খবর

মাল্টি-পকেট সিলিকন এপিটাক্সি গ্রাফাইট সাসেপ্টরগুলিতে 1.4% পকেট-থেকে-পকেট পুরুত্বের বৈচিত্র্যকে সম্বোধন করে, VeTek সেমি সাসেপ্টর ফ্ল্যাটনেস <0.08mm-এ উন্নতি করেছে এবং CVD ফ্লো ফিল্ড সিমুলেশন এবং আল্ট্রা-প্রিসিশন সিম্যুলেশনের মাধ্যমে প্রকরণ 0.69% কমিয়েছে।

Vetek কিভাবে বড় আকারের MOCVD SiC-কোটেড গ্রাফাইট সাসেপ্টরগুলিতে রেডিয়াল ক্র্যাকিং দূর করেছে তা জানুন। স্ট্রাকচারাল স্ট্রেস বাফার রিডিজাইন এবং CTE ম্যাচিং সার্ভিস লাইফ 300%+ বাড়িয়েছে।

SiC বিবর্তনের এক দশক — প্রথম দিকে 4-ইঞ্চি বাণিজ্যিকীকরণ চ্যালেঞ্জ থেকে আজকের 8-ইঞ্চি ওয়েফার ট্রানজিশন পর্যন্ত। আবিষ্কার করুন কিভাবে CVD SiC আবরণ, সলিড SiC, এবং TaC উপকরণ নির্ভরযোগ্য সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সক্ষম করে।