TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ওয়েফার কভার রিং

মূল প্রযুক্তিগত সুবিধা

• ব্যতিক্রমী রাসায়নিক প্রতিরোধের: 1200°C এবং 2000°C এর মধ্যে তাপমাত্রায় কঠোর এচিং গ্যাস (H₂, NH₃, HCl) সহ্য করার জন্য প্রকৌশলী৷

• তাপ সম্প্রসারণ ম্যাচিং: আমাদের মালিকানাধীন CVD প্রক্রিয়া নিশ্চিত করে যে TaC আবরণের একটি অপ্টিমাইজড CTE (তাপীয় সম্প্রসারণের সহগ) গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের সাথে মিল রয়েছে, দ্রুত তাপ সাইক্লিংয়ের সময় পিলিং বা ক্র্যাকিং প্রতিরোধ করে।

• সুপিরিয়র পার্টিকেল কন্ট্রোল: ছিদ্রযুক্ত গ্রাফাইটকে সম্পূর্ণরূপে সিল করে, TaC স্তর কণা ঝরানো দূর করে, সরাসরি আপনার ওয়েফারের ফলন বাড়ায় এবং চুল্লির ডাউনটাইম হ্রাস করে।

• বর্ধিত সেবা জীবন: উচ্চ পরিধান-প্রতিরোধী পৃষ্ঠ যা বারবার পরিষ্কারের চক্র সহ্য করে, আনকোটেড বা SiC-কোটেড বিকল্পগুলির তুলনায় মালিকানার উল্লেখযোগ্যভাবে কম খরচ (CoO) প্রদান করে।

একটি মাইক্রোস্কোপিক ক্রস-সেকশনে ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ

TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ওয়েফার কভার রিংয়ের পণ্যের প্যারামিটার

কেন আমাদের TaC কভার রিং চয়ন করুন?

আমরা বুঝতে পারি যে সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে, নির্ভরযোগ্যতা লাভের সমান। আমাদের TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ওয়েফার কভার রিংগুলি লেপের ঘনত্ব এবং বিশুদ্ধতার জন্য ব্যাচ-পরীক্ষিত। আপনি 6-ইঞ্চি থেকে 8-ইঞ্চি ওয়েফার উৎপাদনে রূপান্তরিত হচ্ছেন বা উচ্চ-তাপমাত্রার MOCVD প্রক্রিয়াটি অপ্টিমাইজ করছেন, আমাদের রিংগুলি বিশ্ব-মানের এপিটাক্সির জন্য প্রয়োজনীয় তাপ এবং রাসায়নিক সুরক্ষা প্রদান করে।