পণ্য
পণ্য

সলিড সিলিকন কার্বাইড

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর সলিড সিলিকন কার্বাইড প্লাজমা এচিং সরঞ্জাম, সলিড সিলিকন কার্বাইড (সলিড সিলিকন কার্বাইড (একটি গুরুত্বপূর্ণ সিরামিক উপাদান (সিভিডি সিলিকন কার্বাইড) এচিং সরঞ্জামের অংশগুলি অন্তর্ভুক্তফোকাসিং রিং, গ্যাস শাওয়ারহেড, ট্রে, প্রান্তের রিং ইত্যাদির কারণে সলিড সিলিকন কার্বাইড (সিভিডি সিলিকন কার্বাইড) এর ক্লোরিন - এবং ফ্লুরিনযুক্ত ইচিং গ্যাসগুলির পরিবাহিতা কম, এটি প্লাজমা এচিং সরঞ্জামগুলির জন্য রিং এবং অন্যান্য উপাদানগুলির জন্য একটি আদর্শ উপাদান।


উদাহরণস্বরূপ, ফোকাস রিংটি ওয়েফারের বাইরে এবং ওয়েফারের সাথে সরাসরি যোগাযোগের একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশ যা রিংয়ের মধ্য দিয়ে যাওয়া প্লাজমা ফোকাস করার জন্য রিংটিতে একটি ভোল্টেজ প্রয়োগ করে, যার ফলে প্রক্রিয়াজাতকরণের অভিন্নতা উন্নত করতে ওয়েফারে প্লাজমা ফোকাস করে। Traditional তিহ্যবাহী ফোকাস রিংটি সিলিকন বা দিয়ে তৈরিকোয়ার্টজ, কন্ডাকটিভ সিলিকন একটি সাধারণ ফোকাস রিং উপাদান হিসাবে, এটি সিলিকন ওয়েফারগুলির পরিবাহিতা প্রায় কাছাকাছি, তবে ঘাটতি হ'ল ফ্লুরিনযুক্ত প্লাজমা, এচিং মেশিন পার্টস উপকরণগুলিতে প্রায়শই সময়কালের জন্য ব্যবহৃত হয়, গুরুতর জারা ঘটনা ঘটবে, এর উত্পাদন দক্ষতা মারাত্মকভাবে হ্রাস করবে।


Sঅলিড সিক ফোকাস রিংকাজের নীতি

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


এসআই ভিত্তিক ফোকাসিং রিং এবং সিভিডি এসআইসি ফোকাসিং রিং : এর তুলনা

এসআই ভিত্তিক ফোকাসিং রিং এবং সিভিডি এসআইসি ফোকাসিং রিংয়ের তুলনা
আইটেম এবং সিভিডি সিক
ঘনত্ব (জি/সেমি3) 2.33 3.21
ব্যান্ড গ্যাপ (ইভ) 1.12 2.3
তাপ পরিবাহিতা (ডাব্লু/সেমি ℃) 1.5 5
সিটিই (এক্স 10-6/℃) 2.6 4
ইলাস্টিক মডুলাস (জিপিএ) 150 440
কঠোরতা (জিপিএ) 11.4 24.5
পরিধান এবং জারা প্রতিরোধ দরিদ্র দুর্দান্ত


ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর উন্নত সলিড সিলিকন কার্বাইড (সিভিডি সিলিকন কার্বাইড) অংশগুলি সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলির জন্য এসআইসি ফোকাসিং রিংগুলির মতো অংশগুলি সরবরাহ করে। আমাদের শক্ত সিলিকন কার্বাইড ফোকাসিং রিংগুলি যান্ত্রিক শক্তি, রাসায়নিক প্রতিরোধের, তাপ পরিবাহিতা, উচ্চ-তাপমাত্রার স্থায়িত্ব এবং আয়ন এচিং প্রতিরোধের ক্ষেত্রে traditional তিহ্যবাহী সিলিকনকে ছাড়িয়ে যায়।


আমাদের এসআইসি ফোকাসিং রিংগুলির মূল বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে রয়েছে:

হ্রাস এচিং হারের জন্য উচ্চ ঘনত্ব।

একটি উচ্চ ব্যান্ডগ্যাপ সহ দুর্দান্ত নিরোধক।

উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং তাপীয় প্রসারণের কম সহগ।

উচ্চতর যান্ত্রিক প্রভাব প্রতিরোধ এবং স্থিতিস্থাপকতা।

উচ্চ কঠোরতা, পরিধান প্রতিরোধ এবং জারা প্রতিরোধের।

ব্যবহার করে উত্পাদিতপ্লাজমা-বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জবানবন্দি (পিইসিভিডি)কৌশলগুলি, আমাদের এসআইসি ফোকাসিং রিংগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনতে এচিং প্রক্রিয়াগুলির ক্রমবর্ধমান চাহিদা পূরণ করে। এগুলি উচ্চতর প্লাজমা শক্তি এবং শক্তি সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, বিশেষত এতেক্যাপাসিটিভলি কাপলড প্লাজমা (সিসিপি)সিস্টেম।

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের এসআইসি ফোকাসিং রিংগুলি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস উত্পাদনতে ব্যতিক্রমী কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্যতা সরবরাহ করে। উচ্চতর গুণমান এবং দক্ষতার জন্য আমাদের এসআইসি উপাদানগুলি চয়ন করুন।


View as  
 
সলিড সিক গ্যাস ঝরনা মাথা

সলিড সিক গ্যাস ঝরনা মাথা

সলিড এসআইসি গ্যাস ঝরনা মাথা সিভিডি প্রক্রিয়াতে গ্যাসের ইউনিফর্ম তৈরি করতে প্রধান ভূমিকা পালন করে, যার ফলে স্তরটির অভিন্ন উত্তাপ নিশ্চিত করে। ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর বহু বছর ধরে সলিড এসআইসি ডিভাইসের ক্ষেত্রে গভীরভাবে জড়িত ছিলেন এবং গ্রাহকদের কাস্টমাইজড সিসি গ্যাস ঝরনা মাথা সরবরাহ করতে সক্ষম। আপনার প্রয়োজনীয়তা কী তা বিবেচনা না করেই আমরা আপনার তদন্তের অপেক্ষায় রয়েছি।
রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন প্রক্রিয়া সলিড সিক এজ রিং

রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন প্রক্রিয়া সলিড সিক এজ রিং

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর সর্বদা উন্নত সেমিকন্ডাক্টর উপকরণগুলির গবেষণা এবং উন্নয়ন ও উত্পাদন সম্পর্কে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ ছিল। আজ, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন প্রসেস সলিড সিক এজ রিং পণ্যগুলিতে দুর্দান্ত অগ্রগতি করেছে এবং গ্রাহকদের উচ্চ কাস্টমাইজড সলিড সিক এজ রিংগুলি সরবরাহ করতে সক্ষম। সলিড এসআইসি প্রান্তের রিংগুলি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক দিয়ে ব্যবহার করার সময় আরও ভাল এচিং অভিন্নতা এবং সুনির্দিষ্ট ওয়েফার পজিশনিং সরবরাহ করে, ধারাবাহিক এবং নির্ভরযোগ্য এচিংয়ের ফলাফল নিশ্চিত করে। আপনার তদন্তের অপেক্ষায় এবং একে অপরের দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার অপেক্ষায়।
সলিড সিক এচিং ফোকাসিং রিং

সলিড সিক এচিং ফোকাসিং রিং

সলিড এসআইসি এচিং ফোকাসিং রিং হ'ল ওয়েফার এচিং প্রক্রিয়াটির অন্যতম মূল উপাদান, যা ওয়েফার ফিক্সিং, প্লাজমা ফোকাস করা এবং ওয়েফার এচিং ইউনিফর্মিটি উন্নত করার ক্ষেত্রে ভূমিকা পালন করে। চীনের শীর্ষস্থানীয় এসআইসি ফোকাসিং রিং প্রস্তুতকারক হিসাবে, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের উন্নত প্রযুক্তি এবং পরিপক্ক প্রক্রিয়া রয়েছে এবং গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা অনুসারে শেষ গ্রাহকদের প্রয়োজনীয়তা পুরোপুরি পূরণ করে এমন শক্ত এসআইসি এচিং ফোকাসিং রিং উত্পাদন করে। আমরা আপনার তদন্তের প্রত্যাশায় এবং একে অপরের দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার অপেক্ষায় রয়েছি।

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


চীনে একজন পেশাদার সলিড সিলিকন কার্বাইড প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে, আমাদের নিজস্ব কারখানা রয়েছে। আপনার অঞ্চলের নির্দিষ্ট চাহিদা পূরণের জন্য আপনার কাস্টমাইজড পরিষেবাদিগুলির প্রয়োজন বা চীনে তৈরি উন্নত এবং টেকসই সলিড সিলিকন কার্বাইড কিনতে চান, আপনি আমাদের একটি বার্তা রাখতে পারেন।
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept