উচ্চ-বিশুদ্ধতা CVD SiC প্রলিপ্ত ওয়েফার বোট

1. মূল কর্মক্ষমতা ফ্যাক্টর?

• 7N স্তরে বিশুদ্ধতা:আমরা একটি 99.99999% (7N) বিশুদ্ধতার মান বজায় রাখি। লং ড্রাইভ-ইন বা অক্সিডেশন পদক্ষেপের সময় ধাতব দূষকগুলিকে ওয়েফারে স্থানান্তরিত করা থেকে রোধ করার জন্য এটি অ-আলোচনাযোগ্য।
• সিভিডি সীল (50-300μm):আমরা শুধু পৃষ্ঠ "পেইন্ট" না. আমাদের 50-300μm CVD SiC স্তরটি সাবস্ট্রেটের উপরে একটি মোট সিল তৈরি করে। এটি ছিদ্রতা দূর করে, যার অর্থ নৌকাটি রাসায়নিক পদার্থ আটকাবে না বা কণাগুলিকে রিঅ্যাকটিভ গ্যাস বা আক্রমনাত্মক SPM/DHF পরিষ্কারের বারবার এক্সপোজারের পরেও ফেলবে না।
• তাপীয় দৃঢ়তা:সিলিকন কার্বাইডের প্রাকৃতিক নিম্ন তাপীয় প্রসারণ এই নৌকাগুলিকে সোজা রাখে। র‌্যাপিড থার্মাল অ্যানিলিং (আরটিএ) এর সময় তারা ঝুলবে না বা মোচড় দেবে না, যাতে রোবট আর্ম জ্যামিং ছাড়াই সর্বদা সঠিক স্লটে আঘাত করে তা নিশ্চিত করে।
• টেকসই ফলন:পৃষ্ঠ কম উপজাত আনুগত্য জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়. কম বিল্ডআপ মানে আপনার ওয়েফারগুলিতে কম কণা আঘাত করা এবং ভেজা-বেঞ্চ পরিষ্কারের চক্রের মধ্যে বেশি দৌড়ানো।
• কাস্টম জ্যামিতি:প্রতিটি ফ্যাবের নিজস্ব সেটআপ আছে। আমরা এইগুলিকে আপনার নির্দিষ্ট পিচ এবং স্লট অঙ্কনে মেশিন করি, আপনি একটি অনুভূমিক চুল্লি চালাচ্ছেন বা একটি উল্লম্ব 300 মিমি স্বয়ংক্রিয় লাইন।

2. প্রক্রিয়া সামঞ্জস্য

• বায়ুমণ্ডল:TMGa, AsH₃, এবং উচ্চ-ঘনত্ব O₂ পরিবেশের প্রতিরোধী।
• তাপ পরিসীমা:1400 ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত স্থিতিশীল দীর্ঘমেয়াদী অপারেশন।
• উপকরণ:লজিক, পাওয়ার এবং এনালগ ওয়েফারের অক্সিডেশন এবং ডিফিউশন প্রক্রিয়ার জন্য বিশেষভাবে ইঞ্জিনিয়ারড।