খবর
পণ্য

সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রে টিএসি প্রলিপ্ত অংশগুলির নির্দিষ্ট প্রয়োগ কী?

Vetek Tantalum carbide coating parts



ট্যান্টালাম কার্বাইড (টিএসি) লেপের শারীরিক বৈশিষ্ট্য



টিএসি লেপের শারীরিক বৈশিষ্ট্য
ট্যান্টালাম কার্বাইড (টিএসি) লেপ ঘনত্ব
14.3 (জি/সেমি)
নির্দিষ্ট এমিসিভিটি
0.3
তাপীয় প্রসারণ সহগ
6.3x10-6/কে
টিএসি লেপ কঠোরতা (এইচকে)
2000 এইচকে
প্রতিরোধ
1 × 10-5ওহম*সেমি
তাপ স্থায়িত্ব
<2500 ℃
গ্রাফাইট আকার পরিবর্তন
-10 ~ -20um
লেপ বেধ
M20um টিপিকাল মান (35 এম ± 10 এম)


সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রে ট্যান্টালাম কার্বাইড (টিএসি) লেপ প্রয়োগ


1। এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথ চুল্লি উপাদানগুলি

টিএসি লেপ গ্যালিয়াম নাইট্রাইড (গাএন) এপিট্যাক্সিয়াল এবং সিলিকন কার্বাইড (এসআইসি) এপিট্যাক্সিয়াল সহ রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি) চুল্লি উপাদানগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, সহ, সহ,ওয়েফার ক্যারিয়ার, স্যাটেলাইট থালা বাসন, অগ্রভাগ এবং সেন্সর। এই উপাদানগুলির জন্য উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশে অত্যন্ত উচ্চ স্থায়িত্ব এবং স্থিতিশীলতা প্রয়োজন। টিএসি লেপ কার্যকরভাবে তাদের পরিষেবা জীবনকে প্রসারিত করতে এবং ফলন উন্নত করতে পারে।


2। একক স্ফটিক বৃদ্ধি উপাদান

এসআইসি, গাএন এবং অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (এআইএন) এর মতো উপকরণগুলির একক স্ফটিক বৃদ্ধির প্রক্রিয়াতে,টিএসি লেপক্রুশিবল, বীজ স্ফটিকধারী, গাইড রিং এবং ফিল্টারগুলির মতো মূল উপাদানগুলিতে প্রয়োগ করা হয়। টিএসি লেপযুক্ত গ্রাফাইট উপকরণগুলি অপরিষ্কার স্থানান্তর হ্রাস করতে পারে, স্ফটিকের গুণমান উন্নত করতে পারে এবং ত্রুটি ঘনত্ব হ্রাস করতে পারে।


3। উচ্চ তাপমাত্রা শিল্প উপাদান

টিএসি লেপ উচ্চ তাপমাত্রা শিল্প অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে যেমন প্রতিরোধী হিটিং উপাদান, ইনজেকশন অগ্রভাগ, শিল্ডিং রিং এবং ব্রেজিং ফিক্সচারগুলিতে ব্যবহার করা যেতে পারে। এই উপাদানগুলিকে উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশে ভাল পারফরম্যান্স বজায় রাখা দরকার এবং টিএসি এর তাপ প্রতিরোধ এবং জারা প্রতিরোধের এটিকে একটি আদর্শ পছন্দ করে তোলে।


4। এমওসিভিডি সিস্টেমে হিটার

টিএসি-প্রলিপ্ত গ্রাফাইট হিটারগুলি সফলভাবে ধাতব জৈব রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (এমওসিভিডি) সিস্টেমে প্রবর্তিত হয়েছে। Traditional তিহ্যবাহী পিবিএন-প্রলিপ্ত হিটারের সাথে তুলনা করে, টিএসি হিটারগুলি আরও ভাল দক্ষতা এবং অভিন্নতা সরবরাহ করতে পারে, বিদ্যুতের খরচ হ্রাস করতে পারে এবং পৃষ্ঠের নির্গমন হ্রাস করতে পারে, যার ফলে অখণ্ডতা উন্নত হয়।


5। ওয়েফার ক্যারিয়ার

টিএসি-প্রলিপ্ত ওয়েফার ক্যারিয়ারগুলি তৃতীয় প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর উপকরণ যেমন এসআইসি, আইন এবং গ্যানের প্রস্তুতিতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। অধ্যয়নগুলি দেখিয়েছে যে এর জারা হারটিএসি আবরণউচ্চ-তাপমাত্রায় অ্যামোনিয়া এবং হাইড্রোজেন পরিবেশের তুলনায় অনেক কমSic আবরণ, যা এটি দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারে আরও ভাল স্থায়িত্ব এবং স্থায়িত্ব দেখায়।

সম্পর্কিত খবর
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept