সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি

উচ্চমানের সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সির প্রস্তুতি উন্নত প্রযুক্তি এবং সরঞ্জাম এবং সরঞ্জামের আনুষাঙ্গিকগুলির উপর নির্ভর করে। বর্তমানে, সর্বাধিক ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি বৃদ্ধি পদ্ধতি হ'ল রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি)। এটি এপিট্যাক্সিয়াল ফিল্মের বেধ এবং ডোপিং ঘনত্ব, কম ত্রুটি, মাঝারি বৃদ্ধির হার, স্বয়ংক্রিয় প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ ইত্যাদির সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের সুবিধা রয়েছে এবং এটি একটি নির্ভরযোগ্য প্রযুক্তি যা বাণিজ্যিকভাবে সফলভাবে প্রয়োগ করা হয়েছে।

সিলিকন কার্বাইড সিভিডি এপিট্যাক্সি সাধারণত গরম প্রাচীর বা উষ্ণ প্রাচীর সিভিডি সরঞ্জাম গ্রহণ করে, যা উচ্চ বর্ধনের তাপমাত্রার অবস্থার (1500 ~ 1700 ℃), গরম প্রাচীর বা উষ্ণ প্রাচীর সিভিডি বিকাশের পরে কয়েক বছর ধরে এপিট্যাক্সি স্তর 4 এইচ স্ফটিক সিকের ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে, ইনলেট এয়ার ফ্লো রেজিস্ট্রেট এবং আচারের পৃষ্ঠের মধ্যে রয়েছে, যা আচারের পৃষ্ঠের মধ্যে রয়েছে।

এসআইসি এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লির মানের জন্য তিনটি প্রধান সূচক রয়েছে, প্রথমটি হ'ল এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির কর্মক্ষমতা, বেধের অভিন্নতা, ডোপিং অভিন্নতা, ত্রুটি হার এবং বৃদ্ধির হার সহ; দ্বিতীয়টি হ'ল হিটিং/কুলিং রেট, সর্বাধিক তাপমাত্রা, তাপমাত্রার অভিন্নতা সহ সরঞ্জামগুলির নিজেই তাপমাত্রার কর্মক্ষমতা; অবশেষে, একক ইউনিটের মূল্য এবং ক্ষমতা সহ সরঞ্জামগুলির নিজেই ব্যয় কর্মক্ষমতা।

তিন ধরণের সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথ ফার্নেস এবং কোর আনুষাঙ্গিক পার্থক্য

হট ওয়াল অনুভূমিক সিভিডি (এলপিই কোম্পানির সাধারণ মডেল পিই 1 ও 6), উষ্ণ প্রাচীর গ্রহ সিভিডি (সাধারণ মডেল আইক্সট্রন জি 5 ডাব্লুডাব্লুসি/জি 10) এবং কোয়াস-হট ওয়াল সিভিডি (নুফ্লেয়ার কোম্পানির এপিরেভোস 6 দ্বারা প্রতিনিধিত্ব করা) মূল মঞ্চে এই মঞ্চে বাস্তবায়িত হয়েছে যা এই মঞ্চে বাস্তবায়িত হয়েছে। তিনটি প্রযুক্তিগত ডিভাইসগুলির নিজস্ব বৈশিষ্ট্যও রয়েছে এবং চাহিদা অনুযায়ী নির্বাচন করা যেতে পারে। তাদের কাঠামোটি নিম্নলিখিত হিসাবে দেখানো হয়েছে:

সংশ্লিষ্ট মূল উপাদানগুলি নিম্নরূপ:

