সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়া, বিশেষত ওয়েফার প্রসেসিং, একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে পরিচালিত হয় এবং যান্ত্রিকভাবে ক্ল্যাম্পিং ওয়েফার বহন করে 

কিছু ঝুঁকি। যখন ফোর্সটি ক্ল্যাম্পিং পয়েন্টে কেন্দ্রীভূত হয়, তখন ভঙ্গুর সিলিকন ওয়েফারগুলি ক্ষুদ্র টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো টুকরো

এই ক্ষেত্রে, সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক আরও ভাল পছন্দ হয়ে ওঠে, যা ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শক্তি দ্বারা ওয়েফারকে ঠিক করে। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ফোর্স ওয়েফারের উপর সমানভাবে কাজ করে, তাই প্রক্রিয়াটির যথার্থতা উন্নত করে ওয়েফারটি স্পষ্টভাবে স্থির করা যায়।

প্রাসঙ্গিক গবেষণামূলক কাগজপত্র অনুসারে, সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক অন্যান্য ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ছকের চেয়ে শক্তিশালী স্তন্যপান রয়েছে। উদাহরণস্বরূপ, সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকের পিইটি ফিল্মের ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক এর চেয়ে অনেক বেশি শক্তিশালী স্তন্যপান রয়েছে।

সিরামিকস চক সাধারণত উচ্চ-পারফরম্যান্স সিরামিক উপকরণ যেমন AL2O3, ALN বা SIC দিয়ে তৈরি হয়, যার উচ্চ তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা, নিরোধক এবং জারা প্রতিরোধের থাকে। ছিদ্রযুক্ত সিক সিরামিক চক কেবল চরম তাপমাত্রায় কেবল স্থিতিশীল নয়, তবে উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন রাসায়নিক রিএজেন্টস এবং প্লাজমা এচিংয়ের কারণে সিরামিক ই-চককে অবক্ষয় থেকে কার্যকরভাবে বাধা দেয়।

তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ: সিরামিক উপকরণগুলির উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা এবং স্থিতিশীল তাপীয় বৈশিষ্ট্যগুলি অ্যালুমিনা সিরামিক ভ্যাকুয়াম চককে কার্যকরভাবে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে সক্ষম করে, যার ফলে প্রক্রিয়া চলাকালীন তাপমাত্রা বিতরণকে অনুকূল করে তোলে।

ভ্যাকুয়াম অভিযোজনযোগ্যতা: সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ভ্যাকুয়াম পরিবেশের জন্য উপযুক্ত, বিশেষত নিম্নচাপ এবং উচ্চ-নির্ভুলতা এচিং প্রক্রিয়াগুলিতে।

নিম্ন কণা উত্পাদন: ছিদ্রযুক্ত সিক সিরামিক ই-চকের একটি মসৃণ পৃষ্ঠ রয়েছে, যা ওয়েফার ফিক্সিংয়ের সময় কণা দূষণকে হ্রাস করতে পারে এবং পণ্যের ফলন উন্নত করতে সহায়তা করতে পারে।

অ্যাপ্লিকেশন: প্রধানত সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন, পৃথকযোগ্য সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চককে সুনির্দিষ্ট অবস্থান এবং স্থিতিশীলতা সরবরাহ করে, যা লিথোগ্রাফি, এচিং এবং অন্যান্য সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রসেসিং উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির জন্য খুব সহায়ক। প্রসেসিংয়ের সময় ওয়েফার অক্ষত কিনা তা নিশ্চিত করুন এবং চিপ উত্পাদনের মান উন্নত করুন।

এটি অর্ধপরিবাহীসিরামিক ই-চক উত্পাদনের দোকান: