আয়ন বিম স্পুটার সোর্স গ্রিড

একটি আয়ন মরীচি উত্স হল একটি প্লাজমা উত্স যা একটি গ্রিডের সাথে লাগানো এবং আয়ন নিষ্কাশন করতে সক্ষম। OIPT (অক্সফোর্ড ইন্সট্রুমেন্টস প্লাজমা টেকনোলজি) আয়ন বিমের উৎস তিনটি প্রধান উপাদান নিয়ে গঠিত: একটি ডিসচার্জ চেম্বার, একটি গ্রিড এবং একটি নিউট্রালাইজার।

আয়ন বিম স্পটার সোর্সস গ্রিডের কাজ করার স্কিম্যাটিক ডায়াগ্রাম

● স্রাব চেম্বারএকটি কোয়ার্টজ বা অ্যালুমিনিয়াম চেম্বার যা একটি রেডিও-ফ্রিকোয়েন্সি অ্যান্টেনা দ্বারা বেষ্টিত। এর প্রভাব হ'ল প্লাজমা উত্পাদন করে একটি রেডিও-ফ্রিকোয়েন্সি ক্ষেত্রের মাধ্যমে গ্যাস (সাধারণত আর্গন) আয়নাইজ করা। রেডিও-ফ্রিকোয়েন্সি ক্ষেত্রটি নিখরচায় ইলেক্ট্রনগুলিকে উত্তেজিত করে, যার ফলে গ্যাসের পরমাণুগুলি আয়ন এবং ইলেক্ট্রনগুলিতে বিভক্ত হয়, যার ফলে প্লাজমা উত্পাদন হয়। স্রাব চেম্বারে আরএফ অ্যান্টেনার শেষের ভোল্টেজের সমাপ্তি খুব বেশি, যা আয়নগুলিতে একটি বৈদ্যুতিন প্রভাব ফেলে, যা তাদের উচ্চ শক্তি আয়ন করে তোলে।

গ্রিডের ভূমিকাআয়ন উত্সে আয়নগুলি বিচ্ছিন্ন করা এবং প্রয়োজনীয় শক্তিতে তাদের ত্বরান্বিত করা। ওআইপিটি আয়ন বিম উত্সের গ্রিডটি একটি নির্দিষ্ট লেআউট প্যাটার্ন সহ 2 ~ 3 গ্রিডের সমন্বয়ে গঠিত, যা প্রশস্ত আয়ন মরীচি তৈরি করতে পারে। গ্রিডের নকশার বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে রয়েছে ব্যবধান এবং বক্রতা, যা আয়নগুলির শক্তি নিয়ন্ত্রণ করতে অ্যাপ্লিকেশন প্রয়োজনীয়তা অনুসারে সামঞ্জস্য করা যেতে পারে।

● একটি নিউট্রালাইজারআয়ন বিমের আয়নিক চার্জকে নিরপেক্ষ করতে, আয়ন মরীচিটির বিচ্যুতি হ্রাস করতে এবং চিপ বা স্পটারিং টার্গেটের পৃষ্ঠে চার্জিং প্রতিরোধ করতে ব্যবহৃত একটি বৈদ্যুতিন উত্স। কাঙ্ক্ষিত ফলাফলের জন্য বিভিন্ন পরামিতিগুলিকে ভারসাম্য বজায় রাখতে নিউট্রালাইজার এবং অন্যান্য পরামিতিগুলির মধ্যে মিথস্ক্রিয়াটিকে অনুকূল করুন। আয়ন বিমের বিচ্যুতি গ্যাস ছড়িয়ে পড়া এবং বিভিন্ন ভোল্টেজ এবং বর্তমান পরামিতি সহ বেশ কয়েকটি পরামিতি দ্বারা প্রভাবিত হয়।

কোয়ার্টজ চেম্বারে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক স্ক্রিন স্থাপন এবং তিন-গ্রিড কাঠামো গ্রহণ করে OIPT আয়ন বিম উত্সের প্রক্রিয়া উন্নত করা হয়। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক স্ক্রিন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্রকে আয়ন উত্সে প্রবেশ করতে বাধা দেয় এবং কার্যকরভাবে অভ্যন্তরীণ পরিবাহী স্তরের জমাকে বাধা দেয়। থ্রি-গ্রিডের কাঠামোর মধ্যে রয়েছে শিল্ডিং গ্রিড, অ্যাক্সিলারেটিং গ্রিড এবং ডিসেলারেটিং গ্রিড, যা শক্তিকে সুনির্দিষ্টভাবে সংজ্ঞায়িত করতে পারে এবং আয়নগুলির সংমিশ্রণ এবং দক্ষতা উন্নত করতে আয়নগুলিকে চালিত করতে পারে।.

চিত্র 1। বিম ভোল্টেজের উত্সের ভিতরে প্লাজমা

চিত্র 2। বিম ভোল্টেজের মধ্যে প্লাজমা ভিতরে উত্স

চিত্র 3। আয়ন বিম এচিং এবং ডিপোজিশন সিস্টেমের স্কিম্যাটিক ডায়াগ্রাম

এচিং কৌশলগুলি প্রাথমিকভাবে দুটি বিভাগে পড়ে:

● জড় গ্যাসের সাথে আয়ন বিম এচিং (IBE): এই পদ্ধতিতে এটচিংয়ের জন্য আরগন, জেনন, নিওন বা ক্রিপটনের মতো জড় গ্যাস ব্যবহার করা জড়িত। আইবিই শারীরিক এচিং সরবরাহ করে এবং সোনার, প্ল্যাটিনাম এবং প্যালাডিয়ামের মতো ধাতুগুলির প্রক্রিয়াজাতকরণের অনুমতি দেয় যা সাধারণত প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন এচিংয়ের জন্য অনুপযুক্ত। মাল্টিলেয়ার উপকরণগুলির জন্য, আইবিই এর সরলতা এবং দক্ষতার কারণে পছন্দসই পদ্ধতি, যেমন চৌম্বকীয় এলোমেলো অ্যাক্সেস মেমরি (এমআরএএম) এর মতো ডিভাইসগুলির উত্পাদনে দেখা যায়।

● প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন বিম এচিং (রিবে): RIBE আর্গনের মতো নিষ্ক্রিয় গ্যাসের জন্য SF6, CHF3, CF4, O2 বা Cl2 এর মতো রাসায়নিক প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস যোগ করে। এই কৌশলটি রাসায়নিক বিক্রিয়া প্রবর্তনের মাধ্যমে এচিং হার এবং উপাদান নির্বাচনীতা বাড়ায়। RIBE হয় এচিং উৎসের মাধ্যমে বা সাবস্ট্রেট প্ল্যাটফর্মে চিপের চারপাশের পরিবেশের মাধ্যমে প্রবর্তন করা যেতে পারে। পরবর্তী পদ্ধতি, যা কেমিক্যাল অ্যাসিস্টেড আয়ন বিম এচিং (CAIBE) নামে পরিচিত, উচ্চতর দক্ষতা প্রদান করে এবং নিয়ন্ত্রিত এচিং বৈশিষ্ট্যের জন্য অনুমতি দেয়।

আয়ন বিম এচিং উপাদান প্রক্রিয়াকরণের ক্ষেত্রে বিভিন্ন সুবিধা প্রদান করে। এটি বৈচিত্র্যময় উপকরণ খোদাই করার ক্ষমতায় উৎকৃষ্ট, এমনকি প্লাজমা এচিং কৌশলগুলির জন্য ঐতিহ্যগতভাবে চ্যালেঞ্জের ক্ষেত্রেও প্রসারিত। তদ্ব্যতীত, পদ্ধতিটি নমুনা টিল্টিংয়ের মাধ্যমে সাইডওয়াল প্রোফাইলের আকার দেওয়ার অনুমতি দেয়, এচিং প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা বাড়ায়। রাসায়নিক প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি প্রবর্তন করে, আয়ন বিম এচিং উল্লেখযোগ্যভাবে এচের হারকে বাড়িয়ে তুলতে পারে, যা উপাদান অপসারণ ত্বরান্বিত করার একটি উপায় প্রদান করে। 

প্রযুক্তিটি আয়ন বিম কারেন্ট এবং শক্তির মতো গুরুত্বপূর্ণ পরামিতিগুলির উপর স্বাধীন নিয়ন্ত্রণও দেয়, যা উপযোগী এবং সুনির্দিষ্ট এচিং প্রক্রিয়াগুলিকে সহজতর করে। উল্লেখযোগ্যভাবে, আয়ন বিম এচিং ব্যতিক্রমী কর্মক্ষম পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিয়ে গর্ব করে, সুসংগত এবং নির্ভরযোগ্য ফলাফল নিশ্চিত করে। উপরন্তু, এটি অসাধারণ এচ অভিন্নতা প্রদর্শন করে, যা পৃষ্ঠতল জুড়ে সামঞ্জস্যপূর্ণ উপাদান অপসারণ অর্জনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ। এর বিস্তৃত প্রক্রিয়া নমনীয়তার সাথে, আয়ন বিম এচিং উপাদান তৈরি এবং মাইক্রোফ্যাব্রিকেশন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে একটি বহুমুখী এবং শক্তিশালী হাতিয়ার হিসাবে দাঁড়িয়েছে।

কেন ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর গ্রাফাইট উপাদান আয়ন বিম গ্রিড তৈরির জন্য উপযুক্ত?

● পরিবাহিতা: গ্রাফাইট দুর্দান্ত পরিবাহিতা প্রদর্শন করে, যা আয়ন বিম গ্রিডগুলির জন্য ত্বরণ বা হ্রাসের জন্য কার্যকরভাবে আয়ন বিমগুলিকে গাইড করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

● রাসায়নিক স্থিতিশীলতা: গ্রাফাইট রাসায়নিকভাবে স্থিতিশীল, রাসায়নিক ক্ষয় এবং ক্ষয় প্রতিরোধ করতে সক্ষম, এইভাবে কাঠামোগত অখণ্ডতা এবং কর্মক্ষমতা স্থিতিশীলতা বজায় রাখে।

● যান্ত্রিক শক্তি: গ্রাফাইটে আয়ন বিম ত্বরণের সময় উত্থাপিত হতে পারে এমন শক্তি এবং চাপগুলি সহ্য করার জন্য পর্যাপ্ত যান্ত্রিক শক্তি এবং স্থিতিশীলতা রয়েছে।

● তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা: গ্রাফাইট উচ্চ তাপমাত্রায় ভাল স্থিতিশীলতা প্রদর্শন করে, এটি ব্যর্থতা বা বিকৃতি ছাড়াই আয়ন মরীচি সরঞ্জামের মধ্যে উচ্চ-তাপমাত্রা পরিবেশকে প্রতিরোধ করতে সক্ষম করে।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর আয়ন বিম স্পুটার উৎস গ্রিড পণ্য: