পণ্য
পণ্য
টিএসি লেপ রিং
  • টিএসি লেপ রিংটিএসি লেপ রিং

টিএসি লেপ রিং

TaC আবরণ রিং হল একটি উচ্চ-পারফরম্যান্স উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, VeTek সেমিকন্ডাক্টর TaC লেপ রিং-এর উচ্চ তাপীয় স্থায়িত্ব, রাসায়নিক ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং চমৎকার যান্ত্রিক শক্তি রয়েছে এবং বিশেষভাবে এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন SiC ওয়েফারগুলিকে ধরে রাখতে এবং সমর্থন করতে ব্যবহৃত হয়, যেখানে উচ্চ-মানের ওয়েফার অর্জনের জন্য সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ এবং স্থায়িত্ব অপরিহার্য। আমরা আপনার আরও পরামর্শের জন্য উন্মুখ।

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টরের টিএসি লেপ রিংটি উচ্চমানের গ্রাফাইট থেকে তৈরি করা হয় এবং ট্যানটালাম কার্বাইড (টিএসি) দিয়ে লেপযুক্ত, এটি তার উচ্চতর বৈশিষ্ট্যের জন্য পরিচিত একটি উপাদান, এটি অর্ধপরিবাহী ওয়েফার প্রসেসিংয়ের একটি অপরিহার্য উপাদান।


ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর টিএসি লেপ রিংয়ের মূল বৈশিষ্ট্য এবং সুবিধাগুলি:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

● উচ্চ তাপীয় স্থায়িত্ব: ট্যানটালাম কার্বাইড লেপ রিং এর স্ট্যান্ডআউট বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে একটি হল উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করার ক্ষমতা, যা সেমিকন্ডাক্টর এচিং এর একটি গুরুত্বপূর্ণ কারণ। SiC এচিং প্রক্রিয়াটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের সংস্পর্শে জড়িত, এবং ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ নিশ্চিত করে যে রিংটি স্থিতিশীল থাকে এবং এই কঠোর পরিস্থিতিতেও এর কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখে। এই তাপ স্থিতিস্থাপকতা নিশ্চিত করে যে উপাদানটি বর্ধিত সময়ের মধ্যে সর্বোত্তমভাবে কাজ করতে থাকে।


●  উন্নত যান্ত্রিক শক্তি: উচ্চ-শক্তির গ্রাফাইট এবং TaC আবরণের সংমিশ্রণের ফলে উন্নত যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য সহ একটি উপাদান তৈরি হয়, যা TaC প্রলিপ্ত রিংকে পরিধান এবং ছিঁড়ে যাওয়ার জন্য অত্যন্ত প্রতিরোধী করে তোলে। এর যান্ত্রিক শক্তি SiC ওয়েফারগুলিকে দৃঢ়ভাবে ধরে রাখতে, সঠিক খোঁচা নিশ্চিত করতে এবং প্রক্রিয়া চলাকালীন কোনও বিকৃতি রোধ করতে গুরুত্বপূর্ণ।


● রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের: সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ায় যেমন SiC এচিং, উপাদানগুলি প্রায়শই আক্রমণাত্মক রাসায়নিক এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের সংস্পর্শে আসে। ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ ক্ষয়ের বিরুদ্ধে চমৎকার সুরক্ষা প্রদান করে, উল্লেখযোগ্যভাবে রিংয়ের দরকারী জীবনকে প্রসারিত করে এবং ঘন ঘন প্রতিস্থাপনের প্রয়োজনীয়তা হ্রাস করে। এচিং প্রক্রিয়ায় এই প্রতিরোধ বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ, যেখানে উপাদানগুলি রাসায়নিকভাবে প্রতিক্রিয়াশীল পদার্থের সাথে ক্রমাগত যোগাযোগে থাকে।


Carry গ্রাফাইট রিংয়ে ট্যান্টালাম কার্বাইড লেপ একটি শক্তিশালী পৃষ্ঠ সরবরাহ করে যা উপাদানটির সামগ্রিক কর্মক্ষমতা বাড়ায়। ট্যানটালাম কার্বাইড তার উচ্চ গলনাঙ্ক (প্রায় 3,880 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড) এবং রাসায়নিক বিক্রিয়াগুলির প্রতি এর দুর্দান্ত প্রতিরোধের জন্য বিশেষভাবে আগ্রাসী পরিবেশগুলিতে সাধারণত অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন আগ্রাসী পরিবেশে খ্যাতিমান। এই ট্যানটালাম কার্বাইড লেপটি পণ্যটির জীবনকালকে উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করে, আনকোটেড গ্রাফাইট রিংগুলির তুলনায় উচ্চতর স্থায়িত্ব সরবরাহ করে।


●  উন্নত যান্ত্রিক শক্তি: উচ্চ-শক্তির গ্রাফাইট এবং TaC আবরণের সংমিশ্রণের ফলে উন্নত যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য সহ একটি উপাদান তৈরি হয়, যা TaC প্রলিপ্ত রিংকে পরিধান এবং ছিঁড়ে যাওয়ার জন্য অত্যন্ত প্রতিরোধী করে তোলে। এর যান্ত্রিক শক্তি SiC ওয়েফারগুলিকে দৃঢ়ভাবে ধরে রাখতে, সঠিক খোঁচা নিশ্চিত করতে এবং প্রক্রিয়া চলাকালীন কোনও বিকৃতি রোধ করতে গুরুত্বপূর্ণ।


চীনের একটি শীর্ষস্থানীয় TaC লেপ রিং সরবরাহকারী, প্রস্তুতকারক এবং কারখানা হিসাবে, VeTek সেমিকন্ডাক্টর দীর্ঘদিন ধরে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ শিল্পের জন্য উন্নত TaC লেপ রিং পণ্য এবং প্রযুক্তিগত সমাধান প্রদানের জন্য প্রতিশ্রুতিবদ্ধ এবং কাস্টমাইজড পণ্য পরিষেবাগুলিকে সমর্থন করে। VeTekSemi আন্তরিকভাবে চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।


টিএসি লেপের শারীরিক বৈশিষ্ট্য

টিএসি লেপের শারীরিক বৈশিষ্ট্য
টিএসি লেপ ঘনত্ব
14.3 (জি/সেমি)
নির্দিষ্ট নির্গততা
0.3
তাপ সম্প্রসারণ সহগ
6.3*10-6/কে
টিএসি লেপ কঠোরতা (এইচকে)
2000 এইচকে
প্রতিরোধ
1×10-5ওহম*সেমি
তাপ স্থায়িত্ব
<2500℃
গ্রাফাইট আকার পরিবর্তন
-10 ~ -20um
লেপ বেধ
M20um টিপিকাল মান (35 এম ± 10 এম)

VeTek সেমিকন্ডাক্টরের TaC আবরণ রিং পণ্যের দোকান

SiC Coating Graphite substrateTaC Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


হট ট্যাগ: টিএসি লেপ রিং
অনুসন্ধান পাঠান
যোগাযোগের তথ্য
  • ঠিকানা

    ওয়াংদা রোড, জিয়াং স্ট্রিট, উয়ি কাউন্টি, জিনহুয়া সিটি, ঝেজিয়াং প্রদেশ, চীন

  • টেলিফোন

    +86-18069220752

  • ই-মেইল

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
আমরা আপনাকে একটি ভাল ব্রাউজিং অভিজ্ঞতা দিতে, সাইটের ট্র্যাফিক বিশ্লেষণ করতে এবং সামগ্রী ব্যক্তিগতকৃত করতে কুকিজ ব্যবহার করি। এই সাইটটি ব্যবহার করে, আপনি আমাদের কুকিজ ব্যবহারে সম্মত হন।গোপনীয়তা নীতি