সলিড SiC ফোকাস রিং

1. পণ্য বৈশিষ্ট্য

● বিশুদ্ধতা (GDMS যাচাইকৃত): > 99.99995% (6N-7N পর্যন্ত) | চেম্বারটিকে ধাতব ঝুঁকিমুক্ত রাখে।

● কাঠামোগত দৃঢ়তা: ≥3.21  g/cm3 | তাত্ত্বিক ঘনত্বে পৌঁছায়; আউটগ্যাসিং বা মাইক্রো-কণা লুকানোর জন্য কোন শূন্যতা ছেড়ে দেয় না।

● তাপ নিয়ন্ত্রণ: 200 - 300W/m·K | ওয়েফার-রিম তাপমাত্রা পুরোপুরি সমান রাখতে দ্রুত তাপ ছড়ায়।

● বৈদ্যুতিক পরিসর: 0.01 - 10 Ωcm | প্লাজমা খাপকে স্থির রাখতে এবং আরএফ সংযোগকে পরিমার্জিত করতে অভিযোজিত প্রতিরোধ ক্ষমতা। পৃষ্ঠের অনমনীয়তা: ≥2500 HV | ক্রমাগত শুষ্ক-এচিং চক্রের সময় ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম পরিধান প্রতিরোধ করে।

2. আবেদনপত্র 

● উন্নত প্রক্রিয়া প্লাজমা এচিং

● পাতলা ফিল্ম জমা করার প্রক্রিয়া (PECVD/ALD)

● সলিড SiC এচিং রিংগুলি হল উন্নত চিপ তৈরির মূল উপযোগী জিনিস, যা ওয়েফার এজ প্রক্রিয়াগুলির অভিন্নতা নিশ্চিত করতে, ফলন উন্নত করতে এবং প্লাজমা এচিং এবং জমা প্রক্রিয়াগুলিতে উপাদানের আয়ু বাড়াতে ব্যবহৃত হয়।

3. ফ্যাব দুর্বলতাগুলি সমাধান করা

● সমস্যা: দ্রুত অংশ ক্ষয় থেকে ব্যয়বহুল অলস সময়

সমাধান:  Vetek-এর CVD-উত্থিত কাঠামো কোয়ার্টজের চেয়ে 10 থেকে 20 গুণ ধীর এবং বাল্ক সিলিকনের চেয়ে 3 থেকে 5 গুণ ধীরগতি দেখায়। Fabs দীর্ঘ উত্পাদন রান এবং অনেক কম জরুরি চেম্বার ভেন্ট পায়।

● ইস্যু: এজ ইয়েলড কোল্যাপস ("দ্য এজ ইফেক্ট")

ফিক্স: রিং ফেস জুড়ে ধীর, অনুমানযোগ্য পরিধান সময়ের সাথে সাথে প্লাজমা শীথকে কাত হওয়া থেকে থামায়। এটি ওয়েফার পরিধিতে আঁটসাঁট ক্রিটিকাল ডাইমেনশন (সিডি) সীমা সংরক্ষণ করে।

● ইস্যু: সিন্টারড-পার্ট শেডিং থেকে স্পাইক্সের ত্রুটি

ফিক্স: আমাদের গ্যাস-ফেজ সংশ্লেষণ শূন্য শস্য-সীমানা বাইন্ডার বা ধাতব ফিলারের পিছনে চলে যায়। এই দুর্বল দাগগুলি ছাড়া, রিংটি ফেটে যাবে না বা ওয়েফার পৃষ্ঠে মাইক্রো-মাস্কিং ত্রুটি সৃষ্টি করবে না।

4. উপযোগী ইঞ্জিনিয়ারিং সমর্থন

● টুল ড্রপ-ইন ইন্টিগ্রেশন: ল্যাম, AMAT এবং TEL-এর মতো গ্লোবাল এচার ব্র্যান্ডের কঠোর ব্যবধানের স্পেসিংয়ের সাথে মেলে কাস্টম-মেশিন।

● রেসিস্টিভিটি ম্যাচিং: আমরা আপনার নির্দিষ্ট রেসিপি প্যারামিটারের সাথে পুরোপুরি লাইন আপ করার জন্য প্রতিটি ব্যাচের বৈদ্যুতিক প্রোফাইল টিউন করি।

● উন্নত ফিনিশ: রুক্ষ পৃষ্ঠগুলিকে মসৃণ করতে অতি-পরিচ্ছন্ন রাসায়নিক যান্ত্রিক পরিকল্পনা (CMP) নিয়োগ করে, প্রাথমিক টুল সিজনিংয়ের সময় কণার সংখ্যা কমিয়ে দেয়।

● জটিল ফর্ম-ফ্যাক্টর: জটিল, বহু-ধাপযুক্ত প্রান্তের রিং এবং ইন্টারলকিং রিং সেটআপগুলিতে আমরা শক্ত সহনশীলতা (±0.01 মিমি) ধরে রাখি।

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর গুদাম: