেডিয়েন্ট কাস্টমাইজেশন পরিষেবা (5-100Ω · সেমি), গ্রাহক প্রক্রিয়া উইন্ডোটির সাথে অবশ্যই মিলছে (যেমন গাএন/এসআইসি প্রশস্ত ব্যান্ড ফাঁক উপাদান এচিং)।

প্রতিরোধের প্রভাব

পণ্য বাণিজ্যিক শর্তাদি

সর্বনিম্ন অর্ডার পরিমাণ	1 সেট
দাম	কাস্টমাইজড উদ্ধৃতি জন্য যোগাযোগ
প্যাকেজিং বিশদ	স্ট্যান্ডার্ড রফতানি প্যাকেজ
বিতরণ সময়	বিতরণ সময়: অর্ডার নিশ্চিতকরণের 30-35 দিন পরে
অর্থ প্রদানের শর্তাদি	টি/টি
সরবরাহ ক্ষমতা	600 সেট/মাস