সলিড সিলিকন কার্বাইড

VeTek সেমিকন্ডাক্টর সলিড সিলিকন কার্বাইড হল প্লাজমা এচিং সরঞ্জামের একটি গুরুত্বপূর্ণ সিরামিক উপাদান, কঠিন সিলিকন কার্বাইড(সিভিডি সিলিকন কার্বাইড) নকশিকাঁথা যন্ত্রপাতি অংশ অন্তর্ভুক্তফোকাসিং রিং, গ্যাস শাওয়ারহেড, ট্রে, এজ রিং ইত্যাদি। ক্লোরিন-এবং ফ্লোরিন-যুক্ত এচিং গ্যাসের প্রতি কঠিন সিলিকন কার্বাইড (সিভিডি সিলিকন কার্বাইড) এর কম প্রতিক্রিয়াশীলতা এবং পরিবাহিতা হওয়ার কারণে, এটি প্লাজমা এচিং সরঞ্জাম ফোকাসিং রিং এবং অন্যান্যগুলির জন্য একটি আদর্শ উপাদান। উপাদান

উদাহরণস্বরূপ, ফোকাস রিং হল একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশ যা ওয়েফারের বাইরে এবং ওয়েফারের সাথে সরাসরি সংস্পর্শে রাখা হয়, রিংয়ের মধ্য দিয়ে যাওয়া প্লাজমাকে ফোকাস করার জন্য রিংটিতে একটি ভোল্টেজ প্রয়োগ করে, যার ফলে ওয়েফারের উপর প্লাজমা ফোকাস করে এর অভিন্নতা উন্নত করা যায়। প্রক্রিয়াকরণ ঐতিহ্যগত ফোকাস রিং সিলিকন বা তৈরি করা হয়কোয়ার্টজ, একটি সাধারণ ফোকাস রিং উপাদান হিসাবে পরিবাহী সিলিকন, এটি প্রায় সিলিকন ওয়েফারের পরিবাহিতা কাছাকাছি, কিন্তু ঘাটতি হল দরিদ্র এচিং প্রতিরোধের ফ্লোরিন-ধারণকারী প্লাজমা, এচিং মেশিন যন্ত্রাংশ উপকরণ প্রায়ই একটি সময়ের জন্য ব্যবহৃত হয়, গুরুতর হবে জারা প্রপঞ্চ, গুরুতরভাবে তার উত্পাদন দক্ষতা হ্রাস.

Solid SiC ফোকাস রিংকাজের নীতি：

এবং ভিত্তিক ফোকাসিং রিং এবং CVD SiC ফোকাসিং রিং-এর তুলনা: