উল্লম্ব চুল্লি সিক লেপযুক্ত রিং

উল্লম্ব চুল্লিগুলিতে, SiC প্রলিপ্ত রিংগুলির ব্যবহার একটি সাধারণ সমাধান, প্রধানত উচ্চ-তাপমাত্রার তাপ চিকিত্সার প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার। উল্লম্ব চুল্লি এসআইসি লেপযুক্ত রিংগুলি হ'ল উচ্চ-পারফরম্যান্স, প্রক্রিয়াটির স্থায়িত্ব এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করতে ওয়েফারদের সমর্থন বা সুরক্ষার জন্য ব্যবহৃত উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধী উপাদানগুলি।

উল্লম্ব চুল্লি সিক লেপযুক্ত রিং এর ফাংশন

● ফাংশন

সহায়ক ভূমিকা। উচ্চ-তাপমাত্রার চুল্লিগুলিতে তাদের স্থিতিশীলতা এবং সঠিক অবস্থান নিশ্চিত করতে ওয়েফারগুলিকে সমর্থন করতে ব্যবহৃত হয়।

●  জারা সুরক্ষা

ক্ষয়কারী গ্যাস বা রাসায়নিকগুলি বেস উপাদানগুলি ক্ষয় করা থেকে বিরত রাখুন।

●  দূষণ হ্রাস করুন

উচ্চ-বিশুদ্ধতা এসআইসি লেপ প্রক্রিয়া পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করতে কণা শেডিং এবং অপরিষ্কার দূষণকে কার্যকরভাবে প্রতিরোধ করতে পারে।

●  উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের

উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে দুর্দান্ত যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য এবং মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখুন (সাধারণত 1000 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডেরও বেশি)।

উল্লম্ব চুল্লি SiC প্রলিপ্ত রিং বৈশিষ্ট্য

●  উচ্চ কঠোরতা এবং শক্তি

SiC উপকরণগুলির চমৎকার যান্ত্রিক শক্তি রয়েছে এবং চুল্লিতে উচ্চ তাপমাত্রার চাপ সহ্য করতে পারে।

●  ভাল তাপ স্থিতিশীলতা

এসআইসির উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা এবং কম তাপীয় প্রসারণ সহগ তাপীয় চাপ হ্রাস করতে সহায়তা করে।

●  শক্তিশালী রাসায়নিক স্থিতিশীলতা

SiC আবরণ অক্সিডাইজিং, অ্যাসিডিক বা ক্ষারীয় পরিবেশে জারা প্রতিরোধ করতে পারে।

●  নিম্ন কণা দূষণ

মসৃণ পৃষ্ঠটি কণা প্রজন্মের সম্ভাবনা হ্রাস করে, যা সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের আল্ট্রা-ক্লিন পরিবেশের জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত।

সিলিকন ওয়েফারকে সমর্থন করতে এবং তাপ চিকিত্সার সময় কণা দূষণ রোধ করতে উল্লম্ব চুল্লিগুলিতে ছড়িয়ে পড়া, জারণ, অ্যানিলিং এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়।

উত্পাদন উপকরণ এবং প্রক্রিয়া

● সাবস্ট্রেট: উচ্চ-মানের এসজিএল গ্রাফাইট দিয়ে তৈরি, মানের গ্যারান্টিযুক্ত।

● লেপ: সিলিকন কার্বাইড লেপ রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি) দ্বারা গ্রাফাইট পৃষ্ঠে প্রয়োগ করা হয়।

●  লেপের বেধ সাধারণত 50~500μm এর মধ্যে হয়, যা ব্যবহারের প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী সামঞ্জস্য করা হয়।

●  রাসায়নিক বাষ্প জমা করা SiC আবরণের উচ্চতর বিশুদ্ধতা এবং ঘনত্ব এবং আরও ভাল স্থায়িত্ব রয়েছে।

উপযুক্ত নির্বাচন করুনসিক লেপচুল্লি এবং ক্যারিয়ারের স্পেসিফিকেশনগুলিতে সিলিকন ওয়েফারের ব্যাস অনুযায়ী রিং করুন। আমরা এটি আপনার জন্য কাস্টমাইজ করতে পারি। উচ্চ বিশুদ্ধতা, ঘন আবরণ আরও টেকসই এবং কম দূষণকারী ra

চীনে একটি পেশাদার উল্লম্ব চুল্লি SiC প্রলিপ্ত রিং সরবরাহকারী এবং প্রস্তুতকারক হিসাবে, VeTek সেমিকন্ডাক্টর দীর্ঘকাল ধরে সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য উন্নত উল্লম্ব চুল্লি প্রযুক্তি এবং পণ্য সমাধান প্রদানের জন্য প্রতিশ্রুতিবদ্ধ। আমরা আন্তরিকভাবে চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

CVD SIC ফিল্ম ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার

সিভিডি এসআইসি লেপের প্রাথমিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য

এটি অর্ধপরিবাহীউল্লম্ব চুল্লি সিক লেপযুক্ত রিং শপ: