অক্সিডেশন এবং ডিফিউশন ফার্নেস

অক্সিডেশন এবং ডিফিউশন ফার্নেসগুলি বিভিন্ন ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয় যেমন সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস, বিচ্ছিন্ন ডিভাইস, অপটোইলেক্ট্রনিক ডিভাইস, পাওয়ার ইলেকট্রনিক ডিভাইস, সোলার সেল এবং বড় আকারের ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদন। এগুলি প্রসারণ, অক্সিডেশন, অ্যানিলিং, অ্যালোয়িং এবং ওয়েফারগুলির সিন্টারিং সহ প্রক্রিয়াগুলির জন্য ব্যবহার করা হয়।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল একটি নেতৃস্থানীয় প্রস্তুতকারক যারা উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড এবং অক্সিডেশন এবং ডিফিউশন ফার্নেসগুলিতে কোয়ার্টজ উপাদানগুলির উৎপাদনে বিশেষজ্ঞ। আমরা সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক শিল্পের জন্য উচ্চ-মানের চুল্লি উপাদান সরবরাহ করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ, এবং CVD-SiC, CVD-TaC, পাইরোকার্বন ইত্যাদির মতো পৃষ্ঠের আবরণ প্রযুক্তির অগ্রভাগে আছি।

VeTek সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন কার্বাইড উপাদানগুলির সুবিধা:

উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের (1600 ℃ পর্যন্ত)

চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এবং তাপীয় স্থিতিশীলতা

ভাল রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের

তাপ সম্প্রসারণের নিম্ন সহগ

উচ্চ শক্তি এবং কঠোরতা

দীর্ঘ সেবা জীবন

অক্সিডেশন এবং ডিফিউশন ফার্নেসগুলিতে, উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী গ্যাসের উপস্থিতির কারণে, অনেক উপাদানগুলির জন্য উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়-প্রতিরোধী উপকরণ ব্যবহার করা প্রয়োজন, যার মধ্যে সিলিকন কার্বাইড (SiC) একটি সাধারণভাবে ব্যবহৃত পছন্দ। অক্সিডেশন ফার্নেস এবং ডিফিউশন ফার্নেসগুলিতে পাওয়া সাধারণ সিলিকন কার্বাইড উপাদানগুলি নিম্নরূপ:

ওয়েফার বোট

সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোট হল একটি ধারক যা সিলিকন ওয়েফার বহন করতে ব্যবহৃত হয়, যা উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে এবং সিলিকন ওয়েফারের সাথে প্রতিক্রিয়া করবে না।

ফার্নেস টিউব

ফার্নেস টিউব হল ডিফিউশন ফার্নেসের মূল উপাদান, যা সিলিকন ওয়েফারগুলিকে মিটমাট করতে এবং প্রতিক্রিয়া পরিবেশকে নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়। সিলিকন কার্বাইড ফার্নেস টিউবগুলির চমৎকার উচ্চ-তাপমাত্রা এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে।

বাফেল প্লেট

চুল্লির ভিতরে বায়ুপ্রবাহ এবং তাপমাত্রা বন্টন নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়

থার্মোকল সুরক্ষা টিউব

ক্ষয়কারী গ্যাসের সাথে সরাসরি যোগাযোগ থেকে তাপমাত্রা পরিমাপকারী থার্মোকলগুলিকে রক্ষা করতে ব্যবহৃত হয়।

ক্যান্টিলিভার প্যাডেল

সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয় প্রতিরোধী, এবং সিলিকন বোট বা কোয়ার্টজ বোট যা সিলিকন ওয়েফার বহনকারী ডিফিউশন ফার্নেস টিউবে পরিবহন করতে ব্যবহৃত হয়।

গ্যাস ইনজেক্টর

চুল্লিতে প্রতিক্রিয়া গ্যাস প্রবর্তন করতে ব্যবহৃত হয়, এটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয় প্রতিরোধী হতে হবে।

নৌকা বাহক

সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোট ক্যারিয়ার সিলিকন ওয়েফারগুলিকে ঠিক করতে এবং সমর্থন করতে ব্যবহার করা হয়, যার উচ্চ শক্তি, জারা প্রতিরোধের এবং ভাল কাঠামোগত স্থিতিশীলতার মতো সুবিধা রয়েছে।

চুল্লি দরজা

সিলিকন কার্বাইড আবরণ বা উপাদানগুলি চুল্লির দরজার ভিতরেও ব্যবহার করা যেতে পারে।

গরম করার উপাদান

সিলিকন কার্বাইড গরম করার উপাদানগুলি উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ শক্তির জন্য উপযুক্ত এবং দ্রুত তাপমাত্রা 1000 ℃ পর্যন্ত বাড়াতে পারে।

SiC লাইনার

ফার্নেস টিউবের অভ্যন্তরীণ প্রাচীর রক্ষা করতে ব্যবহৃত, এটি তাপ শক্তির ক্ষতি কমাতে এবং উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ চাপের মতো কঠোর পরিবেশ সহ্য করতে সহায়তা করতে পারে।