সলিড সিলিকন কার্বাইড ব্যবহার

সলিড সিলিকন কার্বাইড এসআইসি সিলিকন (এসআই) এবং কার্বন (সি) দ্বারা গঠিত একটি উন্নত সিরামিক উপাদান। এটি প্রকৃতিতে ব্যাপকভাবে পাওয়া যায় এমন কোনও পদার্থ নয় এবং সাধারণত উচ্চ-তাপমাত্রা সংশ্লেষণের প্রয়োজন হয়। শারীরিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যের এর অনন্য সংমিশ্রণ এটিকে একটি মূল উপাদান তৈরি করে যা চরম পরিবেশে বিশেষত অর্ধপরিবাহী উত্পাদন ক্ষেত্রে ভাল সম্পাদন করে।

Ⅰ। সলিড সিলিকন কার্বাইডের মূল শারীরিক বৈশিষ্ট্য (সলিড সিক)

▶ উচ্চ কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধ:

এসআইসির প্রায় 9-9.5 এর মোহস কঠোরতা রয়েছে, ডায়মন্ডের পরে দ্বিতীয়। এটি এটিকে দুর্দান্ত স্ক্র্যাচ দেয় এবং প্রতিরোধের পরিধান দেয় এবং এটি এমন পরিবেশে ভাল সম্পাদন করে যা যান্ত্রিক চাপ বা কণা ক্ষয়কে সহ্য করতে হবে।

▶ দুর্দান্ত উচ্চ-তাপমাত্রা শক্তি এবং স্থায়িত্ব

1। এসআইসি অত্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রায় তার যান্ত্রিক শক্তি এবং কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখতে পারে (প্রকার এবং বিশুদ্ধতার উপর নির্ভর করে 1600 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড বা তারও বেশি তাপমাত্রায় পরিচালিত)।

2। এর তাপীয় প্রসারণের স্বল্প সহগের অর্থ হ'ল এটির ভাল মাত্রিক স্থিতিশীলতা রয়েছে এবং তাপমাত্রা যখন মারাত্মকভাবে পরিবর্তিত হয় তখন বিকৃতি বা ক্র্যাকিংয়ের ঝুঁকিপূর্ণ নয়।

▶ উচ্চ তাপ পরিবাহিতা:

অন্যান্য অনেক সিরামিক উপকরণের বিপরীতে, এসআইসির তুলনামূলকভাবে উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা রয়েছে। এটি এটিকে দক্ষতার সাথে তাপটি পরিচালনা এবং বিলুপ্ত করতে দেয়, যা এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ যা নির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং অভিন্নতার প্রয়োজন।

উচ্চতর রাসায়নিক জড়তা এবং জারা প্রতিরোধের:

এসআইসি বেশিরভাগ শক্তিশালী অ্যাসিড, শক্তিশালী ঘাঁটি এবং ক্ষয়কারী গ্যাসগুলির জন্য অত্যন্ত শক্তিশালী প্রতিরোধের প্রদর্শন করে যা সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয় (যেমন প্লাজমা পরিবেশে ফ্লুরিন-ভিত্তিক এবং ক্লোরিন-ভিত্তিক গ্যাস) এমনকি উচ্চ তাপমাত্রায়ও। প্রক্রিয়া চেম্বারের উপাদানগুলিকে ক্ষয় বা দূষিত হতে বাধা দেওয়ার জন্য এটি গুরুত্বপূর্ণ।

High উচ্চ বিশুদ্ধতার জন্য সম্ভাবনা:

অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা এসআইসি আবরণ বা শক্ত এসআইসি অংশগুলি নির্দিষ্ট উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির মাধ্যমে উত্পাদিত হতে পারে (যেমন রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন - সিভিডি)। সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে, উপাদান বিশুদ্ধতা সরাসরি ওয়েফারের দূষণ স্তর এবং চূড়ান্ত পণ্যের ফলনকে প্রভাবিত করে।

▶ উচ্চ কঠোরতা (ইয়ংয়ের মডুলাস):

এসআইসির একটি উচ্চ যুবকের মডুলাস রয়েছে, যার অর্থ এটি খুব শক্ত এবং লোডের অধীনে বিকৃত করা সহজ নয়। এটি এমন উপাদানগুলির জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ যা সুনির্দিষ্ট আকার এবং আকার (যেমন ওয়েফার ক্যারিয়ার) বজায় রাখতে হবে।

▶ সুরযোগ্য বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য:

যদিও এটি প্রায়শই অন্তরক বা সেমিকন্ডাক্টর হিসাবে ব্যবহৃত হয় (এর স্ফটিক ফর্ম এবং ডোপিংয়ের উপর নির্ভর করে), এর উচ্চ প্রতিরোধ ক্ষমতা প্লাজমা আচরণ পরিচালনা করতে বা কিছু উপাদান অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে অপ্রয়োজনীয় চাপ স্রাব প্রতিরোধে সহায়তা করে।

Ⅱ। সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে সলিড সিলিকন কার্বাইড (সলিড এসআইসি) সমাপ্ত পণ্যগুলির নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশন এবং সুবিধাগুলি

উপরোক্ত শারীরিক বৈশিষ্ট্যের উপর ভিত্তি করে, সলিড এসআইসি বিভিন্ন নির্ভুলতা উপাদানগুলিতে উত্পাদিত হয় এবং সেমিকন্ডাক্টর ফ্রন্ট-এন্ড প্রক্রিয়াগুলির একাধিক মূল লিঙ্কগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

1) সলিড সিক ওয়েফার ক্যারিয়ার (সলিড সিক ওয়েফার ক্যারিয়ার / নৌকা):

আবেদন:

উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াগুলিতে সিলিকন ওয়েফারগুলি বহন এবং স্থানান্তর করতে ব্যবহৃত হয় (যেমন প্রসারণ, জারণ, এলপিসিভিডি-নিম্ন-চাপ রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন)।

সুবিধা বিশ্লেষণ:

1। উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা: প্রক্রিয়া তাপমাত্রায় 1000 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের বেশি, এসআইসি ক্যারিয়ারগুলি কোয়ার্টজের মতো সহজেই নরম, বিকৃত বা সাগকে স্যাগ করবে না এবং প্রক্রিয়াটির অভিন্নতা নিশ্চিত করতে সঠিকভাবে ওয়েফার স্পেসিং বজায় রাখতে পারে।

2। দীর্ঘ জীবন এবং নিম্ন কণা প্রজন্ম: সিকের কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধের অনেক বেশি কোয়ার্টজের চেয়ে বেশি, এবং ওয়েফারগুলিকে দূষিত করার জন্য ক্ষুদ্র কণা উত্পাদন করা সহজ নয়। এর পরিষেবা জীবন সাধারণত বেশ কয়েকবার বা এমনকি কোয়ার্টজ ক্যারিয়ারের চেয়ে কয়েক ডজন বার হয়, প্রতিস্থাপনের ফ্রিকোয়েন্সি এবং রক্ষণাবেক্ষণের ব্যয় হ্রাস করে।

3। রাসায়নিক জড়তা: এটি প্রক্রিয়া বায়ুমণ্ডলে রাসায়নিক ক্ষয়ের প্রতিরোধ করতে পারে এবং তার নিজস্ব উপকরণগুলির বৃষ্টিপাতের ফলে সৃষ্ট ওয়েফারের দূষণকে হ্রাস করতে পারে।

4। তাপ পরিবাহিতা: ভাল তাপ পরিবাহিতা ক্যারিয়ার এবং ওয়েফারগুলির দ্রুত এবং অভিন্ন গরম এবং শীতলকরণ, প্রক্রিয়া দক্ষতা এবং তাপমাত্রার অভিন্নতার উন্নতি করতে সহায়তা করে।

5। উচ্চ বিশুদ্ধতা: অপরিষ্কার নিয়ন্ত্রণের জন্য উন্নত নোডগুলির কঠোর প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করতে উচ্চ-বিশুদ্ধতা এসআইসি ক্যারিয়ারগুলি তৈরি করা যেতে পারে।

ব্যবহারকারীর মান:

প্রক্রিয়া স্থায়িত্ব উন্নত করুন, পণ্যের ফলন বাড়ান, উপাদান ব্যর্থতা বা দূষণের কারণে ডাউনটাইম হ্রাস করুন এবং দীর্ঘমেয়াদে মালিকানার সামগ্রিক ব্যয় হ্রাস করুন।

2) সলিড সিক ডিস্ক-আকৃতির / গ্যাস ঝরনা মাথা:

আবেদন:

প্লাজমা এচিং, রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি), পারমাণবিক স্তর ডিপোজিশন (এএলডি) ইত্যাদির মতো সরঞ্জামের প্রতিক্রিয়া চেম্বারের শীর্ষে ইনস্টল করা, নীচের ওয়েফার পৃষ্ঠে সমানভাবে প্রক্রিয়া গ্যাসগুলি বিতরণের জন্য দায়ী।

সুবিধা বিশ্লেষণ:

1। প্লাজমা সহনশীলতা: একটি উচ্চ-শক্তি, রাসায়নিকভাবে সক্রিয় প্লাজমা পরিবেশে, এসআইসি শাওয়ার মাথাটি প্লাজমা বোমা হামলা এবং রাসায়নিক জারা থেকে অত্যন্ত দৃ strong ় প্রতিরোধের প্রদর্শন করে, যা কোয়ার্টজ বা অ্যালুমিনার চেয়ে অনেক বেশি উন্নত।

2। অভিন্নতা এবং স্থিতিশীলতা: নির্ভুলতা-মেশিনযুক্ত এসআইসি শাওয়ার মাথাটি নিশ্চিত করতে পারে যে গ্যাস প্রবাহ পুরো ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে সমানভাবে বিতরণ করা হয়েছে, যা ফিল্মের বেধ, রচনা অভিন্নতা বা এচিং হারের অভিন্নতার জন্য গুরুত্বপূর্ণ। এটি দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীলতা ভাল এবং এটি বিকৃত বা আটকে রাখা সহজ নয়।

3। তাপীয় ব্যবস্থাপনা: ভাল তাপ পরিবাহিতা শাওয়ারহেড পৃষ্ঠের তাপমাত্রার অভিন্নতা বজায় রাখতে সহায়তা করে, যা অনেক তাপ-সংবেদনশীল জমা বা এচিং প্রক্রিয়াগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

4। কম দূষণ: উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং রাসায়নিক জড়তা শাওয়ারহেডের নিজস্ব উপকরণগুলির দূষণকে প্রক্রিয়াটিতে হ্রাস করে।

ব্যবহারকারীর মান:

প্রক্রিয়া ফলাফলগুলির অভিন্নতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করুন, শাওয়ারহেডের পরিষেবা জীবনকে প্রসারিত করুন, রক্ষণাবেক্ষণের সময় এবং কণার সমস্যাগুলি হ্রাস করুন এবং আরও উন্নত এবং আরও কঠোর প্রক্রিয়া শর্তগুলিকে সমর্থন করুন।

3) সলিড সিক এচিং ফোকাসিং রিং (সলিড সিক এচিং ফোকাসিং রিং / এজ রিং):

আবেদন:

প্রধানত প্লাজমা এচিং সরঞ্জামের চেম্বারে ব্যবহৃত হয় (যেমন ক্যাপাসিটিভ কাপলড প্লাজমা সিসিপি বা ইন্ডাকটিভলি কাপল প্লাজমা আইসিপি এচার), সাধারণত ওয়েফারকে ঘিরে ওয়েফার ক্যারিয়ার (চক) এর প্রান্তে স্থাপন করা হয়। এর ফাংশনটি প্লাজমাকে সীমাবদ্ধ করা এবং গাইড করা যাতে এটি চেম্বারের অন্যান্য উপাদানগুলি রক্ষা করার সময় ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর আরও সমানভাবে কাজ করে।

সুবিধা বিশ্লেষণ:

1। প্লাজমা ক্ষয়ের প্রতি শক্তিশালী প্রতিরোধ: এটি এসআইসি ফোকাসিং রিংয়ের সর্বাধিক বিশিষ্ট সুবিধা। অত্যন্ত আক্রমণাত্মক এচিং প্লাজমাসে (যেমন ফ্লুরিন- বা ক্লোরিনযুক্ত রাসায়নিকগুলি), এসআইসি কোয়ার্টজ, অ্যালুমিনা বা এমনকি ইটিট্রিয়া (ইটিট্রিয়াম অক্সাইড) এর চেয়ে অনেক ধীর পরিধান করে এবং একটি অত্যন্ত দীর্ঘ জীবন রয়েছে।

2। সমালোচনামূলক মাত্রা বজায় রাখা: উচ্চ কঠোরতা এবং উচ্চ অনমনীয়তা এসআইসি ফোকাসিং রিংগুলিকে দীর্ঘ সময় ধরে ব্যবহারের ক্ষেত্রে তাদের সুনির্দিষ্ট আকার এবং আকার আরও ভালভাবে বজায় রাখতে দেয়, যা প্লাজমা মরফোলজিকে স্থিতিশীল করার জন্য এবং এচিং অভিন্নতা নিশ্চিত করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

3। নিম্ন কণা জেনারেশন: এর পরিধানের প্রতিরোধের কারণে এটি উপাদানগুলির বৃদ্ধির দ্বারা উত্পন্ন কণাগুলি ব্যাপকভাবে হ্রাস করে, যার ফলে ফলন উন্নত হয়।

4। উচ্চ বিশুদ্ধতা: ধাতু বা অন্যান্য অমেধ্যের প্রবর্তন এড়িয়ে চলুন।

ব্যবহারকারীর মান:

উপাদান প্রতিস্থাপন চক্রকে ব্যাপকভাবে প্রসারিত করুন, রক্ষণাবেক্ষণ ব্যয় এবং সরঞ্জাম ডাউনটাইম উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করুন; এচিং প্রক্রিয়াগুলির স্থায়িত্ব এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা উন্নত করুন; ত্রুটিগুলি হ্রাস করুন এবং উচ্চ-শেষ চিপ উত্পাদন ফলন উন্নত করুন।

Ⅲ।সংক্ষিপ্তসার

সলিড সিলিকন কার্বাইড শারীরিক বৈশিষ্ট্যগুলির অনন্য সংমিশ্রণের কারণে আধুনিক সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের অন্যতম অপরিহার্য মূল উপকরণ হয়ে উঠেছে - উচ্চ কঠোরতা, উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা, দুর্দান্ত রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং জারা প্রতিরোধের। এটি ওয়েফার বহন করার বাহক, গ্যাস বিতরণ নিয়ন্ত্রণের জন্য ঝরনা মাথা, বা প্লাজমা গাইড করার জন্য ফোকাসিং রিং, শক্ত এসআইসি পণ্যগুলি চিপ নির্মাতাদের তাদের দুর্দান্ত পারফরম্যান্স এবং নির্ভরযোগ্যতা এবং উত্পাদন দক্ষতা এবং পণ্যের ফলন উন্নত করে ক্রমবর্ধমান কঠোর প্রক্রিয়া চ্যালেঞ্জগুলি মোকাবেলায় সহায়তা করে এবং এইভাবে পুরো সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের টেকসই বিকাশকে প্রচার করে।

চীনে সলিড সিলিকন কার্বাইড পণ্য সরবরাহকারী এবং সরবরাহকারী হিসাবে,সেমিকনএর পণ্য যেমনসলিড সিক ওয়েফার ক্যারিয়ার / নৌকা, সলিড সিক ডিস্ক-আকৃতির / গ্যাস ঝরনা মাথা, সলিড সিক এচিং ফোকাসিং রিং / এজ রিংইউরোপ এবং মার্কিন যুক্তরাষ্ট্রে ব্যাপকভাবে বিক্রি হয় এবং এই গ্রাহকদের কাছ থেকে উচ্চ প্রশংসা এবং স্বীকৃতি অর্জন করেছে। আমরা আন্তরিকভাবে চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার অপেক্ষায় রয়েছি। পরামর্শে স্বাগতম।

মোব/হোয়াটসঅ্যাপ: +86-180 6922 0752

ইমেল: anny@veteksemi.com