(ক) গরম প্রাচীর অনুভূমিক ধরণের কোর পার্ট- হাফমুন অংশগুলি নিয়ে থাকে

ডাউন স্ট্রিম ইনসুলেশন

প্রধান নিরোধক উপরের

উপরের হাফমুন

উজানের নিরোধক

রূপান্তর টুকরা 2

রূপান্তর টুকরা 1

বাহ্যিক বায়ু অগ্রভাগ

টেপার্ড স্নোরকেল

বাইরের আর্গন গ্যাস অগ্রভাগ

আর্গন গ্যাস অগ্রভাগ

ওয়েফার সমর্থন প্লেট

সেন্টারিং পিন

কেন্দ্রীয় গার্ড

ডাউন স্ট্রিম বাম সুরক্ষা কভার

ডাউন স্ট্রিম ডান সুরক্ষা কভার

উজানের বাম সুরক্ষা কভার

আপস্ট্রিম ডান সুরক্ষা কভার

পাশের প্রাচীর

গ্রাফাইট রিং

প্রতিরক্ষামূলক অনুভূত

সমর্থন অনুভূত

যোগাযোগ ব্লক

গ্যাস আউটলেট সিলিন্ডার

(খ) উষ্ণ প্রাচীর গ্রহের ধরণ

এসআইসি লেপ গ্রহের ডিস্ক এবং টিএসি লেপযুক্ত গ্রহ ডিস্ক

(গ) আধা-তাপীয় প্রাচীর স্থায়ী প্রকার

নুফ্লেয়ার (জাপান): এই সংস্থাটি দ্বৈত-চেম্বার উল্লম্ব চুল্লি সরবরাহ করে যা উত্পাদন ফলন বৃদ্ধিতে অবদান রাখে। সরঞ্জামগুলিতে প্রতি মিনিটে 1000 টি পর্যন্ত বিপ্লবগুলির উচ্চ-গতির ঘূর্ণন বৈশিষ্ট্য রয়েছে যা এপিট্যাক্সিয়াল ইউনিফর্মটির জন্য অত্যন্ত উপকারী। অতিরিক্তভাবে, এর বায়ু প্রবাহের দিকটি অন্যান্য সরঞ্জাম থেকে পৃথক, উল্লম্বভাবে নীচের দিকে থাকা, এইভাবে কণার প্রজন্মকে হ্রাস করে এবং ওয়েফারগুলিতে পড়ার কণা ফোঁটাগুলির সম্ভাবনা হ্রাস করে। আমরা এই সরঞ্জামগুলির জন্য মূল এসআইসি প্রলিপ্ত গ্রাফাইট উপাদান সরবরাহ করি।

এসআইসি এপিট্যাক্সিয়াল সরঞ্জাম উপাদানগুলির সরবরাহকারী হিসাবে, ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর গ্রাহকদের এসআইসি এপিট্যাক্সির সফল বাস্তবায়নে সমর্থন করার জন্য উচ্চমানের লেপ উপাদানগুলি সরবরাহ করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।

View as

আইকস্ট্রন জি 5 এমওসিভিডি সংবেদনশীল

আইকস্ট্রন জি 5 এমওসিভিডি সিস্টেমে গ্রাফাইট উপাদান, সিলিকন কার্বাইড লেপা গ্রাফাইট, কোয়ার্টজ, অনমনীয় অনুভূত উপাদান ইত্যাদি থাকে Ve আমরা বহু বছর ধরে সেমিকন্ডাক্টর গ্রাফাইট এবং কোয়ার্টজ অংশগুলিতে বিশেষীকরণ করেছি this

আরো দেখুন >> অনুসন্ধান পাঠান >>

জি 5 এর জন্য গ্যান এপিট্যাক্সিয়াল গ্রাফাইট সমর্থন

VeTek সেমিকন্ডাক্টর হল একটি পেশাদার প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী, G5-এর জন্য উচ্চ-মানের GaN Epitaxial Graphite susceptor প্রদানের জন্য নিবেদিত৷ আমরা আমাদের গ্রাহকদের আস্থা এবং সম্মান অর্জন করে দেশে এবং বিদেশে অনেক সুপরিচিত কোম্পানির সাথে দীর্ঘমেয়াদী এবং স্থিতিশীল অংশীদারিত্ব প্রতিষ্ঠা করেছি।

আরো দেখুন >> অনুসন্ধান পাঠান >>

আল্ট্রা খাঁটি গ্রাফাইট লোয়ার হাফমুন

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর চীনে কাস্টমাইজড আল্ট্রা খাঁটি গ্রাফাইট লোয়ার হাফমুনের একটি শীর্ষস্থানীয় সরবরাহকারী, বহু বছর ধরে উন্নত উপকরণগুলিতে বিশেষজ্ঞ। আমাদের আল্ট্রা খাঁটি গ্রাফাইট লোয়ার হাফমুনটি বিশেষত সিক এপিট্যাক্সিয়াল সরঞ্জামগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, দুর্দান্ত পারফরম্যান্স নিশ্চিত করে। অতি-খাঁটি আমদানি করা গ্রাফাইট থেকে তৈরি, এটি নির্ভরযোগ্যতা এবং স্থায়িত্ব সরবরাহ করে। যে কোনও সময় পরামর্শের জন্য আমাদের উচ্চমানের আল্ট্রা খাঁটি গ্রাফাইট লোয়ার হাফমুনটি প্রথমবারের মতো।

আরো দেখুন >> অনুসন্ধান পাঠান >>

উপরের হাফমুন অংশ সিক লেপযুক্ত

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর চীনে লেপযুক্ত কাস্টমাইজড আপার হাফমুন অংশ সিসির একটি শীর্ষস্থানীয় সরবরাহকারী, 20 বছরেরও বেশি সময় ধরে উন্নত উপকরণগুলিতে বিশেষজ্ঞ। ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর উপরের হাফমুন অংশ সিক লেপযুক্ত বিশেষত সিক এপিট্যাক্সিয়াল সরঞ্জামগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, প্রতিক্রিয়া চেম্বারে একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান হিসাবে পরিবেশন করে। আল্ট্রা-প্যুর, সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড গ্রাফাইট থেকে তৈরি, এটি দুর্দান্ত পারফরম্যান্স নিশ্চিত করে। আমরা আপনাকে চীনে আমাদের কারখানাটি দেখার জন্য আমন্ত্রণ জানাই e যে কোনও সময় পরামর্শের জন্য স্বাগত।

আরো দেখুন >> অনুসন্ধান পাঠান >>

সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি ওয়েফার ক্যারিয়ার

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর হ'ল একটি শীর্ষস্থানীয় কাস্টমাইজড সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি ওয়েফার ক্যারিয়ার সরবরাহকারী। আমরা 20 বছরেরও বেশি সময় ধরে উন্নত উপাদানে বিশেষীকরণ করেছি e আমরা সিক সাবস্ট্রেট বহন করার জন্য একটি সিলিকন কার্বাইড এপিটিএএক্সি ওয়েফার ক্যারিয়ার অফার করি, সিক এপিট্যাক্সিয়াল রিঅ্যাক্টারে ক্রমবর্ধমান সিক এপিটাক্সি স্তর। এই সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি ওয়েফার ক্যারিয়ার হাফমুন অংশ, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের, জারণ প্রতিরোধের, পরিধান প্রতিরোধের একটি গুরুত্বপূর্ণ সিক লেপযুক্ত অংশ। আমরা আপনাকে চীনতে আমাদের কারখানাটি দেখার জন্য স্বাগত জানাই e যে কোনও সময় পরামর্শের জন্য স্বাগত।

আরো দেখুন >> অনুসন্ধান পাঠান >>

LPE চুল্লির জন্য 8 ইঞ্চি হাফমুন অংশ

ভেটেক সেমিকন্ডাক্টর হ'ল চীনের একটি শীর্ষস্থানীয় অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম প্রস্তুতকারক, এটি আর অ্যান্ড ডি এবং এলপিই চুল্লির জন্য 8 ইঞ্চি হাফমুন অংশের উত্পাদনকে কেন্দ্র করে। আমরা বছরের পর বছর ধরে সমৃদ্ধ অভিজ্ঞতা সংগ্রহ করেছি, বিশেষত এসআইসি লেপ উপকরণগুলিতে এবং এলপিই এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লিগুলির জন্য উপযুক্ত সমাধান সরবরাহ করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ। এলপিই চুল্লিটির জন্য আমাদের 8 ইঞ্চি হাফমুন অংশে দুর্দান্ত পারফরম্যান্স এবং সামঞ্জস্যতা রয়েছে এবং এটি এপিট্যাক্সিয়াল ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের একটি অপরিহার্য মূল উপাদান। আমাদের পণ্য সম্পর্কে আরও জানতে আপনার তদন্তকে স্বাগত জানাই।

আরো দেখুন >> অনুসন্ধান পাঠান >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

চীনে একজন পেশাদার সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী হিসাবে, আমাদের নিজস্ব কারখানা রয়েছে। আপনার অঞ্চলের নির্দিষ্ট চাহিদা পূরণের জন্য আপনার কাস্টমাইজড পরিষেবাদিগুলির প্রয়োজন বা চীনে তৈরি উন্নত এবং টেকসই সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি কিনতে চান, আপনি আমাদের একটি বার্তা রাখতে পারেন।

QR কোড

আমাদের সম্পর্কে

পণ্য

যোগাযোগ করুন

ফোন
+86-18069220752
ফ্যাক্স
+86-579-87223657
ই-মেইল
anny@veteksemi.com
ঠিকানা
ওয়াংদা রোড, জিয়াং স্ট্রিট, উয়াই কাউন্টি, জিনহুয়া সিটি, ঝিজিয়াং প্রদেশ, চীন

ওয়েব মেনু

পণ্য অনুসন্ধান

ভাষা

প্রস্থান মেনু

সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি

তিন ধরণের সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথ ফার্নেস এবং কোর আনুষাঙ্গিক পার্থক্য

সংশ্লিষ্ট মূল উপাদানগুলি নিম্নরূপ:

(ক) গরম প্রাচীর অনুভূমিক ধরণের কোর পার্ট- হাফমুন অংশগুলি নিয়ে থাকে

(খ) উষ্ণ প্রাচীর গ্রহের ধরণ

(গ) আধা-তাপীয় প্রাচীর স্থায়ী প্রকার

আইকস্ট্রন জি 5 এমওসিভিডি সংবেদনশীল

জি 5 এর জন্য গ্যান এপিট্যাক্সিয়াল গ্রাফাইট সমর্থন

আল্ট্রা খাঁটি গ্রাফাইট লোয়ার হাফমুন

উপরের হাফমুন অংশ সিক লেপযুক্ত

সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সি ওয়েফার ক্যারিয়ার

LPE চুল্লির জন্য 8 ইঞ্চি হাফমুন অংশ

অনুসন্ধান পাঠান

QR কোড

আমাদের সম্পর্কে

পণ্য

যোগাযোগ করুন

ফোন

ফ্যাক্স

ই-মেইল

ঠিকানা